硅基半导体、化合物半导体及光伏领域湿法清洗设备的研发、生产和销售。
硅基半导体湿法清洗设备、化合物半导体湿法清洗设备、光伏湿法设备、相关辅机与配件
RCA清洗设备(RCA Clean) 、 去氮化物设备(Nitride Etch) 、 去胶清洗设备(PR Strip) 、 去氧化物设备(Oxide Etch) 、 去金属设备(Metal Remove) 、 薄片清洗设备(Thin Wafer Clean) 、 预清洗设备(Pre Clean) 、 有机清洗设备(Solvent Clean) 、 化蜡设备(Wax Melting) 、 砷化镓刻蚀设备(GaAs Etch) 、 TOPCon电池槽式湿法设备 、 TOPCon电池链式湿法设备 、 BC电池槽式湿法设备 、 BC电池链式湿法设备 、 晶圆存放盒清洗设备 、 炉管装置清洗设备
软件开发及相关技术咨询、技术服务、技术转让;计算机网络综合布线,计算机系统集成;电子工业专用设备、半导体设备、检测设备、液晶设备、太阳能光伏设备研发、制造、销售;普通货物仓储服务;通用机械设备安装、租赁、维修;电子元器件、通用机械设备及配件、自动化控制设备、通讯器材、仪器仪表、橡塑制品、计算机及辅助设备、化工产品(不含危险化学品)、五金产品、家用电器、金属材料、办公用品、电子产品销售;一般商务信息咨询(不含投资投资理财类);货物或技术进出口(国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外);水处理系统及洁净室厂房的设计、安装及技术咨询、技术服务;机电工程、建筑工程、电力工程、输变电工程、建筑机电安装工程、市政公用工程、建筑装修装饰工程、电子与智能化工程、水利水电工程、环保工程、管道工程设计、施工;施工劳务。(依法须经批准的项目经相关部门批准后方可开展经营活动)
营业收入 X
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(一)营业收入构成分析 1、营业收入总体情况 报告期各期,公司营业收入为12,073.38万元、44,175.25万元、58,041.15万元及26,692.62万元。2025年1-6月,公司营业收入较上年同期增长17.05%,整体呈快速增长趋势。 公司营业收入主要来自于主营业务收入,报告期内,公司主营业务收入占同年营业收入的比例分别为99.90%、99.89%、99.63%和98.68%,占比较高。其他业务收入主要系原材料销售、废料处置收入,金额及占比较小。报告期内,公司营业收入增长显著,主要系湿法清洗设备销售形成的主营业务收入增 长导致。 (1)报告期内,中国大陆半导体产业高... 查看全部▼
(一)营业收入构成分析
1、营业收入总体情况
报告期各期,公司营业收入为12,073.38万元、44,175.25万元、58,041.15万元及26,692.62万元。2025年1-6月,公司营业收入较上年同期增长17.05%,整体呈快速增长趋势。
公司营业收入主要来自于主营业务收入,报告期内,公司主营业务收入占同年营业收入的比例分别为99.90%、99.89%、99.63%和98.68%,占比较高。其他业务收入主要系原材料销售、废料处置收入,金额及占比较小。报告期内,公司营业收入增长显著,主要系湿法清洗设备销售形成的主营业务收入增
长导致。
(1)报告期内,中国大陆半导体产业高速发展,国产化率提升,光伏产业持续发展及技术迭代需求,带动国内湿法清洗设备行业需求,公司营业收入规模实现快速增长
报告期内,中国大陆依托终端消费电子、信息技术、新能源等产业庞大的市场需求,半导体市场规模呈持续上升趋势,根据WSTS及CSIA数据,复合增长率高于全球水平。与此同时,国内晶圆制造及上游设备供应链端仍存在较大的国产化技术需求和市场空间。以国家产业政策支持、行业市场化驱动及国产化为主要契机,国内晶圆制造企业凭借技术突破、相对成本、终端产业等优势,积极推动产能实现逆势扩张,市场份额占全球比重持续提升。在此背景下,国内晶圆制造企业产线投资建设规模、新产品工艺的研发投入均不断增长,同时基于产业技术进步、属地化产业链协同、产线投产运行效率等因素,持续加大对优质国产半导体设备的采购力度,推动国产半导体设备企业市场规模实现快速增长,国产化率实现持续提升。
