附件 21.1
Entegris, Inc.的子公司
| 子公司名称 | 管辖权 | |||||||
| ATMI国际贸易有限公司。 | 中国 | |||||||
| CMC Materials B.V。 | 荷兰 | |||||||
| CMC Materials全球公司。 | 特拉华州 | |||||||
| CMC Materials LLC | 特拉华州 | |||||||
| CMC Materials上海有限公司。 | 中国 | |||||||
| CMC Materials台湾有限公司。 | 台湾 | |||||||
| 英特格加拿大有限公司 | 加拿大 | |||||||
| Digital Specialty Chemicals UK Limited | 英国 | |||||||
| 英特格亚洲私人有限公司。 | 新加坡 | |||||||
| 英特格 Ecosys有限责任公司 | 特拉华州 | |||||||
| 英特格有限公司 | 德国 | |||||||
| 英特格 GP，Inc。 | 特拉华州 | |||||||
| 英特格印度私人有限公司。 | 印度 | |||||||
| 英特格 International Holdings II B.V。 | 荷兰 | |||||||
| 英特格国际控股VIII LLC | 荷兰 | |||||||
| 英特格国际控股有限责任公司 | 特拉华州 | |||||||
| 英特格爱尔兰无限公司 | 爱尔兰 | |||||||
| 英特格以色列有限公司。 | 以色列 | |||||||
| 英特格日本株式会社。 | 日本 | |||||||
| 英特格韩国株式会社。 | 韩国 | |||||||
| 英特格马来西亚私人有限公司。有限公司。 | 马来西亚 | |||||||
| 英特格（上海）微电子贸易有限公司。 | 中国 | |||||||
| 英特格太平洋有限公司。 | 特拉华州 | |||||||
| 英特格 Pacific Pte.，Ltd | 新加坡 | |||||||
| 英特格 Pacific II Pte.，Ltd | 新加坡 | |||||||
| 英特格专业解决方案有限责任公司 | 特拉华州 | |||||||
| 英特格 SAS | 法国 | |||||||
| 英特格新加坡私人有限公司。 | 新加坡 | |||||||
| 英特格特种材料有限责任公司 | 特拉华州 | |||||||
| 英特格 Taiwan Holdings，LLC | 特拉华州 | |||||||
| 英特格台湾技术有限公司。 | 台湾 | |||||||
| 汉谷英特格有限公司 | 韩国 | |||||||
| 杭州阿诺过滤材料有限公司 | 中国 | |||||||
| 国际测试解决方案有限责任公司 | 特拉华州 | |||||||
| KMG-Bernuth，Inc。 | 特拉华州 | |||||||
| KMG-Flowchem，Inc。 | 特拉华州 | |||||||
| NexPlanar公司 | 特拉华州 | |||||||
| 日本英特格 G.K。 | 日本 | |||||||
| Poco Graphite，Inc。 | 特拉华州 | |||||||