附件 5.1

 

+ 16175266000（t）

+ 16175265000（f）

wilmerhale.com

2026年5月11日

MKS公司。

2技术驱动

安多弗，MA 01810

RE：经修正重述的2022年股票激励计划

女士们先生们：

我们已协助根据经修订的1933年证券法（“证券法”）编制表格S-8上的登记声明（“登记声明”），以提交给证券交易委员会（“委员会”），涉及根据经修订和重述的公司2022年股票激励计划（“计划”）发行的马萨诸塞州公司MKS Inc.（“公司”）的合计6,200，000股普通股，每股无面值（“股份”）。

我们已审阅公司组织章程及附例（各经修订及重列至今），以及公司董事会及股东会议的所有有关纪录、登记声明、计划及我们认为对本意见而言重要的其他与公司有关的文件的正本或经证明令我们满意的副本。

在我们对上述文件的审查中，我们假定所有签名的真实性、作为原件提交给我们的所有文件的真实性、作为认证、静态或其他副本提交给我们的所有文件与原始文件的一致性、任何此类文件的原件的真实性以及所有签署人对此类文件的法律权限。

我们假设，在根据该计划发售和出售股份之前，将采取适当行动，根据所有适用的国家证券或“蓝天”法律注册并符合出售股份的资格。

除马萨诸塞州联邦的州法律和美利坚合众国的联邦法律外，我们在此不对任何州或司法管辖区的法律发表任何意见。据了解，本意见仅适用于登记声明生效期间的股份发售及出售。

请注意，我们仅就此处明确阐述的事项提出意见，不应就任何其他事项推断任何意见。

 

2026年5月11日

第2页

 

基于上述情况，我们认为该等股份已获正式授权发行，而当根据计划的条款及条件发行及支付股份时，该等股份将获有效发行、缴足及不可评估。

兹同意根据《证券法》S-K条例第601（b）（5）项的要求，就注册声明向委员会提交本意见。在给予此类同意时，我们在此不承认我们属于《证券法》第7条或委员会规则和条例要求获得同意的人员类别。

非常真正属于你，

 

/s/Wilmer Cutler Pickering Hale and Dorr LLP
Wilmer Cutler Pickering Hale和DORR LLP