| 法律实体 | 成立法团的司法管辖权 | ||||
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ASML Holding N.V.的子公司1:
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| ASML Belgium B.V。 | 比利时(安特卫普) | ||||
| 爱马仕微视界有限公司(北京) | 中国(北京) | ||||
| ASML(上海)电气设备有限公司。 | 中国(上海) | ||||
| ASML(北京)设备维修股份有限公司 | 中国(北京) | ||||
| ASML(上海)光刻设施科技有限公司 | 中国(上海) | ||||
| 赛默半导体设备(上海)有限公司 | 中国(上海) | ||||
| 博锐科技(深圳)有限公司。 | 中国(深圳) | ||||
| ASML France S.a.r.l。 | 法国(克罗莱斯) | ||||
| ASML Verwaltungs GmbH i.l。 | 德国(柏林) | ||||
| ASML Berlin GmbH(原Berliner Glas GmbH) | 德国(柏林) | ||||
| ASML德国有限公司 | 德国(德累斯顿) | ||||
| ASML参与德国有限公司 | 德国(德累斯顿) | ||||
| ASML香港有限公司(会员自愿清盘中) | 香港特区 | ||||
| ASML爱尔兰有限公司。 | 爱尔兰(都柏林) | ||||
| ASML以色列(2001)有限公司。 | 以色列(Kiryat Gat) | ||||
| ASML意大利有限责任公司。 | 意大利(阿韦扎诺) | ||||
| ASML日本株式会社。 | 日本(东京) | ||||
| Cymer Japan,Inc。 | 日本(东京) | ||||
| ASML设备马来西亚私人有限公司。有限公司。 | 马来西亚(Georgetown,Pulau Pinang) | ||||
| Cymer B.V。 | 荷兰(Veldhoven) | ||||
| ASML Netherlands B.V。 | 荷兰(Veldhoven) | ||||
| ASML Trading B.V。 | 荷兰(Veldhoven) | ||||
| Hermes Microvision Incorporated B.V。 | 荷兰(Veldhoven) | ||||
| ASML新加坡私人有限公司。 | 新加坡 | ||||
| Cymer新加坡私人有限公司。 | 新加坡 | ||||
| ASML韩国有限公司。 | 韩国(京畿道) | ||||
| ASML维修中心韩国有限公司。 | 韩国(京畿道) | ||||
| Cymer韩国公司。 | 韩国(京畿道) | ||||
| ASML台湾有限公司。 | 台湾(新竹市) | ||||
| ASML科技台湾有限公司。 | 台湾(新竹市) | ||||
| Cymer东南亚有限公司。 | 台湾(新竹市) | ||||
| ASML(英国)有限公司。 | 英国(爱丁堡(苏格兰)) | ||||
| Cymer,LLC | US(内华达州卡森城) | ||||
| EO技术解决方案有限责任公司 | 美国(温哥华、华盛顿) | ||||
| ASML US,LLC | 美国(特拉华州威尔明顿) | ||||
| ASML US,LP | 美国(特拉华州威尔明顿) | ||||
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ASML Holding N.V.的联营公司2:
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| Carl Zeiss SMT Holding GmbH & Co. KG(24.9%) | 德国(Oberkochen) | ||||
| HighTechXL Group B.V.(31.97%) | 荷兰(埃因霍温) | ||||