干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售并提供相关技术服务。
干式真空泵、真空科学仪器设备、维修及维护等服务、零部件及其他产品销售
干式真空泵 、 真空科学仪器设备 、 维修及维护等服务 、 零部件及其他产品销售
真空设备、薄膜工艺设备、材料生长设备、太阳能电池覆膜设备、洁净真空获得设备、表面分析仪器、电子仪器、离子泵、真空零部件的研发、生产、销售、维修及相关的技术开发、技术转让、技术咨询,自营和代理各类商品和技术的进出口,但国家限定公司经营或禁止进出口的商品和技术除外,供暖,房屋租赁。
| 业务名称 | 2025-12-31 | 2024-12-31 | 2023-12-31 |
|---|---|---|---|
| 采购均价:材料类(元/套) | 0.66 | 0.45 | 0.66 |
| 采购均价:集成设备类(元/套) | 1613.65 | 1279.81 | 1478.12 |
| 采购均价:水(元/吨) | 5.01 | 4.98 | 4.94 |
| 销量:干式真空泵(台) | 9763.00 | 8695.00 | 6619.00 |
| 采购均价:机械类(元/套) | 31.36 | 34.82 | 29.44 |
| 产销率:干式真空泵(%) | 101.85 | 75.05 | 87.09 |
| 采购均价:外协加工(元/套) | 113.85 | 248.08 | 150.02 |
| 采购均价:电器类(元/台) | 2.13 | 2.90 | 1.69 |
| 采购均价:密封件类(元/套) | 25.25 | 18.30 | 8.46 |
| 销量:真空科学仪器设备(台/套) | 214.00 | 166.00 | 207.00 |
| 产量:真空科学仪器设备(台/套) | 196.00 | 163.00 | 192.00 |
| 销售均价:干式真空泵:罗茨干泵(元/台) | 8.48万 | 9.36万 | 9.60万 |
| 产能利用率:干式真空泵(%) | 90.55 | 109.17 | 90.64 |
| 产量:干式真空泵(台) | 9586.00 | 1.16万 | 7600.00 |
| 产销率:真空科学仪器设备(%) | 109.18 | 101.84 | 107.81 |
| 采购均价:电(元/千瓦时) | 0.67 | 0.69 | 0.69 |
| 核心技术产品收入营业收入(元) | 10.73亿 | 9.58亿 | 7.53亿 |
| 市场占有率:干式真空泵:境内(%) | - | 12.72 | - |
营业收入 X
| 业务名称 | 营业收入(元) | 收入比例 | 营业成本(元) | 成本比例 | 主营利润(元) | 利润比例 | 毛利率 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
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加载中...
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||||||||
| 客户名称 | 销售额(元) | 占比 |
|---|---|---|
| 客户B |
2.37亿 | 18.39% |
| 客户E |
1.43亿 | 11.06% |
| 隆基绿能科技股份有限公司 |
7803.06万 | 6.04% |
| 客户F |
5699.43万 | 4.41% |
| 客户G |
4807.30万 | 3.72% |
| 供应商名称 | 采购额(元) | 占比 |
|---|---|---|
| 沈阳巨石科技有限公司 |
5249.55万 | 7.15% |
| 供应商A |
4804.11万 | 6.55% |
| 沈阳贝瑞科技有限公司与沈阳银球轴承有限公 |
4230.81万 | 5.76% |
| 供应商B |
3223.03万 | 4.39% |
| 上海鸿亦昌实业有限公司 |
3125.36万 | 4.26% |
| 客户名称 | 销售额(元) | 占比 |
|---|---|---|
| 长江存储科技控股有限责任公司 |
1.40亿 | 12.93% |
| 长鑫科技集团股份有限公司 |
1.22亿 | 11.32% |
| 深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司与深圳市 |
1.06亿 | 9.80% |
| 北方华创科技集团股份有限公司 |
