精密金属零部件的研发、生产和销售。
关键工艺零部件产品、工艺零部件产品、半导体结构零部件、激光设备零部件、系统组装产品及气体管路产品
匀气环 、 匀气盘 、 气体分布盘 、 腔体 、 内衬 、 静电卡盘基体 、 加热器 、 冷盘 、 多管式加热反射罩 、 冷却工艺零部件 、 静电卡盘安装座 、 气路座 、 腔室盖板 、 晶体炉 、 法兰 、 信号箱壳体 、 盖板 、 一般结构件 、 激光器腔体 、 激光设备冷却工艺零部件 、 模组产品 、 气体管路产品
半导体设备、光学设备、医疗设备、精密机械设备及零配件研发、制造、销售,半导体设备维修,提供半导体领域内的技术研发、技术咨询、技术转让服务,自营和代理一般经营项目商品和技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
| 业务名称 | 2025-12-31 | 2024-12-31 | 2023-12-31 |
|---|---|---|---|
| 采购均价:蒸汽(元/吨) | 222.14 | 211.91 | 223.97 |
| 产量:半导体关键工艺零部件:加热器(件) | 614.00 | 381.00 | 125.00 |
| 产量:激光设备零部件(件) | 8.14万 | 3.48万 | 8.15万 |
| 产量:半导体关键工艺零部件:多管式加热反射罩(件) | 40.00 | 103.00 | 46.00 |
| 销量:半导体关键工艺零部件:加热器(件) | 559.00 | 391.00 | 112.00 |
| 产量:半导体关键工艺零部件(件) | 2.86万 | 2.56万 | 1.15万 |
| 销量:半导体关键工艺零部件:多管式加热反射罩(件) | 36.00 | 87.00 | 14.00 |
| 产量:半导体关键工艺零部件:匀气环(件) | 6274.00 | 4005.00 | 1422.00 |
| 销量:半导体关键工艺零部件:气体分布盘(件) | 2564.00 | 2584.00 | 1849.00 |
| 产量:半导体关键工艺零部件:气体分布盘(件) | 2710.00 | 2712.00 | 1504.00 |
| 产量:半导体关键工艺零部件:静电卡盘基体(件) | 557.00 | 373.00 | 102.00 |
| 销量:半导体关键工艺零部件:匀气盘(件) | 1598.00 | 1924.00 | 1366.00 |
| 产量:半导体关键工艺零部件:内衬(件) | 1.23万 | 1.10万 | 4703.00 |
| 产能利用率:各类精密机械加工设备(%) | 83.68 | 97.57 | 77.50 |
| 销量:半导体关键工艺零部件:冷盘(件) | 574.00 | 660.00 | 310.00 |
| 销量:激光设备零部件(件) | 6.86万 | 5.63万 | 5.67万 |
| 产量:半导体结构零部件(件) | 53.22万 | 55.11万 | 25.59万 |
| 销量:半导体关键工艺零部件:内衬(件) | 1.19万 | 1.05万 | 4945.00 |
| 销量:半导体工艺零部件(件) | 1.59万 | 1.63万 | 1.03万 |
| 销量:半导体关键工艺零部件:匀气环(件) | 6676.00 | 4047.00 | 1322.00 |
| 销量:半导体关键工艺零部件(件) | 2.85万 | 2.44万 | 1.21万 |
| 耗用量:蒸汽(吨) | 9202.46 | 7188.55 | 5269.02 |
| 销量:半导体结构零部件(件) | 51.56万 | 54.57万 | 23.90万 |
| 销量:半导体关键工艺零部件:静电卡盘基体(件) | 557.00 | 338.00 | 48.00 |
| 产量:半导体关键工艺零部件:腔体(件) | 3973.00 | 4295.00 | 2144.00 |
| 销量:半导体关键工艺零部件:腔体(件) | 3993.00 | 3908.00 | 2178.00 |
| 耗用量:水(吨) | 11.30万 | 6.10万 | 2.84万 |
| 采购均价:6061-T6型号铝合金(元/千克) | 42.51 | 45.50 | 42.99 |
| 产量:半导体关键工艺零部件:匀气盘(件) | 1616.00 | 1897.00 | 1078.00 |
| 采购均价:电(元/度) | 0.68 | 0.69 | 0.69 |
| 采购均价:水(元/吨) | 3.75 | 3.67 | 3.67 |
| 耗用量:电(度) | 2240.52万 | 1607.09万 | 946.36万 |
| 产量:半导体工艺零部件(件) | 1.63万 | 1.70万 | 8207.00 |
