附件 32.1

 

根据18 U.S.C.第1350条对首席执行官的认证，

根据

2002年《萨尔班斯-奥克斯利法案》第906条

 

本人，Michael P. Plisinski，证明根据18 U.S.C.第1350条（根据2002年《萨班斯-奥克斯利法案》第906条通过），Onto Innovation Inc.截至2026年3月31日止期间的10-Q表格季度报告完全符合1934年《证券交易法》第13（a）或15（d）条（如适用）的要求，并且10-Q表格季度报告中包含的信息在所有重大方面公允地反映了TERM0 Onto Innovation Inc.的财务状况和经营业绩。Onto Innovation Inc.

 

日期：2026年5月5日

 

		签名：	/s/Michael P. Plisinski
			Michael P. Plisinski
			首席执行官