5484.07万 | 5.07% |
| 隆基绿能科技股份有限公司 |
5364.69万 | 4.96% |
| 供应商名称 | 采购额(元) | 占比 |
|---|---|---|
| 沈阳贝瑞科技有限公司与沈阳银球轴承有限公 |
6780.97万 | 8.65% |
| 供应商A |
6314.40万 | 8.05% |
| 沈阳巨石科技有限公司 |
6112.25万 | 7.79% |
| 供应商B |
4930.35万 | 6.30% |
| 供应商C |
3166.26万 | 4.04% |
| 客户名称 | 销售额(元) | 占比 |
|---|---|---|
| 隆基绿能科技股份有限公司 |
1.59亿 | 18.67% |
| 长江存储科技控股有限责任公司 |
7465.09万 | 8.76% |
| 芯恩(青岛)集成电路有限公司 |
4744.20万 | 5.57% |
| 中芯国际集成电路制造有限公司 |
4500.67万 | 5.28% |
| 上海积塔半导体有限公司 |
3025.15万 | 3.55% |
| 供应商名称 | 采购额(元) | 占比 |
|---|---|---|
| 沈阳贝瑞科技有限公司与沈阳银球轴承有限公 |
5138.17万 | 8.24% |
| 沈阳巨石科技有限公司 |
4261.84万 | 6.83% |
| 供应商A |
3478.11万 | 5.58% |
| 供应商D |
3152.96万 | 5.06% |
| 供应商B |
2878.76万 | 4.62% |
| 客户名称 | 销售额(元) | 占比 |
|---|---|---|
| 长江存储科技有限责任公司 |
1.08亿 | 15.52% |
| 隆基绿能科技股份有限公司 |
9219.57万 | 13.21% |
| 中芯国际集成电路制造有限公司 |
4049.19万 | 5.80% |
| 芯恩(青岛)集成电路有限公司 |
2692.00万 | 3.86% |
| 中国科学院高能物理研究所 |
2603.08万 | 3.73% |
| 供应商名称 | 采购额(元) | 占比 |
|---|---|---|
| 沈阳贝瑞科技有限公司与沈阳银球轴承有限公 |
5864.51万 | 11.81% |
| 供应商甲 |
3514.40万 | 7.08% |
| 供应商乙 |
2948.97万 | 5.94% |
| 沈阳巨石科技有限公司 |
2857.24万 | 5.76% |
| 供应商丙 |
2670.29万 | 5.38% |
| 客户名称 | 销售额(元) | 占比 |
|---|---|---|
| 长江存储科技有限责任公司与武汉新芯集成电 |
8862.42万 | 19.76% |
| 中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司与中 |
3363.62万 | 7.50% |
| 北京北方华创微电子装备有限公司与北京七星 |
3167.79万 | 7.06% |
| 西安隆基乐叶光伏科技有限公司与隆基乐叶光 |
2091.57万 | 4.66% |
| 南方科技大学 |
1932.57万 | 4.31% |
| 供应商名称 | 采购额(元) | 占比 |
|---|---|---|
| 沈阳贝瑞科技有限公司与沈阳银球轴承有限公 |
4412.86万 | 12.02% |
| (供应商一) |
2232.21万 | 6.08% |
| (供应商二) |
2118.75万 | 5.77% |
| (供应商三) |
1375.07万 | 3.75% |
| 沈阳巨石科技有限公司 |
1303.03万 | 3.55% |
一、业务概要
商业模式报告期内变化情况:
公司主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售并提供相关技术服务。主要产品包括面向半导体及泛半导体领域提供生产用的干式真空泵、面向国家重大科学工程和前沿科学领域提供研究用的真空科学仪器设备及相关技术服务。
作为中国科学院下属专注于洁净真空、超高真空技术研究和发展的企业,公司拥有真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三个国家级研发平台,是我国真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军;公司及前身先后获国家科学技术进步特等、一等、二等、三等奖共6项,中国科学院及省部级科学技术进步奖20余项,...
