附件 5.1
Matthew B. Hemington
电话：+ 16508435062
hemingtonMB@cooley.com
2026年2月11日
SiTime公司
5451 Patrick Henry驱动器
加利福尼亚州圣克拉拉95054
女士们先生们：
We have acted as a counsel for SiTime Corporation，a Delaware corporation（the "公司“），就公司在表格S-8上提交注册声明（该”注册声明”）与美国证券交易委员会（The“佣金”），包括发行最多788,965股公司普通股，每股面值0.0001美元（“股份”）根据公司《2019年股票激励计划》（《激励对象激励对象激励计划》、《激励对象激励对象激励对象激励对象激励对象激励计划》、《激励对象激励对象激励对象激励对象激励对象激励对象激励对象激励对象激励对象激励对象激励对象激励对象激励对象激励对象激励对象计划”).
就本意见而言，我们已研究及依赖（a）注册说明书及相关的招股章程，（b）公司的成立证明书及附例，每一项均为现行有效，
（c）计划及（d）我们判断为使我们能够提出以下意见所必需或适当的其他文件、纪录、意见、证明书、备忘录及文书。我们承担了所有签字的真实性、作为原件提交给我们的所有文件的真实性、作为副本提交给我们的所有文件与原件的一致性、公职人员证书的准确性、完整性和真实性；以及公司以外的所有人对所有文件的适当授权、执行和交付。至于某些事实事项，我们依赖公司一名高级人员的证明，并没有独立核实这些事项。
我们仅就特拉华州的一般公司法发表意见。在任何其他法律适用于本协议标的的范围内，我们不发表任何意见，也不就遵守任何联邦或州证券法、规则或法规发表任何意见和提供任何保证。
基于上述情况，并以此为依据，我们认为，当根据计划、登记声明及相关招股章程出售及发行股份时，该等股份将获有效发行、全额支付及不可评估（根据递延付款安排发行的股份除外，当该等递延付款全额支付时，该等股份将获全额支付及不可评估）。
本意见仅限于本函明示的事项，除明示的事项外，不得默示或推断任何意见。本意见仅涉及截至本协议签署之日有效或存在的法律和事实，我们没有义务或责任更新或补充本意见，以反映以后可能引起我们注意的任何事实或情况或以后可能发生的任何法律变化。
我们同意将本意见作为证物提交注册声明。在给予这种同意时，我们因此不承认我们属于根据经修订的1933年《证券法》第7条或委员会的规则和条例要求获得同意的人员类别。
真诚的，
Cooley LLP
| 签名： | /s/Matthew B. Hemington | ||||
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Matthew B. Hemington
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