2025年11月21日

Onto Innovation Inc.

中平路16号

马萨诸塞州威尔明顿01887

 

致上述收件人：

 

我们曾就公司根据经修订的1933年《证券法》（“法案”）向美国证券交易委员会（“委员会”）提交的S-3表格登记声明（“登记声明”）担任特拉华州公司（“公司”）的法律顾问，该登记声明涉及登记声明中指定的出售股东不时出售公司合计最多641,771股普通股（每股面值0.00 1美元）（“股份”）。

我们已审查了注册声明、公司经修订及重述的公司注册证书及普通股证书表格，这些已作为注册声明的证据提交证监会。此外，我们已审查并已就事实上的事项，依赖该等记录、协议、文件及其他文书的正本或副本或经核证或符合规定的副本，以及公职人员及公司高级人员和代表的此类证书或类似文件，并已就下文所载意见作出我们认为相关和必要的其他调查。

在提出以下意见时，我们假定了所有签字的真实性，包括电子签字、自然人的法律行为能力、作为正本提交给我们的所有文件的真实性、作为副本或经认证或符合规定的副本提交给我们的所有文件与正本文件的符合性以及后一种文件的正本的真实性。

基于上述情况，并受限于此处所述的资格、假设和限制，我们认为股份已有效发行，并已全额支付且不可评估。

除《特拉华州一般公司法》之外，我们在此不对任何法律发表任何意见。

兹同意将本意见函作为注册声明的附件 5.1归档，并同意在注册声明中包含的招股说明书中“法律事项”标题下使用我们的名称。

非常真正属于你，

 

/s/Simpson Thacher & Bartlett LLP

Simpson THACHER & BARTLETT LLP