展览32.1
首席执行官及首席财务官的认证
根据18 U.S.C.第1350条，
根据
2002年《萨尔班斯-奥克斯利法案》第906条
关于MKS Inc.（“公司”）于本文件发布之日向美国证券交易委员会提交的截至2026年3月31日止期间的10-Q表格季度报告（“报告”），以下签名人、公司总裁兼首席执行官John T.C. Lee以及公司执行副总裁兼首席财务官 Ramakumar Mayampurath特此证明，根据18 U.S.C.第1350条，根据2002年《萨班斯-奥克斯利法案》第906条通过，根据其所知：
(1)
报告完全符合《1934年证券交易法》第13（a）或15（d）节的要求；和
(2)
报告所载信息在所有重大方面公允地反映了公司的财务状况和经营成果。
|
|
日期：2026年5月7日 |
/s/John T.C. Lee |
|
John T.C. Lee 总裁兼首席执行官 （首席执行官） |
日期：2026年5月7日 |
/s/Ramakumar Mayampurath |
|
Ramakumar Mayampurath 执行副总裁兼首席财务官 （首席财务官） |