精密运动平台及其核心零部件的研发、生产与销售。
精密运动平台、特种电机、压电产品、静电吸盘、控制部件
FD系列 、 IM系列 、 DS系列 、 DF系列 、 水冷板直驱电机 、 磁浮重力补偿器 、 真空磁浮音圈电机 、 压电电机 、 压电陶瓷器件 、 静电吸盘 、 多轴控制器 、 压电驱动器 、 静电吸盘控制器
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备制造；实验分析仪器制造；电机制造；电子元器件制造；仪器仪表制造；电子元器件与机电组件设备制造；电子专用设备制造；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）自主展示（特色）项目：半导体器件专用设备销售；机械设备研发；仪器仪表销售；机械设备销售；电子专用设备销售；电子元器件与机电组件设备销售。
营业收入 X
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（一）营业收入构成分析 报告期内，公司营业收入主要来源于精密运动平台及核心零部件等主营业务收入，占比分别为98.96%、99.27%、98.94%和99.41%，主营业务聚焦。 1、主营业务收入构成分析 （1）按类别分析 国内半导体精密运动平台产业正处于高速发展期，受益于国内先进制程与先进封装产线投资扩大，下游各类整机设备的先进性与技术成熟度持续提升，国产化率增长，首台套类产品的研发需求持续释放，量产节点梯次到来。2023年度至2025年度，公司主营业务收入从7,480.86万元增长至32,190.58万元，年均复合增长率达107.44%。 1）精密运动平台收入构成分析 报告期... 查看全部▼
（一）营业收入构成分析
报告期内，公司营业收入主要来源于精密运动平台及核心零部件等主营业务收入，占比分别为98.96%、99.27%、98.94%和99.41%，主营业务聚焦。
1、主营业务收入构成分析
（1）按类别分析
国内半导体精密运动平台产业正处于高速发展期，受益于国内先进制程与先进封装产线投资扩大，下游各类整机设备的先进性与技术成熟度持续提升，国产化率增长，首台套类产品的研发需求持续释放，量产节点梯次到来。2023年度至2025年度，公司主营业务收入从7,480.86万元增长至32,190.58万元，年均复合增长率达107.44%。
1）精密运动平台收入构成分析
报告期各期，公司精密运动平台收入占主营业务比例分别为58.68%、86.05%、77.46%和82.26%，是构成主营业务的核心板块，涵盖量检测类、晶圆键合类及其他类运动平台，全面服务于半导体先进制程与先进封装领域的关键设备及大科学装置。
量检测类运动平台是公司收入贡献最大、增速最快的细分产品，报告期内收入金额分别为2,667.30万元、10,428.15万元、17,891.50万元和12,678.11万元，前三年年均复合增长率为159.00%。该产品收入快速增长主要是因下游晶圆制造环节制程升级对生产良率控制的要求不断提高，国产量检测设备厂商加快开展产品研发。晶圆键合类与光刻类运动平台收入总体稳步增长，合计收入金额从2023年的1,630.35万元增长至2025年的4,418.42万元，年均复合增长率为64.62%，2026年1-6月收入3,944.49万元。展望未来，随着人工智能芯片需求爆发带动先进制造与先进封装设备放量。其他类运动平台产品2025年度增长显著，主要为面向大科学装置领域的上海光源项目交付的压电减振台。
2）核心零部件收入构成分析
公司基于自身的技术禀赋，主动向上游进行技术延伸，布局了包括特种电机、压电产品、吸盘及控制部件等核心零部件业务，报告期内各期收入占比分别为39.47%、12.05%、21.56%和15.90%，已成为主营业务的重要组成部分。2023年度，压电产品收入金额较高，达1,115.54万元，主要系向安脉时代销售高精度压电致动器，体现了公司将半导体领域的高精度技术向新能源等泛工业领域的延伸，此后受下游客户经营需求变化、公司压电产能进一步向半导体等领域聚焦的影响，相关业务收入有所下降。剔除上述非半导体领域业务因素，发行人面向半导体领域的核心零部件收入呈现持续增长态势，其中2025年度发行人核心零部件收入增速显著，主要系发行人的特种电机及压电产品在光刻设备中实现配套应用，受益于国产光刻设备研发进程加速，下游客户采购规模扩大，推动核心零部件业务收入快速提升。
其他类别收入主要包括维修服务、技术服务等，金额随业务规模的增长而提升，收入占比相对较低。
