附件 10.1

贷款和担保协议第五次修订

贷款和担保协议的第五次修订，日期为2025年9月30日（本“修订”），是由VEECO INSTRUMENTS INC.（一家特拉华州公司（“借款人”）、本协议的担保方、HSBC BANK USA、NATIONAL Association作为下文所述放款人的行政代理人和抵押代理人（以此类身份，“代理人”）以及贷款协议（定义见下文）的不时当事方的金融机构（统称“放款人”）。

鉴于借款人、担保人、贷款人及代理人先前已订立日期为2021年12月16日、经日期为2023年5月19日的贷款及担保协议若干第一修正案修订、经日期为2024年3月22日的贷款及担保协议若干第二修正案进一步修订、经日期为2024年8月2日的贷款及担保协议若干第三修正案进一步修订及经日期为6月16日的贷款及担保协议若干第四修正案进一步修订的若干贷款及担保协议，2025年（经修订、重述、修订及在本协议日期前不时重述、补充或以其他方式修改的“现有贷款协议”，以及经本修订修订及同样可能不时进一步修订、重述、修订及重述、补充或以其他方式修改的“贷款协议”），据此，贷款人已向借款人提供某些贷款和财务便利；

然而，贷款方已要求代理及规定贷款人修订贷款协议的若干条款及条文，而代理及规定贷款人愿意根据现有贷款协议第15.2节根据本协议所载的条款及条件修订贷款协议的该等条款及条文；

鉴于根据现有贷款协议第15.2条，本修订所载现有贷款协议的修订的有效性须取得代理人及规定贷款人的同意，而代理人及规定贷款人已同意同意现有贷款协议的该等修订；及

因此，考虑到本协议所载的前提和协议、条款和契诺，本协议各方特此约定如下：

第1节。定义的术语；参考文献。除非本文另有具体定义，本文中使用的每一个在贷款协议中定义的术语都具有在贷款协议中赋予该术语的含义。贷款协议第1.1、1.3和1.4节中规定的施工规则和其他解释性条款应适用于本修正案，包括在本协议的序言和陈述中定义的条款。

第2节。现有贷款协议的修订。在充分满足本协议第3节规定的先决条件的情况下，自第五次修订生效日期（定义如下）起生效：

（a）特此将贷款协议第1.2节中“控制权变更”定义的（b）条全部替换为，“[保留]”。

（b）现将现有贷款协议第7.1（a）条全文改为：

（a）与任何其他人或与任何其他人完成任何合并、合并或其他重组，或清算、清盘或自行解散（或遭受任何清算或解散）或允许任何其他人与其合并或与其合并；但（i）借款人的受限制子公司可合并为借款人（只要借款人是此类合并的存续实体），（ii）贷款方（借款人除外）可相互合并，以及（iii）外国子公司可相互合并。尽管有上述规定，在任何情况下，未经所有贷款人事先书面同意，任何继承实体不得就任何此类合并、合并或重组转让或承担这些义务，任何此类交易不得解除原始借款人或任何其他贷款方在贷款文件下的义务，除非所有贷款人书面明确同意。

第3节。有效性。本修订须待以下每项先决条件均获满足（且在形式及实质上均合理地令人满意）或获代理人及规定贷款人放弃（该日期，即“第五次修订生效日期”）后方可生效：

（a）修正案。本修正案应已由构成规定贷款人的贷款方、代理人和贷款方正式签署并交付，代理人应已收到一份完整签署的副本；和

（b）费用和开支。代理人应已收到在第五修正案生效日期或之前应支付给代理人的所有费用，以及代理人在第五修正案生效日期或之前发生的所有其他合理且有文件证明的自付费用和开支。