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一、业务概要
商业模式报告期内变化情况:
公司主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售并提供相关技术服务。主要产品包括面向半导体及泛半导体领域提供生产用的干式真空泵、面向国家重大科学工程和前沿科学领域提供研究用的真空科学仪器设备及相关技术服务。
作为中国科学院下属专注于洁净真空、超高真空技术研究和发展的企业,公司拥有真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三个国家级研发平台,是我国真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军;公司及前身先后获国家科学技术进步特等、一等、二等、三等奖共6项,中国科学院及省部级科学技术进步奖20余项,国家重点新产品6项;公司先后4次承担“国家极大规模集成电路制造装备及成套工艺(02专项)”,是“02专项”重点支持的集成电路零部件研制单位之一,并先后13次承担“04专项”“863计划”“国家重点研发计划”等国家级重大科研专项/课题;负责或作为主要参与方起草了13项真空技术相关的国家、行业及团体标准;截至2026年6月30日,本公司及下属子公司已获授权专利131项,其中发明专利110项、实用新型专利20项、外观专利1项,获得软件著作权36项。
公司干式真空泵产品的客户主要为集成电路制造企业、光伏产品制造企业及相关设备制造企业,获取订单的方式主要为招投标和商务谈判,产品销售方式主要为直销。其中,集成电路和光伏产品制造企业系公司干式真空泵产品的终端用户,公司与该类客户直接签署销售合同;同时,公司也存在向装备制造企业销售的情形,由装备制造企业集成本公司产品再向集成电路或光伏产品制造企业销售。除直销以外,公司干式真空泵产品还存在少量经销,即公司将产品销售给经销商,再由经销商向终端用户提供产品。
公司真空科学仪器设备产品的客户主要为科研院所、大专院校等科研单位,公司主要通过招投标或商务谈判,以直销的方式获取订单。此外,由于部分科研单位通过贸易商对仪器设备进行统一采购,公司存在少量向贸易商销售的情形。
报告期内,公司的商业模式未发生变化。
二、经营情况回顾
(一)经营计划
2026年上半年,公司各项业务稳健发展,整体经营情况良好。报告期内,公司实现营业收入62,315.83万元,较上年同期增长8.52%;实现净利润183,873.61万元,较上年同期增长1,229.96%;实现归属于上市公司股东的扣除非经常性损益后的净利润6,106.35万元,较上年同期下降3.41%。截至2026年6月末,公司总资产670,977.79万元,较上年期末增长78.55%,公司净资产509,386.75万元,较上年期末增长105.91%。
(二)行业情况
1、干式真空泵产业发展情况
干式真空泵属于通用设备,可广泛应用于传统硅基集成电路晶圆制造、化合物半导体晶圆制造、太阳能电池片制造、锂电池烘干、显示面板生产、生物制药、化工等多个国民经济支柱产业。报告期内,公司研制的干式真空泵主要向集成电路、光伏产业销售,其他行业销售收入较少。
(1)集成电路产业发展情况
集成电路产业作为现代信息产业的基础和核心产业之一,是关系国民经济和社会发展全局的基础性、先导性和战略性产业,在保障国家安全、推动国家经济发展以及社会进步等方面发挥着广泛而重要的作用,是衡量一个国家现代化程度以及综合国力的重要标志。经过60余年的发展,集成电路已成为现代日常生活和未来科技进步中必不可少的组成部分。集成电路行业下游应用广泛,包括消费电子、数字图像、网络通信、云计算、大数据、人工智能等。
我国大陆集成电路产业起步较晚,但近年来发展迅速,行业增速领先全球。在国家及地方各级政府部门多项产业政策的支持、国家集成电路产业投资基金和各地方专项扶持基金的推动,以及社会各界的共同努力下,我国集成电路产业规模从弱小到壮大,企业创新能力逐步提升,已经在全球集成电路产业中占据重要地位,在部分细分领域初步具备了国际领先的技术和研发水平。
全球集成电路用干式真空泵市场,英国Edwards、日本Ebara、日本Kashiyama等少数几家外资企业占据大部分市场份额,国内厂商市场份额较低。受益于本公司多年以来在该领域的持续研发创新,以及“02专项”等国家政策大力推动,本公司在我国集成电路市场中占据了一定市场份额,且份额持续提升。公司是集成电路领域干式真空泵出货量最大的国产企业,是唯一在集成电路先进制程实现干式真空泵批量交付的国产企业,是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现干式真空泵批量交付的国产企业。
