附件 32.1

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根据

18《美国法典》第1350条，

根据

2002年《萨尔班斯-奥克斯利法案》第906条

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关于Veeco Instruments Inc.（“公司”）于本文件发布之日向美国证券交易委员会提交的截至2025年12月31日止年度的10-K表格年度报告（“报告”），本人，公司首席执行官William J. Miller博士，根据18 U.S.C.第1350条，根据2002年《萨班斯-奥克斯利法案》第906条通过，证明：

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(1)	报告完全符合《1934年证券交易法》第13（a）或15（d）节的要求；和

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(2)	报告所载的资料在所有重大方面公平地反映了公司的财务状况和经营成果。

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已向维易科精密仪器公司提供了第906节要求的这份书面声明的签名正本，并将由维易科精密仪器公司保留，并应要求提供给证券交易委员会或其工作人员。