| 产量:半导体关键工艺零部件:冷盘(件) | 588.00 | 758.00 | 410.00 |
| 销售均价:腔体(元/件) | 1.37万 | 1.24万 | 1.28万 |
| 销售均价:半导体结构零部件(元/件) | 384.02 | 317.69 | 344.22 |
| 销售均价:匀气环(元/件) | 1.60万 | 1.55万 | 1.31万 |
| 销售均价:气体分布盘(元/件) | 1.27万 | 1.30万 | 7423.32 |
| 销售均价:冷盘(元/件) | 3.49万 | 3.71万 | 2.23万 |
| 销售均价:多管式加热反射罩(元/件) | 23.01万 | 23.14万 | 19.25万 |
| 销售均价:加热器(元/件) | 2.32万 | 2.55万 | 3.02万 |
| 销售均价:半导体工艺零部件(元/件) | 5816.73 | 5067.63 | 4171.55 |
| 销售均价:激光设备零部件(元/件) | 675.60 | 640.87 | 690.59 |
| 销售均价:内衬(元/件) | 7351.72 | 7222.36 | 6751.94 |
| 销售均价:静电卡盘基体(元/件) | 2.56万 | 2.27万 | 2.28万 |
| 销售均价:匀气盘(元/件) | 1.32万 | 1.13万 | 9010.96 |
营业收入 X
| 业务名称 | 营业收入(元) | 收入比例 | 营业成本(元) | 成本比例 | 主营利润(元) | 利润比例 | 毛利率 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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加载中...
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| 客户名称 | 销售额(元) | 占比 |
|---|---|---|
| 北方华创科技集团股份有限公司及其子公司 |
3.26亿 | 45.64% |
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司及其子 |
2.55亿 | 35.68% |
| Lumentum Holdings In |
3811.25万 | 5.34% |
| 宸微设备科技(苏州)有限公司 |
3190.20万 | 4.47% |
| 无锡尚积半导体科技股份有限公司 |
1047.66万 | 1.47% |
| 供应商名称 | 采购额(元) | 占比 |
|---|---|---|
| 东贺隆(昆山)电子有限公司 |
5032.86万 | 13.32% |
| 无锡欧特柏精密机械有限公司 |
3142.32万 | 8.32% |
| 无锡吉源兴精密机械制造有限公司 |
2786.46万 | 7.38% |
| 南通高米精密机械有限公司 |
2743.11万 | 7.26% |
| 无锡元基精密机械有限公司 |
1399.94万 | 3.71% |
| 客户名称 | 销售额(元) | 占比 |
|---|---|---|
| 北方华创科技集团股份有限公司及其子公司 |
3.16亿 | 52.11% |
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司及其子 |
1.90亿 | 31.40% |
| Lumentum Holdings In |
3091.98万 | 5.10% |
| 宸微设备科技(苏州)有限公司 |
1998.73万 | 3.30% |
| 深圳市博智航电子科技有限公司 |
931.49万 | 1.54% |
| 供应商名称 | 采购额(元) | 占比 |
|---|---|---|
| 无锡欧特柏精密机械有限公司 |
3222.62万 | 9.79% |
| 东贺隆(昆山)电子有限公司 |
2971.86万 | 9.03% |
| 南通高米精密机械有限公司 |
2366.82万 | 7.19% |
| 无锡吉源兴精密机械制造有限公司 |
2151.34万 | 6.54% |
| 无锡元基精密机械有限公司 |
1368.48万 | 4.16% |
| 客户名称 | 销售额(元) | 占比 |
|---|---|---|
| 北方华创科技集团股份有限公司及其子公司 |
1.26亿 | 44.06% |
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司及其子 |
8677.76万 | 30.23% |
| Lumentum Holdings In |