第4节。修正的效力；重申和追认义务；等。除本协议或贷款协议中明文规定的情况外，本修订不得通过暗示或其他方式限制、损害、构成放弃或以其他方式影响贷款人或代理人在贷款协议或任何贷款文件下的权利和补救措施，且不得更改、修改、修订或以任何方式影响贷款协议或贷款协议或任何贷款文件的任何其他条款、条件、义务、契诺或协议所载的任何条款、条件、义务、契诺或协议，所有这些都得到了所有方面的批准和确认，并将继续充分生效。每一贷款方承认并同意（a）贷款协议（经特此修订）及其作为一方的相互贷款文件在此得到确认和批准，并应根据其各自的条款和（b）贷款协议保持完全有效和效力，其他贷款文件这样做，并且所有抵押品都这样做，并且在每种情况下应继续确保按照贷款协议和其他贷款文件中规定的条款和条件支付所有债务，并特此批准其根据贷款协议和其他贷款文件授予的担保权益。自第五次修订生效日期起，贷款协议中每项提述“本协议”、“本协议”、“本协议”、“本协议”、“本协议”、“本协议”和“本协议”以及彼此类似的提述，以及任何贷款文件中每项提述“贷款协议”、“其”、“其下”、“其中”或“因此”或任何其他与贷款协议类似的提述，均指经本协议修订的贷款协议。

第5节。申述及保证。自第五修正案生效之日起，各贷款方在此向代理人和贷款人声明并保证：

（a）该贷款方拥有订立本修订及履行其根据本协议及根据贷款协议承担的所有义务的全部权力、权限和合法权利，而本修订（i）的执行、交付和履行均在该贷款方的公司或有限责任公司权力范围内（如适用）已获正式授权，不违反适用法律或该贷款方的章程、经营协议、公司注册证书、成立证书（如适用）的条款，或与该贷款方的组织或组建或与该贷款方的业务或该贷款方为其一方或该贷款方受其约束的任何协议或承诺的进行有关的其他适用文件，以及（ii）不会与该贷款方的任何条款相冲突或导致任何违反，或构成违约，或导致产生任何留置权，但根据任何协议、章程文件、附则的规定对该贷款方的任何资产的许可担保权除外，或该贷款方或其财产为一方当事人或可能受其约束的其他文书；

（b）本修正案和贷款协议构成该贷款方的法律、有效和具有约束力的义务，可根据其各自的条款强制执行，但此种可执行性可能受到破产、无力偿债、重组、暂停执行或与债权人权利有关或一般限制债权人权利的类似法律的限制，或受到与可执行性有关的衡平法原则的限制；

（c）在本修订生效后，该贷款方在贷款协议中及在其作为一方当事人的相互间贷款文件中的陈述及保证在所有重大方面均属真实及正确（但该等重要性限定词不适用于已在其文本中对“重要性”或“重大不利影响”作出限定或修改的任何陈述或保证，哪些陈述和保证在所有方面均应是真实和正确的，但须符合该限定条件）在日期和截至如在该日期及截至该日期作出，除非该等陈述或保证受其条款限制于特定日期（在此情况下，该等陈述或保证在所有重大方面均应在该较早日期及截至该较早日期为真实及正确（但该等重要性限定词不适用于任何已在其文本中对“重要性”或“重大不利影响”作出限定或修改的陈述或保证，而该等陈述和保证在受该限定的所有方面均应真实及正确）；和

（d）在本修订生效后，没有发生任何违约或违约事件，并且在本修订日期仍在继续，或将由本修订所设想的交易导致。

第6节。管辖法律。本修正案应受纽约州法律管辖并按其解释。

第7节。对口单位；电传签名。本修正案可以在对应方执行（也可以由不同对应方执行），每一项应构成原件，但所有这些合并在一起应构成单一合同。本修正案，以及与应付给代理的费用有关的任何单独的信函协议，构成本协议各方之间与本协议标的相关的全部合同，并取代之前与本协议标的相关的任何和所有口头或书面协议和谅解。通过传真或电子邮件传输（例如“pdf”或“tIF”）交付本修正案签字页的已执行对应方，应具有交付本修正案或该证书的手动执行对应方的效力。

第8节。杂项。本次修订构成贷款文件。

[签名页如下]

作为证明，本协议各方已安排各自的授权官员在上述日期和年份的第一天正式签署本修正案。

【贷款和担保协议第五修正案签署页】

【贷款和担保协议第五修正案签署页】

【贷款和担保协议第五修正案签署页】

【贷款和担保协议第五修正案签署页】