（2）按地区分析
报告期内，发行人主营业务收入主要来源于境内销售，2023年度、2024年度、2025年度和2026年1-6月，境内收入占比分别为100.00%、99.58%、99.84%和99.91%。境内销售主要集中在华东、华南地区，平均占比约为80%，地区分布特征与发行人下游客户的地理分布高度相关，主要系上海精测、客户B、上海微电子、拓荆键科、客户A等核心客户集中于该地区所致。
报告期内，发行人存在少量境外销售收入，2024年度和2025年度境外收入分别为70.10万元和52.95万元，占当期主营业务收入的比例分别为0.42%和0.16%。境外收入主要来源于向韩国Limotion及美国VAD等客户的精密运动平台及核心零部件产品销售。2026年1-6月境外收入21.16万元，主要为向韩国
DAON销售的精密运动平台。
（3）按销售模式分类
报告期内，发行人主营业务收入主要来源于直销模式。2023年度、2024年度、2025年度和2026年1-6月，直销模式收入占比分别为100.00%、99.98%、99.96%和100.00%。发行人产品主要为精密运动平台及核心零部件，系半导体核心工艺及其过程控制的关键子系统，需要与下游整机设备厂商进行深度协同，持续进行技术对接，因此主要采用直销模式面向半导体设备制造商及科研院所等终端客户销售。
报告期内，经销模式收入金额较小、占比较低。2024年度及2025年度，发行人经销模式下产生的收入分别为3.74万元和11.30万元，占当期主营业务收入的比例仅为0.02%和0.04%。发行人的经销客户为韩国Limotion，系报告期内为开拓境外精密运动平台市场而建立合作关系的经销商。目前对该客户的销售规模尚小，主要销售产品为标准化程度较高的运动平台。
（4）按季度分析
报告期内，发行人主营业务收入呈现一定的季节性分布，与重点客户的需求节奏相关。2023年度，发行人主营业务收入规模为7,480.86万元，收入规模相对较小，各季度收入分布整体较为均衡。2024年度，发行人主营业务收入在第四季度的占比为41.26%，主要系个别大金额精密运动平台于当期完成验收并确认收入，金额为1,061.95万元，该系列产品技术难度高、产品单价高，提升了当期第四季度收入占比。2025年度，随着发行人主营业务收入规模进一步扩大，第四季度收入占比为32.83%，较2024年度有所下降，收入季节性分布趋于平滑。2026年1-6月，发行人前两季度收入占比接近，季节性分布较为平滑。
（5）销售均价分析
报告期内，发行人各类产品销售均价受各产品系列技术升级、客户结构优化及产品结构变化等因素的影响，呈现不同变动趋势。
精密运动平台整体均价从2023年的54.20万元/台升至2026年1-6月的95.37万元/台，主要系高单价的量检测类及光刻类产品销量占比提升，其中量检测类均价从41.68万元/台增长至85.09万元/台，主要受益于FD系列、Y系列等高端产品逐步放量，占比增加；光刻类均价虽因首台套产品技术需求与定价差异较大而波动，但始终保持在较高水平；晶圆键合类均价由109.88万元/台提升至187.63万元/台，主要系产品技术升级及产品结构优化所致。
核心零部件方面，特种电机均价从1.31万元/台提升至2025年度的3.16万元/台后下降至2026年1-6月的1.76万元，主要是2025年度面向半导体领域头部客户销售高单价产品的销售额增加，2026年度特种电机平均单价下降，主要系当期销售的特种电机中，单价较低的磁钢组件、线圈组件及动子组件数量较多；压电产品均价先降后升，2024年度均价有所下降，主要系低单价的压电致动器产品收入占比提升，2025年度均价有所回升，主要系高单价的压电电机实现批量交付，收入占比提升，2026年1-6月，压电电机继续批量交付且产品单价基本稳定，压电产品仍以单价较高的压电电机为主要收入来源，整体均价较2025年度基本稳定；控制部件均价因高单价产品在2023年确认收入而呈现先高后低趋势，2026年1-6月控制部件平均单价提高，主要系当期高单价产品收入占比提高。
整体而言，发行人销售均价变动与各产品系列的技术升级、客户结构优化及产品结构策略相匹配，具有合理性。
2、其他业务收入结构分析
报告期内，发行人其他业务收入金额及占比较小，各期收入分别为78.51万元、122.80万元、344.87万元和134.87万元，占当期营业收入的比例较小。发行人该类收入主要源于协助客户采购零部件，对相关收入采用净额法确认。
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