湿法清洗设备是半导体制造的关键工艺装备之一,行业需求主要受产业链下游终端产品市场需求、中游晶圆制造产能扩张等因素驱动,国内行业受上述主要因素影响,市场需求持续攀升。根据弗若斯特沙利文报告,2020-2024年期间,中国半导体湿法设备市场规模由93.5亿元迅速增长至228.2亿元,年复合增长率高达25.0%。国内半导体行业需求高速增长,带动公司营业收入规模实现快速增长。
光伏产业持续发展及技术迭代需求是推动公司报告期收入增长的另一重要因素。一方面,报告期内,全球新增光伏装机量稳步上升,国内光伏产业在报告期内持续发展,在制造规模、产业化技术水平、应用市场拓展、产业体系建设等方面已位居全球前列,带动国内上游光伏湿法设备市场规模由2022年度的57.2亿元增长至2024年度的152.0亿元。公司凭借在湿法清洗设备领域的技术积累,在TOPCon、BC等新型光伏湿法设备的研发和生产方面建立了核心竞争优势,切入下游光伏龙头厂商供应链,逐步实现了光伏湿法设备的规模化量产应用。另一方面,国内光伏产业当前阶段性面临供需失衡、技术同质化、市场竞争加剧等局面。在此背景下,通过持续投入实现技术变革及产业化应用成为行业发展的关键增量因素。报告期内,公司结合对光伏行业变革和客户需求的深刻理解,助力光伏龙头隆基绿能实现BC工艺技术及产业应用突破,成为其BC工艺清洗设备核心供应商,为公司当前及未来收入增长提供了良好动能。
(2)报告期内,公司专注于湿法清洗设备领域技术创新及产业化,在晶圆尺寸、工艺场景、工艺制程、应用领域等方面均实现了全面应用覆盖,日趋丰富的产品线为公司发展提供了持续动力源泉,产品得到客户认可并顺利验收,有效带动了产品收入规模的显著增长
报告期内,凭借自身技术创新及科技成果转化能力,公司持续推进产品在晶圆尺寸、工艺场景、工艺制程等方面的全面应用覆盖。截至目前,公司已实现对8英寸、12英寸等市场主流晶圆尺寸,成熟制程湿法清洗核心工艺场景的全面覆盖,持续推进先进制程产品的技术验证及产业化应用。
在晶圆尺寸方面,报告期内,公司成功实现12英寸硅基半导体湿法清洗设备的产业验证及应用,12英寸产品收入金额及占比逐步提升,实现了首台12英寸单片清洗设备验收;在工艺场景方面,公司报告期内验收产品覆盖多个核心工艺场景,薄片清洗设备、高温磷酸清洗设备实现首台套验收,助力客户实现了该工艺场景的设备国产化;在工艺制程方面,公司报告期内产品最高应用工艺制程逐步从55nm拓展至28nm,已开展28nm以下先进制程、单片高温硫酸等特殊工艺产品的技术开发及验证;在应用领域方面,公司化合物半导体、光伏领域设备自2023年起开始实现批量化验收,成为国内少数实现高兼容性8英寸碳化硅湿法清洗设备供应商之一;光伏湿法设备覆盖技术路线由TOPCon拓展至BC工艺,实现了主流及先进工艺产品的全面覆盖。
公司半导体清洗设备主要包括前段工序(FEOL)、后段布线工序(BEOL)、后道封装、晶片制备和晶片回收等类别。公司已构建“核心部件设计—设备系统开发—工艺段应用调试—应用效果优化”的完整业务链,能够根据不同工艺环节、不同工艺制程的应用需求进行“流水线”式孵化,日趋丰富的产品线系公司发展的持续动力源泉。公司湿法清洗设备单位价值较高,前期交付订单根据客户实际验收情况陆续确认收入,也推动了报告期内产品收入规模的显著增长。
(3)报告期内,公司秉持下游行业领先客户服务战略,凭借在行业内逐步建立的品牌、技术、客户服务能力等综合竞争优势及壁垒,持续深化客户业务合作关系,开拓新增客户,实现了报告期内营业收入的快速增长
报告期内,公司秉持下游行业领先客户服务战略,已深度参与国内半导体产业国产化进程,在产业链中占据重要地位。公司产品及客户验证历程以技术创新为核心发展脉络,逐步切入下游行业龙头客户供应链,凭借自身在湿法清洗设备领域的关键核心技术,推出与国内外厂商相比更具竞争力的产品,通过客户产品验证,逐步实现单一大客户的批量化交付验收。公司现已成为芯联集成、时代电气、比亚迪、华润微、三安光电、隆基绿能等下游行业领先客户首台湿法清洗设备国产供应商或主要湿法清洗设备供应商,在部分湿法清洗特殊工艺及前沿技术产品领域实现了技术突破,帮助客户实现了设备国产化。