2026年上半年,受AI算力基建扩张与存储超级周期共振拉动,全球半导体行业呈结构性高景气运行。公司下游集成电路客户进入新一轮产能建设期,干式真空泵作为刻蚀、薄膜沉积、离子注入等环节通用真空装备充分受益。截至报告披露日,公司在手订单充足,生产及备货安排充分,产能利用状态良好,可有效保障市场订单交付。
(2)光伏产业发展情况
根据国际能源署(IEA)在《2024年可再生能源分析与展望》中的预测,2030年全球光伏新增装机容量在各种电源形式中的占比将达到70%。未来在光伏发电成本持续下降和新兴市场需求增长等有利因素的推动下,全球光伏新增装机仍将持续增长。
《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》《2030年前碳达峰行动方案》《“十四五”现代能源体系规划》《“十四五”可再生能源发展规划》等政策相继出台,要求各行业制订好2030年前碳排放达峰行动方案,进而加快实现“十四五”规划中推动绿色低碳发展的既定目标,为构建新型电力系统指明了方向。根据规划,我国非化石能源消费比重将由2021年的16.52%增至2025年的20%,2030年将达到25%;到2030年,风电、太阳能发电总装机容量将达到12亿千瓦以上。从长期看,到2060年我国非化石能源消费比重将超80%。
2、真空科学仪器设备产业发展情况
(1)科研仪器产业发展情况
科学仪器行业是现代工业的重要支撑,科学仪器的创新、制造和应用水平体现了一个国家的科学技术和工业发展的实力。科学仪器的发展和创新是催生科技创新的重要要素,各行业的研究成果均离不开先进的科学仪器,或与新仪器的采用或功能发展直接相关。加强基础研究,是我国实现高水平科技自立自强的迫切要求,是建设世界科技强国的必由之路。2022年我国基础研究经费首次突破2,000亿元,2025年达2,778亿元,2015-2025年复合增长率为14.52%,2025年占研发总投入的比重为7.08%,连续7年保持6%以上,极大推动了我国原始创新能力提升。我国科技经费投入快速增长有力支撑了创新型国家建设,但在研发经费投入强度、基础研究经费占比等方面仍与世界科技强国建设要求存在一定差距。
近年来,我国企业研发部门、高校、科研院所等各类科研机构数量和规模的快速增长,以及研发经费的持续大规模投入,显著地促进了对各类科学仪器的需求。根据智研咨询统计,2023年我国科学仪器行业市场规模为3,549.10亿元,占研发总投入的比重超过10%。未来,随着基础研究的持续深入与研发经费持续增长,预计将带动相关科学仪器的需求快速增长,为科学仪器市场提供更为广阔的发展空间。
与此同时,虽然近年来我国对国产仪器仪表给予了大量政策支持,过往被外资垄断的局面已逐渐被打破,国产科学仪器在部分细分领域竞争力有所提升。但总体而言,国产仪器仅在低端产品领域占据一定份额,但在高端仪器领域,受限于技术积累、人才储备以及高强度研发投入等因素,国产仪器与进口仪器在技术先进性、产品质量等方面仍存在一定差距,高端市场仍主要被外资厂商占据。
另外,美国等发达国家将科学仪器产业定位为高端制造业、高保密行业和战略性产业,对科研仪器的整机、零部件执行严格的出口管制,不仅影响着我国科研仪器的贸易、采购、运行、研发和使用,进而制约我国在科学研究、工业制造、军事发展等方面的深度和水平。对此,国家大力鼓励科研仪器设备的研制与自主化,以尽早实现这一关键领域的自主可控。
(2)真空科学仪器设备产业发展情况
国家重大科技基础设施又称大科学装置,是推动科技创新、开展基础科学研究、突破关键核心技术的重要手段,在我国的科技布局中扮演重要角色,为我国诸多重大成果的突破和建设科技强国提供强有力的支撑,是国家科技发展水平,尤其是基础研究发展水平的重要标志,也是国家综合国力的体现。我国从上世纪80年代启动重大科技基础设施建设,1990年建成运行的北京正负电子对撞机工程,是我国重大科技基础设施建设的重要开端。20世纪90年代,兰州重离子加速器、合肥同步辐射装置等设施相继建成,重大科技基础设施建设开始向多学科领域扩展。截至2023年底,我国已经布局建设77个国家重大科技基础设施,其中的35个已建成运行,部分设施已经迈入全球第一方阵。
国内真空科研薄膜仪器设备经过数十年的发展,门类现已较为齐全,主要分为PVD和CVD,其中PVD主要包括热蒸发沉积、溅射沉积、离子镀和分子束外延等,化学气相沉积可分为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、金属有机化合物化学气相沉积技术(MOCVD)、激光化学气相沉积(LCVD)等。科研用真空镀膜设备广泛应用于电子、机械、光学、能源等学科,在基础科学发现、技术创新等方面具有巨大的市场需求。
