附件 5.1

2026年2月17日

Cohu, Inc.

17087 Via Del Campo

圣迭戈，加利福尼亚州 92127-1711

Re：表格S-3ASR上的注册声明

女士们先生们：

根据经修订的1933年《证券法》（“证券法”），我们已就在本协议签署之日向美国证券交易委员会（“委员会”）提交的S-3ASR表格注册声明（“注册声明”）担任特拉华州公司（“公司”）的法律顾问，该注册声明（“注册声明”）涉及提交S-3ASR表格（“委员会”）。注册声明包括一份招股章程（“招股章程”），其中规定未来可能通过一份或多份对招股章程的补充（每份，“招股章程补充”）予以补充。招股说明书（可能由一份或多份招股说明书补充文件）涉及根据《证券法》第415条规则不时提议发行和出售数量不定的以下证券（“证券”）：（i）公司普通股股份，每股面值1.00美元（“普通股”），（ii）公司优先股股份，每股面值1.00美元（“优先股”），（iii）公司优先或次级债务证券（“债务证券”），（iv）购买普通股股份的认股权证，一个或多个系列的优先股和/或债务证券的股份（“认股权证”），以及（v）由普通股、优先股、债务证券、认股权证或上述任何组合组成的单位（“单位”）。

就本意见函而言，我们已审阅（i）经修订及重列的公司注册成立证明书（“证明书”）、（ii）经修订及重列的公司章程（“章程”）、（iii）公司与拟在其中指名的受托人之间的高级契约（“高级契约”）表格的注册声明及原件，或经核证或以其他方式识别并令我们满意的副本，作为注册声明的附件 4.5提交，（iv）公司与拟在其中指名的受托人之间订立的附属契约（“附属契约”）的表格，作为注册声明的附件 4.6提交，（v）公司董事会有关注册声明的若干决议，及（vi）我们认为就本协议所载意见而言适当的其他文件、记录及其他文书。

我们承担了所有签字的真实性、所有自然人的法律行为能力、作为原件提交给我们的文件的真实性、作为认证、传真或影印件提交给我们的所有文件的原件与作为副本提交给我们的所有文件的原件的一致性以及作为副本提交给我们的所有文件的原件的真实性。关于与我们下述意见有关的事实事项，我们已依赖公司高级人员的证书、公司在我们审查的文件中作出的陈述以及公司高级人员的陈述。我们还获得并依赖公职人员提供的我们认为为我们下文所述意见的目的所必需的证明和保证。

出于以下意见的目的，我们还在未经独立调查或核实的情况下假设：

A.证券的发行、销售、数量或金额（视情况而定）以及不时发售的证券条款将根据证书、章程和适用的特拉华州法律（各自称为“公司诉讼”）获得正式授权和确立，并且不会与公司受其约束的任何协议或文书的条款相冲突或构成违反；

B.在发行和出售普通股股份时，将授权并可供发行足够数量的普通股股份，并且发行和出售普通股（或可转换为普通股的优先股或可行使普通股的认股权证）的对价金额将不低于普通股的面值；

C.在发行一个或多个系列优先股的股份之前，与每个此类系列优先股相关的适当指定证书将已获得公司诉讼的正式授权，并已提交给特拉华州州务卿，在发行和出售时，将授权足够数量的优先股股份，指定并可供发行，且发行和出售优先股（或可为优先股行使的认股权证）的对价金额将不低于优先股的面值；

D.每一系列债务证券将根据优先契约或次级契约（如适用）发行，以及公司与其中指定的受托人（“受托人”）之间对其进行的任何必要修订或补充（统称“契约”），而契约的执行、交付和履行将获得公司诉讼的正式授权，不会与公司所受的任何协议或文书的条款相冲突或构成违反；