半导体设备行业具有较高的技术壁垒及客户壁垒,进入客户供应链通常需要履行严格的验证程序,以测试相关设备是否能够满足工艺及稳定性的要求;验证通过后,晶圆制造企业与半导体设备供应商通常能够形成稳定的合作关系。一方面,公司报告期内已与现有主要客户建立深度紧密的业务合作关系,前瞻性洞察客户产品技术需求,及时实施研发部署及产品技术创新,在此过程中有效助力客户解决产线生产、工艺技术升级发展过程中的技术难题,及时响应客户全业务环节服务需求,可持续满足现有主要客户因产线扩建、技术升级、产品迭代等形成的产品采购需求;另一方面,公司报告期内持续开拓新增客户,持续贡献了产品收入增量。
综上所述,报告期内,受益于上述行业、产品及技术、客户等关键因素的积极影响,公司经营业绩实现快速增长。
2、主营业务收入产品构成分析
公司主营业务为湿法清洗专用设备的研发、生产和销售,同时销售配套产品,提供相关技术服务。湿法清洗专用设备主要包含硅基半导体湿法清洗设备、化合物半导体湿法清洗设备、光伏湿法设备三大类应用领域产品。
公司主营业务收入主要来自于湿法清洗专用设备,报告期内收入分别为9,064.64万元、43,702.68万元、56,161.86万元和25,910.21万元,占主营业务收入比例分别为75.15%、99.04%、97.12%和98.37%,收入规模呈快速增长趋势,占比较高,推动主营业务收入的持续增长。
公司自设立起即深耕国内硅基半导体湿法清洗设备领域,发展初期聚焦成熟制程,在硅基半导体槽式清洗设备领域位居国产品牌前列,积累了丰富的技术及产业化应用经验。报告期内,硅基半导体湿法清洗设备是公司收入规模及占比较高的产品类别,各期实现收入金额分别为8,564.64万元、20,128.43万元、28,562.03万元及10,334.90万元,2025年1-6月较上年同期增长49.34%,呈逐年增长趋势。公司凭借行业标杆龙头客户的产业验证经验、研发技术能力及在行业内建立的影响力,实现原有客户批量化订单稳步获取的同时,持续开拓并新增取得下游行业领先客户订单,进一步扩大在下游晶圆制造、先进封装等领域的市场份额,实现了收入增长。
与此同时,公司凭借在硅基半导体湿法清洗设备领域的技术积累,结合对化合物半导体、光伏行业技术迭代、革新和客户需求的深刻理解,2021年度取得光伏行业龙头客户首台产品订单,2022年度成功切入化合物半导体领域,与国内碳化硅龙头客户形成批量化业务合作。化合物半导体、光伏湿法设备历经前期研发、生产、交付,自2023年起进入批量化验收阶段。2023年度、2024年度及2025年1-6月,公司化合物半导体湿法清洗设备收入金额分别为12,951.24万元、11,750.27万元和1,919.73万元,占比分别为29.35%、20.32%及7.29%;光伏湿法设备收入金额分别为10,623.01万元、15,849.56万元及13,655.58万元,占比分别为24.07%、27.41%及51.85%。报告期内,公司逐步实现了湿法清洗技术在硅基半导体、化合物半导体、光伏三大下游领域的规模化产业应用。
公司配套产品及服务主要由晶圆存放盒清洗设备、炉管装置清洗设备等辅机销售、设备零部件、维修改造、晶圆厂务工程业务等构成。2022年度,公司配套产品及服务金额及占比较高,主要系晶圆厂务工程业务所致。报告期内,公司进一步明确业务定位,集中管理精力并聚焦主业,自2023年起不再从事工程类业务,导致2023年度配套产品及服务收入有所下降。随着公司设备销售规模不断增长,覆盖客户数量逐步增加,辅助设备、零部件等配套产品销售、维修改造等技术服务需求也随之增长,导致2024年度配套产品及服务较2023年度有所增长。
3、主要产品的销售数量和销售价格分析
为满足不同晶圆尺寸、工艺场景、工艺制程、应用领域产品、客户湿法清洗技术及应用需求,公司湿法清洗设备呈现多细分类别、定制化特点。报告期内,公司产品覆盖硅基及化合物半导体、光伏电池片等应用领域。半导体湿法清洗设备主要包括槽式、单片设备,主要覆盖8/12英寸(硅基)、6/8英寸(碳化硅化合物)等市场主流晶圆尺寸,在前道晶圆制造(前段、后段工序)、后道封装各主要工艺场景均实现了应用;光伏湿法设备主要包括槽式、链式设备,涉及TOPCon、BC电池制造工艺路线,包含清洗制绒、碱抛、去绕镀、去BSG/PSG、抛光、刻蚀、去膜层等湿法清洗工艺环节。
报告期内,公司各产品平均价格呈现一定的波动,一方面,针对不同细分类别产品,客户差异化技术参数、产品需求,设备设计技术方案、结构功能、零部件配置等均存在不同,产品成本和定价存在差异;另一方面,公司原材料采购价格、自研自制成本、产品技术溢价能力、市场开拓及竞争策略、客户定价程序均是形成产品最终销售价格的重要决定因素,导致不同期间、客户、订单、产品的定价有所差异。因此,公司各类产品各期间销售均价存在一定波动,具有合理性。