PVD技术广泛应用于航空航天、电子、光学、机械、建筑、轻工、冶金、材料等领域,可制备具有耐磨、耐腐蚀、装饰、导电、绝缘、光导、压电、磁性、润滑、超导等特性的膜层。CVD技术应用于耐磨耐热耐腐蚀材料、宇航工业的特殊复合材料、原子反应堆材料及生物医用材料等领域,而且被广泛应用于制备与合成各种粉体材料、块体材料、新晶体材料、陶瓷纤维及金刚石薄膜等。在作为大规模集成电路技术需要的铁电材料、绝缘材料、磁性材料、光电子材料的薄膜制备技术方面不可或缺。在真空科学仪器设备领域,公司在国内市场竞争优势突出、市场份额较高,主要竞争对手为美国行业领先企业Veeco、KJLC。
真空薄膜仪器领域,公司的产品性能指标以及设计制造能力居于国内领先地位,主要与行业头部企业美国的Veeco、KJLC进行竞争。
大科学工程领域,公司是同步辐射光源机械真空领域的最主要供应商,承接了上海同步辐射光源32条前端区中的23条(占比超70%)、34条光束线中的18条(占比超50%),北京高能同步辐射光源一期15条前端区中的12条(占比80%),合肥先进光源一期11条前端区(共11条)和储存环中全部铜真空室,以及各类光源中近百台套波荡器的研制、加工、集成、磁测垫补工作,技术达到国际先进水平,部分关键部件实现自主可控,其中公司作为“上海光源国家重大科学工程”的参与单位获2013年“国家科学技术进步奖一等奖”。
三、公司面临的风险和应对措施
产品尚未覆盖部分先进制程中等、苛刻工艺环节产生的风险
重大风险事项描述:公司干式真空泵产品已实现对集成电路制造成熟制程全部工艺、先进制程清洁工艺,以及先进制程中等工艺、苛刻工艺中部分工艺环节的覆盖。对于尚未实现覆盖的部分先进制程中等、苛刻工艺环节,公司已全部完成相应产品的研制,待完成客户的测试验证程序后即具备批量交付的条件。相关产品的客户测试验证工作正在稳步推进当中,公司预计全部测试验证工作将于2026年四季度完成。如测试验证进程不及预期,将可能造成客户采购相应产品时公司不具备交付能力,对公司经营业绩造成不利影响。应对措施:1.加快推进客户端测试验证。对尚未覆盖的先进制程中等、苛刻工艺环节,公司已完成相应产品研制,正按节奏推进多客户、多产线并行送样验证,确保全部测试验证工作按预计于2026年四季度完成,验证通过即具备批量交付条件。2.平台化研发与本土化快速响应。依托平台型研发体系和本土供应链,围绕国内晶圆厂特色工艺持续迭代泵型,提供贴身式应用支持,缩短工艺适配与整改闭环周期。3.产能与供应链预置。结合南通基地产能释放与在手订单情况,对关键零部件提前排产与安全库存准备,保障验证通过后由样机向批量交付平稳切换。
技术和产品研发风险
重大风险事项描述:强大的技术工艺和产品研发能力是行业内企业可持续发展并保持行业竞争优势的关键,同时,下游产业市场需求的不断变化,产业技术水平的持续提升以及市场竞争的加剧,公司的研发和持续创新能力面临挑战。如果公司不能准确把握行业未来发展方向、研发创新机制不能适应行业发展需要、技术水平无法满足市场要求,则公司的市场竞争力和盈利能力将受到负面影响。应对措施:公司通过健全研发全流程体系、加大研发投入、深化产学研协同、完善人才激励、动态评估迭代、强化知识产权,确保研发能力匹配行业技术迭代与市场需求,降低研发滞后或创新不足的风险。
市场竞争风险
重大风险事项描述:半导体设备行业具有较高的技术壁垒、市场壁垒和客户认知壁垒。干式真空泵产品长期被欧美、日本厂商垄断,自公司产品量产以来,已逐步得到市场和客户的认可,但国外竞争对手从产品、服务、价格等多方面与公司展开竞争,与国外竞争对手相比,公司在资金实力、技术储备、生产能力、市场知名度等方面仍处于劣势地位。如果公司不能准确把握行业发展规律,并持续技术创新、改善经营管理以开发创新产品与工艺、提升产品质量、降低生产成本,则可能对公司的盈利能力造成不利影响。应对措施:公司通过技术攻坚、产能降本、资金保障、动态响应等举措,持续提升技术、成本、品牌竞争力,降低市场竞争对盈利的不利影响。
税收政策风险
重大风险事项描述:公司享受的税收优惠政策包括软件产品增值税即征即退、研发费用加计扣除、高新技术企业所得税优惠等。如果国家有关税收优惠的法律、法规、政策等发生重大调整,或者由于公司未来不能持续取得国家高新技术企业资格等原因而无法享受相关税收优惠,将对公司的经营业绩造成不利影响。应对措施:公司通过持续满足高新技术企业认定条件、强化研发管理与费用归集、跟踪政策动向并多元化筹划、披露税收优惠敏感性分析及建立应急预案、加强内控合规审计等措施,确保税收优惠政策稳定享受,降低政策调整对经营业绩的负面影响。
本期重大风险是否发生重大变化:
本期重大风险未发生重大变化。
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