公司获得国家集成电路产业投资基金股份有限公司投资，持股比例占总股本比例为7.07%。

凯世通开发的新一代iPV6000光伏离子注入机首台设备已在公司组装并完成初步调试（即产品下线），目前已进入验证阶段。

旗下凯世通凭借多年迭代积累的深厚技术优势取得了重大进展。 2021年5月，凯世通自主研发的首台低能大束流离子注入机率先在国内12英寸主流集成电路芯片制造厂完成设备验证和验收工作，这也是国内首台完成主流客户验证并确认收入的国产低能大束流设备。 2021年第四季度，凯世通的低能大束流重金属离子注入机、低能大束流超低温离子注入机成功通过验证和验收，高能离子注入机顺利在另一家12英寸集成电路芯片制造厂完成交付。 2022年一季度，凯世通获得重要客户的批量订单，包含12英寸低能大束流离子注入机和低能大束流超低温离子注入机，并与另一家集成电路制造厂签订了一台低能大束流离子注入机订单，截止目前在手订单金额超人民币6.80亿元。 2022年4月，凯世通成功向重要客户交付了批量订单中的首批大束流离子注入机，完成了多套设备的顺利发货，业务正式进入放量新阶段。

子公司凯世通在研 AMOLED离子注入机。

2019年年报披露：经本公司2017年股东大会通过，本公司以自有资金10亿元人民币认购首期上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙）（以下简称“装备材料基金"）19.80%的份额并作为其有限合伙人，本年度公司继续以自有资金4亿元对装备材料基金进行出资，累计已出资8亿元。

2018年8月4日，公司公告，现金收购凯世通51%股权已完成交割；凯世通的产品主要应用于太阳能、集成电路和AMOLED显示三大领域，在半导体国产化方面有了不俗的表现，拥有自主可控的核心技术。未来，全球规划新建和拓建的集成电路生产线中，近一半布局在中国，对设备采购量激增，将为凯世通产品放量增长提供有利机遇。