E.如果公司在义齿下的义务可能取决于这些事项，则受托人将按照其组织所管辖的法律适当组织、有效存在并具有良好的信誉；受托人将具有从事义齿所设想的活动的适当资格；义齿将由受托人正式授权、执行和交付，并将构成该受托人的法律、有效和具有约束力的义务，可根据其条款对受托人强制执行；受托人将遵守，一般而言，就根据义齿作为受托人行事而言，符合所有适用的法律和法规，并且受托人将拥有必要的组织和法律权力和权力来履行其在该义齿下的义务；

F.任何认股权证将根据公司与认股权证协议中确定为认股权证代理人的金融机构（各自称为“认股权证代理人”）之间的一项或多项认股权证协议（各自称为“认股权证协议”）发行，适用的认股权证协议的执行、交付和履行将获得公司诉讼的正式授权，不会与公司所受的任何协议或文书的条款相冲突或构成违反；

G.根据注册声明和相关认股权证协议（如适用）提供的任何认股权证将以作为注册声明的证据提交或通过引用并入其中的表格签署；

H.在公司根据任何认股权证协议所承担的义务可能取决于该等事项的范围内，除公司外，该协议的每一方将根据其组织所管辖的法律适当组织、有效存在并具有良好的信誉，并将有适当资格从事该认股权证协议所设想的活动；该认股权证协议已由该方正式授权、执行和交付，并构成该方的合法、有效和具有约束力的义务，可根据其条款对该方强制执行；该方在一般情况下以及就就其在该认股权证协议下的义务作为一方行事而言，遵守所有适用的法律和法规，且该方拥有履行其在该认股权证协议下的义务所必需的组织和法律权力和权力；

I.任何单位将根据公司及其各方将订立的购买或类似协议（各自称为“单位协议”）发行，而适用的单位协议的执行、交付和履行将获得公司行动的正式授权，不会与公司所受的任何协议或文书的条款相冲突或构成违反；

J.在公司根据任何单位协议所承担的义务可能取决于该等事项的范围内，除公司外的每一方，将根据其组织所管辖的法律适当组织、有效存在并具有良好的信誉，并将有适当资格从事该单位协议所设想的活动；该单位协议已由该方正式授权、执行和交付，并构成该方的法律、有效和具有约束力的义务，可根据其条款对该方强制执行；该方在一般情况下以及就其在该单位协议下的义务作为一方行事而言，遵守所有适用的法律和法规，并且该方拥有履行其在该单位协议下的义务所必需的组织和法律权力和权力；

K.根据注册声明和相关购买或类似协议（如适用）提供的任何单位将在作为注册声明的证据提交的表格中签署或通过引用并入其中；

L.注册声明及其任何修订（包括生效后的修订）将已生效，且该有效性不应被终止或撤销，并将遵守注册声明所设想的证券发售和发行时所有适用的联邦和州法律；

M.将编制、交付（包括通过遵守根据《证券法》颁布的《一般规则和条例》第172条）并向委员会提交说明由此提供的证券的招股说明书补充文件，并将遵守注册声明所设想的证券提供和发行时的所有适用法律；

N.所有证券的发行和销售将符合适用的联邦和州证券法；和

O.有关所提供或发行的任何证券的最终购买、包销或类似协议（每一份，“最终协议”）将已获得公司及其其他各方的正式授权并有效签署和交付。

在不违反前述规定及本文所述其他事项的前提下，我们认为，截至本文发布之日：

1.经（a）公司行动适当授权发行和出售普通股股份，（b）根据适用的最终协议和公司行动的条款和规定，并根据注册声明和适用的招股说明书补充文件的设想，以支付此类股份的款项（金额至少等于此类普通股股份的总面值）发行和交付此类普通股股份，以及（c）如适用，转换，根据各自的条款和公司诉讼的条款以及注册声明和适用的招股说明书补充文件（在每种情况下，应规定支付至少等于该等普通股股份的总面值）所设想的任何其他证券的交换或行使，该等普通股股份将有效发行、全额支付且不可评估。

