展览23.1

独立注册会计师事务所同意

兹同意MKS Inc.于2026年2月24日有关财务报表、财务报表附表和财务报告内部控制有效性的报告（第333-78069号、333-78071号、333-78073号、333-31224号、333-54486号、333-54488号、333-54490号、333-90498号、333-90500号、333-90502号、333-116385号、333-116387号、333-116389号、333-127221号、333-161211号、333-195750号、333-211026号、333-229483号、333-264817号）的登记声明中以引用方式并入本10-K表所载的MKS Inc.报告

 

/s/普华永道会计师事务所

马萨诸塞州波士顿
2026年2月24日