3467.95万 | 12.08% |
| 上海稷以科技有限公司 |
513.12万 | 1.79% |
| 深圳市科迪亚科技有限公司 |
444.18万 | 1.55% |
| 供应商名称 | 采购额(元) | 占比 |
|---|---|---|
| 无锡欧特柏精密机械有限公司 |
1328.80万 | 8.46% |
| 南通高米精密机械有限公司 |
1004.57万 | 6.40% |
| 沈阳美德航空航天材料有限公司 |
917.99万 | 5.85% |
| 无锡吉源兴精密机械制造有限公司 |
832.76万 | 5.30% |
| 苏州全程铝业科技有限公司 |
750.13万 | 4.78% |
(一)营业收入构成分析 1、营业收入构成 报告期内,公司主营业务突出,占营业收入的比例分别为98.80%、99.35%、99.17%。 2、主营业务收入构成分析 (1)分产品构成及变动分析 报告期内,公司主要产品为半导体领域的内衬、腔体、匀气环、气体分布盘等关键工艺零部件、工艺零部件和结构零部件,以及激光设备零部件,以及表面处理、系统组装产品、气体管路产品等其他产品。公司通过持续的技术创新与工艺突破,在报告期内实现了特色产品的快速增长,其中匀气环、气体分布盘、冷盘、静电卡盘基体在2023年度至2025年度分别实现了148.55%、54.23%、70.17%、261.36%的年均复... 查看全部▼
(一)营业收入构成分析
1、营业收入构成
报告期内,公司主营业务突出,占营业收入的比例分别为98.80%、99.35%、99.17%。
2、主营业务收入构成分析
(1)分产品构成及变动分析
报告期内,公司主要产品为半导体领域的内衬、腔体、匀气环、气体分布盘等关键工艺零部件、工艺零部件和结构零部件,以及激光设备零部件,以及表面处理、系统组装产品、气体管路产品等其他产品。公司通过持续的技术创新与工艺突破,在报告期内实现了特色产品的快速增长,其中匀气环、气体分布盘、冷盘、静电卡盘基体在2023年度至2025年度分别实现了148.55%、54.23%、70.17%、261.36%的年均复合增长率,2024年及2025年,公司半导体关键零部件的收入占比相比2023年大幅提升。
(2)主营业务收入按产品应用领域分析
报告期内,公司半导体领域的收入增长明显。2023年下半年起,随着国内半导体国产化进程的加速推进、先进制程与先进封装技术的持续创新突破、全球半导体供应链结构的深度调整,多重积极因素共同驱动半导体零部件行业进入显著上行周期,公司紧密契合市场脉搏,整体营业收入伴随行业景气度同步实现快速增长。
公司核心资源聚焦供应于半导体行业,产能优先供应于半导体领域零部件的生产;公司激光产品主要向境外地区销售,收入也受到了汇率波动的影响。受上述因素影响,公司来源于激光设备零部件的销售收入及在主营业务收入中的占比在2024年同比下降较多,2025年,受人民币对美元升值及激光设备零部件销量增加双重因素,公司来源于激光设备零部件的销售收入及在主营业务收入中的占比则略有回升。
此外,公司依托半导体设备零部件领域积淀的高精度机械制造、真空钎焊、表面处理等核心技术,形成了行业迁移能力,在半导体和激光领域外,公司产品亦可应用于医疗设备等其他领域。
(3)主营业务收入按产品销售区域分析
2023年至2024年,随着半导体国产化替代进程加速,公司内销收入占比不断提升,分别为68.58%、83.18%,主要系发行人受益于中国半导体设备产业链的国产替代浪潮,积极开拓了多家境内客户并向其实现批量供货;2025年公司内销收入占比为76.39%,较2024年比例有所下降,主要系发行人向中微公司位于保税区主体的销售的外销收入增加及对Lumentum外销收入增加。
报告期内,公司内销收入主要包含华北和华东的销售收入;外销收入中包含面向保税区及向其他境外地区的销售额。
(4)主营业务收入的季节性分析
发行人收入主要受半导体行业景气度及下游客户采购节奏变化影响。此外,受春节假期的影响,公司第一季度生产及交付节奏放缓,收入占比相对较低。除此之外,公司销售产品无明显的季节性特征。2023年下半年起,随着半导体行业进入周期性复苏阶段,受益于下游需求回暖及国产替代加速,2023年第四季度公司收入提升明显。2024年及2025年,随着半导体行业国产化趋势的不断升温,公司收入整体呈现上升态势,2025年第三季度收入相对较低,主要系发行人终端客户晶圆厂需求阶段性变化致使部分发行人客户半导体设备厂商推迟交付影响。
3、公司主要产品的销量和平均单价情况
公司销售的精密零部件产品具有定制化的特征,此外,公司销售的同一产品类型产
品也有较多不同规格型号,公司产品单价因产品类型、规格型号、技术参数、性能指标的差异呈现一定波动。
(1)内衬