2.经（a）公司行动适当授权发行和出售一系列优先股的股份，（b）根据适用的最终协议和公司行动的条款和规定，并根据注册声明和适用的招股说明书补充文件的设想，以支付此类股份（金额至少等于此类优先股股份的总面值）的方式发行和交付此类优先股股份，以及（c）如适用，转换，根据各自的条款和公司诉讼的条款以及注册声明和适用的招股说明书补充（在任何一种情况下，应规定支付至少等于该等优先股股份总面值的对价）所设想的任何其他证券的交换或行使，该系列优先股的该等股份将有效发行、全额支付且不可评估。

3.当（a）义齿已根据经修订的1939年《信托义齿法》获得资格时，（b）特定系列债务证券已根据适用义齿的条款正式成立，（c）特定债务证券发行的具体条款已获得公司诉讼的正式授权，并符合义齿的条款，（d）义齿由公司正式签署和交付，且该债务证券已根据该债务证券的付款正式签署、认证、完成、发行和交付，根据适用的最终协议的条款和规定以及公司诉讼的条款以及注册声明和适用的招股章程补充文件所设想的，以及（e）如适用，任何其他证券的转换、交换或行使已根据各自的条款和公司诉讼的条款以及注册声明和适用的招股章程补充文件所设想的发生，该等债务证券将有效发行，并将构成公司的有效和具有约束力的义务，义齿将构成公司的一项有效且具有约束力的义务，但就债务证券和义齿中的每一项而言，由于强制执行可能受到适用的破产、破产、重组、安排、暂停执行或其他影响债权人权利的类似法律的限制，并受一般股权原则和衡平法救济可用性的限制（包括具体履行）的限制，除外。

4.当（a）就特定发行认股权证的具体条款作出规定的认股权证协议已获公司诉讼正式授权，并已由公司及该认股权证协议中指名的认股权证代理人正式签立及交付，及（b）该等认股权证已按规定适当会签或认证，由该等认股权证代理人，并由公司根据该等认股权证协议及适用的最终协议的条款和规定以及公司诉讼的条款以及注册声明和适用的招股章程补充文件所设想的，正式签署和交付该等认股权证，该等认股权证将是公司有效且具有约束力的义务，除非强制执行可能受到适用的破产、无力偿债、重组、安排、暂停执行或其他影响债权人权利的类似法律的限制，并受一般股权原则和衡平法救济可用性限制的约束，包括具体表现。

5.当（a）规定特定发行单位的具体条款的单位协议已获公司行动正式授权，并已由公司及该单位协议及（b）该等单位所指名的其他各方正式签立及交付，符合该单位协议的规定，已由公司根据该等单位协议及适用的最终协议的条款和规定以及公司诉讼的条款以及注册声明和适用的招股章程补充文件所设想的，正式签署并交付该等单位的付款，除非强制执行可能受到适用的破产、无力偿债、重组、安排、暂停执行或其他影响债权人权利的类似法律的限制，并受一般股权原则和衡平法救济可用性限制（包括具体履行）的约束。

上述意见仅限于特拉华州的一般公司法，就我们在上文第3段中的意见而言，仅限于纽约州，我们不对任何其他州或司法管辖区的法律发表意见。尽管证券可能会不时延迟或持续发行，但此处表达的意见仅限于在本协议发布之日生效的法律，包括规则和条例。

意见函仅限于此处所述事项，除此处明示的事项外，不得暗示或推断任何意见。本文所表达的意见截至本文发布之日，我们不承担更新或补充此类意见以反映以后可能引起我们注意的任何事实或情况或以后可能发生的法律变化的义务。

我们同意贵公司将此意见作为注册声明的证据以及招股说明书中“法律事项”标题下对本公司的提及。在给予这种同意时，我们在此不承认我们是在《证券法》第7条或证券交易委员会根据其规则或条例要求其同意的人员类别内行事。

非常真正属于你，

/s/DLA Piper LLP（US）

DLA Piper LLP（美国）