独立注册会计师事务所的同意

 

我们同意在Onto Innovation，Inc.的注册声明（表格S-3）和相关招股说明书中“专家”标题下提及我们所，以注册641,771股普通股，并同意在其中以引用方式纳入我们日期为2025年2月25日的报告，内容涉及Onto Innovation，Inc.的合并财务报表，以及纳入其向美国证券交易委员会备案的截至2024年12月28日止年度的年度报告（表格10-K）中的对Onto Innovation，Inc.财务报告的内部控制有效性。

 

/s/安永会计师事务所
新泽西州伊瑟林
2025年11月21日