(1)报告期内,硅基半导体湿法清洗设备的销售数量分别为11台、25台、41台及19台,销售均价分别为778.60万元/台、805.14万元/台、696.63万元/台及543.94万元/台。2023年度产品均价上升主要系价格相对较高的12英寸产品收入占比提升导致;2024年度产品均价下降主要系产品定制化差异、市场开拓策略变化,以及核心零部件采购价格变动、自研自制零部件成本下降及规模效应提升等因素导致。公司根据产品成本变动情况、市场竞争情况动态调整产品报价,导致2024年度产品均价有所下降;2025年1-6月产品均价下降主要系部分客户产品定制化差异,以及产品定价策略因素导致。公司向部分客户销售设备工艺流程紧凑,选用高度精简、适配性强的配置方案,同时基于获取客户批量订单考虑,给予了一定价格优惠,为当期硅基半导体湿法清洗设备平均单价下降的重要因素之一。
(2)2023年度、2024年度及2025年1-6月,化合物半导体湿法清洗设备的销售数量分别为31台、23台及4台,受碳化硅主流晶圆尺寸技术迭代影响,下游厂商相应放缓了对6英寸产线的资本开支,部分具备产业技术能力的行业领先厂商开始启动8英寸产线资本投入,同时受客户产线投入时间进度、合同履约阶段等因素影响,导致公司2024年度及2025年1-6月化合物半导体湿法清洗设备销量总体较2023年度有所放缓;销售均价分别为417.78万元/台、510.88万元/台及479.93万元/台。销售价格变动主要与8英寸设备销售占比变动相关,2024年度产品均价较2023年度有所上升,主要系公司顺应碳化硅产业技术由6英寸向8英寸变革的发展趋势,价格相对较高的8英寸设备收入占比上升所致;2025年1-6月产品均价较2024年度下降,主要系当期8英寸设备收入占比下降所致。
(3)报告期内,光伏湿法设备的销售数量分别为2台、33台、50台及42台,销售均价分别为250.00万元/台、321.91万元/台、316.99万元/台及325.13万元/台。2022年度销售产品中包含一台200Pcs清洗机,产能较后续光伏湿法设备较低,产品配置功能相对简单,因此定价相对较低。2023年度至2025年1-6月,光伏湿法设备产品销售均价不存在显著差异。
4、主营业务收入按地区构成分析
报告期内,公司营业收入以内销收入为主,公司主营业务收入区域分布特点与下游半导体晶圆厂及光伏电池片厂商的区域分布及投资地区选择有关。从发展历史和发展趋势来看,中国大陆半导体晶圆厂投资区域主要集中在华东、华南地区,光伏电池片厂商主要集中在华北、西北等区域。
5、主营业务收入的季节性分析
公司主营业务收入的季节性分布主要由下游客户设备采购周期、产线建设进度、达产验收情况,以及公司发展阶段、业务规模等因素影响:(1)下游客户通常于年初确定资本支出计划并下达采购计划,由于各年度原材料采购、设备生产、交付、安装调试、验收存在一定时间周期,导致报告期内公司收入确认主要集中于下半年,第四季度收入占比相对较高;(2)通常来看,半导体设备公司收入季节性分布与业务规模发展存在一定相关性。报告期内,公司整体业务规模相对较小,处于快速发展阶段,湿法清洗设备价格及客户收入集中度均相对较高,单一客户产品批量化验收会对各期收入季节性分布产生一定影响。
6、现金交易及第三方回款
报告期内,公司制定了现金交易的资金管理规范,相关内控运行有效,各期现金交易金额及占比均相对较小。2022年度,公司因向个人进行废料销售,形成现金收款0.23万元,2023年度及2024年度全部通过银行转账方式实现废料销售结算;2022年度至2025年1-6月,公司现金付款金额分别为3.39万元、1.62万元、1.68万元及1.73万元,主要为支付新年开门红包等零星支出。
报告期内,公司存在商品销售回款方与合同签订主体不一致的情形。
报告期内,公司客户通过第三方付款,主要原因为客户根据所属集团要求通过集团内其他关联方支付,上述涉及第三方回款的客户及付款方与公司均不存在关联关系。报告期内公司的第三方回款情况基于业务合作需求发生,具有必要性和商业合理性。
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