附件 24.1

律师权

用于执行第16（a）节下的报告

关于证券

Axcelis Technologies, Inc.

以下签署人兹构成并指定Covington & Burling律师事务所的Russell J. Low、James G. Coogan、Eileen J. Evans、Lynnette C. Fallon、Megan Gates，ESQ.各自单独行事，为以下签署人的真实、合法的事实上的代理人，自本协议之日起至本授权书被撤销之日止，至：

(1)

根据1934年《证券交易法》第16（a）节及其项下规则，为并代表以下签署人签署有关亚舍立科技，Inc.证券的表格3、4和5，但有一项理解，由该事实上的代理人代表以下签署人根据本授权书签署的文件应采用该事实上的代理人酌情批准的格式并应包含该事实上的代理人可能批准的条款和条件；和

(2)

为并代表以下签署人采取和执行为完成任何此类表格3、4或5的执行以及及时向美国证券交易委员会和任何其他机构提交此类表格而可能需要或可取的任何和所有行为。

下列签署人特此授予每一名该等事实上的代理人充分的权力和授权，以作出和执行在行使本协议所授予的任何权利和权力时所必需、必要和适当的一切行为和事情，如同以下签署人在亲自出席时可能或可能作出的所有意图和目的一样，并具有完全的替代或撤销权力，特此批准和确认该等事实上的代理人或其替代人或替代人的所有行为和事情，凭藉本授权书及本授权书所授予的权利及权力而合法地作出或促使作出。以下签署人承认，上述事实上的律师应以下签署人的请求以这种身份任职，并不承担以下签署人遵守1934年《证券交易法》第16条的任何责任。

下列签署人作为证人，已促使本授权书于2026年3月10日这一天执行。

麻萨诸塞州联邦

埃塞克斯郡

就在这一天，2026年3月10日，在我面前，下列署名公证人出现了我本人所认识的David Ryzhik，是在我面前在前一份文件上署名的人。

/s/特蕾莎·科菲_________________3/10/26_______

特蕾莎·科菲，公证人

日期