报告期内,公司销售的内衬产品处于量价齐升的态势。公司内衬产品主要的客户为北方华创,报告期内,公司向北方华创的内衬销售收入占公司内衬总收入的比例超过80%。
内衬产品属于半导体设备中的消耗性部件,一方面,半导体行业2023年以来行业景气度提升;另一方面,公司通过提升工艺水平获取更多内衬业务,因此公司内衬产品自2023年至2025年的销量不断提升。
2024年,公司销售的内衬产品的平均单价分别提升6.97%,主要系公司销售的内衬产品的工艺复杂度提升、产品结构变化所致。2025年,公司销售的内衬产品平均单价相对稳定。
(2)匀气环
2023年,公司销售的匀气环产品销量相对较低,主要系部分匀气环新品的交付处于爬坡阶段,但匀气环的平均单价因产品复杂度提升有所增加。2024年随着复杂度提升的产品交付增加,单价和销量提升。2025年,公司销售的匀气环产品销量随着客户需求增加而提升,平均单价较为稳定。
(3)腔体
2023年至2025年,随着半导体国产替代进程加速,公司生产腔体的产能与技术实力不断提升,公司销售的腔体产品销量、收入不断增长。
单价方面,2023年和2024年,公司腔体产品单价保持稳定;2025年,公司腔体产品的平均单价提升,主要系公司销售的几款传输腔产品因尺寸大、复杂度较高、销售价格相对较高,拉高了整体均价。
(4)气体分布盘
2023年至2024年,公司销售的气体分布盘产品量价齐升,主要系公司当年工艺复杂的高附加值气体分布盘产品的销量增加,平均单价相应提升。2025年该产品在量价方面相对稳定。
(5)冷盘
2023年至2024年,公司销售的冷盘产品处于量价齐升的态势。公司依托于特色焊接工艺优势,打造冷盘产品。随着公司工艺的不断优化,公司冷盘产品得到客户的更多订单,2023年至2024年的销量逐年增加。
2023年至2024年,随着公司产品的技术升级,公司生产的冷盘产品的工艺复杂度更高、功能更多,公司产品的附加值提升,产品单价相应提升。2025年度,公司销售的部分高价品号冷盘产品销量有所减少,导致平均单价降低。
(6)匀气盘
2024年公司匀气盘产品销量提升明显,主要系随着公司持续加大产品及工艺升级,多款匀气盘新产品陆续通过客户验证并进入批量采购阶段。
2024年和2025年,公司销售的匀气盘产品的平均单价提升,主要系公司研发与销售了工艺复杂度和附加值更高的匀气盘产品。
(7)多管式加热反射罩
2024年,公司销售的多管式加热反射罩的销量提升明显,主要系公司当年研发与销售的新产品形成了批量出货。
2024年,公司销售的多管式加热反射罩产品单价提升,主要系公司研发与销售了新型号的多管式加热反射罩产品并向更多客户形成销售。2025年,公司多管式加热反射罩产品的平均单价较为稳定,销量同比下降主要系客户2024年该类零件采购需求相对较高。
(8)加热器
报告期内,公司加热器产品的销售收入持续提升,但平均单价处于下降趋势。从销量来看,报告期内,公司加热器产品销量实现连续增长,这主要得益于公司新产品的成功研发与销售,和新客户的加速导入。
报告期内,公司销售的加热器产品类型增加,其中单价较低的小型加热器产品的销量增加,拉低了整体单价。
(9)静电卡盘基体
2023年至2025年,公司静电卡盘基体产品的销量不断提升,主要系公司通过研发不断推动产品升级,并开拓了新客户群体。
2024年,随着公司与新客户的稳定成熟,销量提升604.17%,产品单价保持稳定;2025年,公司销售工艺复杂的静电卡盘基体占比增加,导致平均单价提升。
(10)半导体工艺零部件
2024年公司销售的半导体工艺零部件产品的销量提升,主要系受到半导体行业周期向好的影响;2025年销量相对稳定。报告期内公司半导体工艺零部件的平均销售单价不断提升,主要系公司不断提高工艺水平,销售价格相对较高的产品(如静电卡盘安装座、冷却工艺零部件等)占比提升所致。
(11)半导体结构零部件
公司销售的半导体结构零部件种类繁多、型号各异,不同产品因大小形态、功能、原材料用料、工艺复杂度的不同,价格也各异。
2024年公司销售的半导体结构零部件产品的销量提升,主要系受到半导体行业周期向好的影响。2025年销量相对稳定。
单价方面,2024年单价下降,主要系公司当年销售了更多单价较低的法兰产品;2025年单价提升,主要系承接了更多高单价的一般结构件的业务。
(12)激光设备零部件
2024年,公司激光零部件产品的销量较为稳定。2025年随着客户需求的增加,公司激光设备零部件产品的销量增长。
2024年,公司销售的激光器设备零部件的平均单价下降,主要系激光器底座产品的销量小幅下降。2025年,随着公司激光设备冷却工艺零部件的工艺复杂度提升,公司激光设备零部件的平均单价提升。
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