附件 5.1

Davis Polk & Wardwell有限责任公司 米德尔菲尔德路900号 红木城，加利福尼亚州 94025 davispolk.com

2026年2月17日

Accuray Incorporated
德明道1240号

威斯康星州麦迪逊53717

女士们先生们：

特拉华州公司Accuray Incorporated（“公司”）正在向美国证券交易委员会提交一份表格S-3的注册声明（“注册声明”），用于根据经修订的1933年《证券法》（“证券法”）进行注册，其普通股7,000，516股（“认股权证股份”），每股面值0.00 1美元（“普通股”），可在行使某些认股权证以收购其普通股股份（“认股权证”）时发行。

作为贵公司的律师，我们已审查了我们认为为提出本意见所需或可取的此类文件、公司记录、公职人员证书和其他文书的原件或副本。

在提出本文所表达的意见时，我们在未经独立查询或调查的情况下，假定（i）作为正本提交给我们的所有文件是真实和完整的，（ii）作为副本提交给我们的所有文件符合真实、完整的正本，（iii）作为注册声明的证据提交但未被执行的所有文件将符合其形式，（iv）我们审查的所有文件上的所有签名都是真实的，（v）执行文件的所有自然人都有并且具有这样做的法律行为能力，（vi）我们所审阅的公司公职人员及高级人员的证明书中的所有陈述，过去和现在都是准确的，以及（vii）公司就我们所审阅的文件中的事实事项作出的所有陈述，过去和现在都是准确的。

基于上述情况，并在符合下述额外假设及资格的情况下，谨此告知，我们认为，认股权证股份在公司收到有关行使价的付款后，按照认股权证的条款发行和交付时，将有效发行、全额支付且不可评税。

关于上述意见，我们假设，在任何普通股股份交付时或之前，（i）公司董事会应已妥为确立该等证券的条款，并妥为授权发行和出售该等普通股股份，且该授权不得被修改或撤销；（ii）公司现在是，并将继续是，作为根据特拉华州法律具有良好信誉的公司有效存在；（iii）登记声明应已被宣布生效，且该效力不应被终止或撤销；（iv）认股权证均为其每一方的有效、具有约束力和可强制执行的协议；（v）不应发生任何影响该等认股权证的有效性或可执行性的法律变更。我们还假设（i）其条款确立于本协议日期之后的任何证券的条款以及公司发行和交付的任何此类普通股股份（a）不需要任何政府机构、机构或官员采取行动或就其采取行动或向其备案，并且（b）不违反或构成适用法律或公共政策或法规的任何条款或任何判决、禁令的违约，命令或法令或对公司有约束力的任何协议或其他文书及（ii）认股权证将受纽约州法律管辖。

Accuray Incorporated

我们是纽约州和加利福尼亚州律师协会的成员，上述意见仅限于纽约州法律和特拉华州一般公司法，但我们不对（i）仅因此类法律而适用于公司或认股权证的任何法律、规则或条例发表意见，规则或条例是由于任何认股权证的任何一方或其任何关联公司的特定资产或业务或（ii）与国家安全有关的任何法律、规则或条例而适用于该任何认股权证或其任何关联公司的监管制度的一部分。

我们在此同意将本意见作为上述注册声明的证据提交，并进一步同意在招股说明书中的“法律事项”标题下提及我们的名称，这是注册声明的一部分。在给予这一同意时，我们不承认我们属于《证券法》第7条要求同意的人员类别。

非常真正属于你，

/s/Davis Polk & Wardwell LLP