展览32.1

首席执行官及首席财务官的认证

根据18 U.S.C.第1350条，

根据

2002年《萨尔班斯-奥克斯利法案》第906条

关于MKS Inc.（“公司”）于本协议日期向美国证券交易委员会提交的截至2025年12月31日止的10-K表格年度报告（“报告”），以下签名人、公司总裁兼首席执行官John T.C. Lee以及公司执行副总裁兼首席财务官 Ramakumar Mayampurath特此证明，根据18 U.S.C.第1350条，根据2002年《萨班斯-奥克斯利法案》第906条通过，基于其所知：

	(1)	报告完全符合《1934年证券交易法》第13（a）或15（d）节的要求；和

	(2)	报告所载的资料在所有重大方面公平地反映了公司的财务状况和经营成果。

日期：2026年2月24日	/s/John T.C. Lee
	John T.C. Lee 总裁兼首席执行官 （首席执行官）

日期：2026年2月24日	/s/Ramakumar Mayampurath
	Ramakumar Mayampurath 执行副总裁兼首席财务官 （首席财务官）