授权书Know All by These presents，the belevant significants hereby forms and appoints Joseph Colella and Jordan Kobb，each of them single action，with full power of replacement and revocation，the belevant significant-in fact and authorized representative to：（1）prepare，execute in the belevant significants and on belevant significants to：（1）in the belevant significants and on the belevant significants，and significants，and submit to the U.S. Securities and Exch包括通过EDGAR Next；（2）担任以下签署人的EDGAR账户的账户管理员，包括任命、解除和更换账户管理员、用户、技术管理员和受委托实体；维护和更新以下签署人的EDGAR账户信息；生成、重置和使用以下签署人的CIK确认码；进行年度确认；以及就以下签署人的EDGAR账户采取S-T条例或EDGAR申报人手册所设想的任何其他行动；（3）以以下签署人作为ENTEGRIS，INC.（本公司）高级职员的身份代表以下签署人执行表格3、4，根据1934年《证券交易法》第16（a）节及其相关规则、1933年《证券法》规定的表格144以及以下签署人可能被要求或允许提交的与以下签署人对公司证券的所有权、收购或处置有关的任何其他表格或报告5；（4）为以下签署人和代表以下签署人做并执行任何和所有可能需要或可取的行为，以填写和执行任何此类表格ID、表格3、4或5、表格144或其他表格或报告，并及时向美国证券交易委员会和任何证券交易所或类似机构提交此类表格或报告；（5）就上述事项采取任何其他任何类型的行动，而该等事实上的律师认为，这些行动可能有利于、符合以下签署人的最佳利益或法律要求，据了解，该事实上的代理人根据本授权书代表下列签署人签立的文件应采用该事实上的代理人酌情批准的格式，并应包含该事实上的代理人可能批准的条款和条件。下列签署人特此授予每一名该等事实上的代理人充分的权力和授权，以在行使本授权书所授予的任何权利和权力时，按照下列签署人在亲自出席时可能或可能做的所有意图和目的，做和执行任何必要的、必要的或适当的任何行为和事情，特此批准和确认该等事实上的代理人或该等事实上的替代人或替代人应凭借本授权书和本授权书所授予的权利和权力合法地做或安排做的所有事情。以下签署人承认，上述事实上的律师是应以下签署人的请求以这种身份服务的，并且不承担，公司也不承担以下签署人的任何责任，以遵守1934年《证券交易法》第16条、1933年《证券法》第144条或任何其他适用的证券法要求。本授权书应保持完全有效，直至以下签署人不再被要求就以下签署人持有和交易公司发行的证券提交表格3、4或5或表格144，除非以下签署人以交付给上述事实上的律师的签字书面提前撤销。下列签署人已促使本授权书自2026年8月3日起签立，以作为证明。_____________________罗伯特·布鲁格沃思罗伯特·布鲁格沃思