附件 3.1
经第二次修订及重述的证明书
的成立
Entegris, Inc.
（原于2005年3月17日注册成立为Eagle DE，Inc.）
2026年5月7日通过
第一条
这家公司的名称是Entegris, Inc.（以下简称“公司”）。
第二条
这家公司在特拉华州的注册办事处位于251 Little Falls Drive，位于特拉华州纽卡斯尔郡威尔明顿市，19808。其在该地址的注册代理人名称为Corporation Service Company。
第三条
本公司的宗旨是从事根据特拉华州一般公司法可组织公司的任何合法行为或活动。
第四条
A.公司有权发行的各类股票的股份总数为405,000，000股，包括（i）400,000，000股普通股，每股面值0.01美元（“普通股”），以及（ii）5,000，000股优先股，每股面值0.01美元（“优先股”）。
B.授权董事会在不受法律规定的任何限制的情况下，就优先股的股份发行作出规定，并根据特拉华州的适用法律提交证书（此种证书以下称为“优先股指定”），不时确定每个此类系列的股份数量，并确定每个此类系列的股份的指定、权力、优先权和权利及其任何资格、限制或限制。优先股的授权股份数量可以增加或减少（但不得低于当时已发行的股份数量），由普通股过半数持有人投赞成票，而无需优先股或其任何系列的持有人投票，除非根据任何优先股指定的条款需要任何此类持有人的投票。
第五条
除非及除非本公司的附例有此规定，否则董事的选举无须以书面投票方式进行。
第六条
为促进而非限制法规所赋予的权力，董事会获明确授权通过、修订或废除本公司的附例，但有权就该附例投票的股东有权更改和废除董事会通过或修订的附例；但条件是，尽管法律可能规定较少的百分比，该附例不得更改，经公司股东修正或废止，但在董事选举中有权普遍投票的公司当时已发行股本不少于多数的持有人投赞成票的除外。尽管有任何其他法律条文、本公司注册证书或附例（每一项均经修订），且尽管法律、本公司注册证书或公司附例可能指明较少百分比，但在董事选举中有权一般投票的公司当时已发行股本的多数股份的赞成票须予修订或废除，或采纳与本条第六条的目的或意图不一致的任何条文。
第七条
除《特拉华州一般公司法》禁止消除或限制董事因违反受托责任而承担的责任外，公司的任何董事均不得因任何违反作为董事的受托责任而对公司或其股东承担金钱损失的个人责任，尽管有任何法律条款规定了这种责任。本条文的任何修订或废除，均不适用于或对公司任何董事就该董事在该修订前发生的任何作为或不作为所承担的法律责任或指称的法律责任产生任何影响。
第八条
公司保留以法规和本公司注册证书现在或以后规定的方式修订、更改、更改或废除本公司注册证书所载的任何条款的权利，在此授予股东的所有权利均受此保留的约束。
第九条
为管理业务、办理公司事务插入本条。
1.编号；董事的选举及资格.构成全体董事会的董事人数，由董事会决议确定，但在任何情况下不得少于三名。董事由有表决权的股东在年度股东大会上选举产生。董事不必是公司的股东。
2.任期.除本条第九条第三款另有规定外，每名董事的任期应在该董事当选后的第一次年度会议之日结束；但每名董事的任期应以其继任者的选举和资格以及其较早去世、辞职或被免职为准。
3.移除.任何董事或整个董事会均可被有权在董事选举中进行一般投票的公司当时已发行股本的多数股东罢免，无论是否有因由，但法律要求进行不同投票的情况除外。
4.空缺.董事会的任何空缺，无论发生何种情况，包括因董事会扩大而出现的空缺，均应仅由当时在任的董事过半数（尽管低于法定人数）投票填补，或由一名唯一的留任董事填补。当选填补空缺的董事，应在其前任未满任期内当选，因董事人数增加而当选填补职务的董事，任期至下一次董事选举为止，但以其继任者的当选和资格以及其较早去世、辞职或被免职为准。
5.股东提名及介绍业务等.股东提名选举董事及股东在股东周年大会或特别股东大会前提出的其他事项的事先通知，应按本公司章程规定的方式发出。
第十条
1.股息.董事会有权不时从公司任何资产中拨出一项或多于一项储备金作为营运资金或作任何其他目的或目的，并不时废除或增加上述董事会认为符合公司利益的任何该等储备金或储备金；而上述董事会亦有权酌情决定，但本条另有规定的除外，公司可用于分红的资产的哪一部分，超过该项准备金或准备金的，应当宣告分红，并支付给公司股东。
2.会议、簿册和记录的地点.除章程另有规定外，公司股东和董事会可在特拉华州以外举行会议并设有一个或多个办事处，并在符合该州法律规定的情况下，可在董事会或本公司章程不时指定的地点备存公司在该州以外的簿册。
第一条XI
公司股东不得以书面同意代替会议采取任何行动。尽管有任何其他法律条文、本法团证明书或每项经修订的附例，以及尽管法律、本法团证明书或公司附例可指明较少百分比，在董事选举中具有普遍投票权的公司当时已发行在外股本过半数的赞成票，应当予以修改或者废止，或者采取与本条的宗旨或者意图不一致的任何规定。XI。
第十二条
股东特别会议可在任何时候仅由董事会主席、首席执行官（或如果没有首席执行官，则由总裁）召集，或由公司董事会根据当时在任董事总数过半数的赞成票通过的决议召集。在任何股东特别会议上所处理的任何事务，应限于与会议通知中所述的目的或目的有关的事项。尽管有任何其他法律条文、本公司注册证书或附例（每项均经修订），且尽管法律可能指明较少百分比，本公司注册证书或附例--公司的法律、公司当时有权在董事选举中普遍投票的已发行股本的多数股份的赞成票，须予修订或废除，或采纳与本条第十二条的目的或意图不一致的任何条文。
第十三条
公司明确选择受《特拉华州一般公司法》第203条管辖。
作为证明，本第二份经修订及重述的法团证书，重申、整合及进一步修订本公司经修订的法团证书的条文，并已根据《特拉华州一般公司法》第242及245条获正式采纳，已由其正式授权人员签立本7第2026年5月1日。
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Entegris, Inc.
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签名：
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/s/David Reeder
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姓名：
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David Reeder
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职位：
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总裁兼首席执行官
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