附件 23.1
独立注册会计师事务所同意
我们同意在表格S-3ASR上的第333-277373号注册声明中以引用方式纳入及表格S-8上第333-284970号、第333-277354号、第333-270048号、第333-263039号、第333-262490号、第333-253140号、第333-236847号及第333-235255号登记声明我们日期为2026年2月11日的报告，内容有关本年度报告所载截至2025年12月31日止年度的10-K表格中所载的SiTime公司的综合财务报表及SiTime公司对财务报告的内部控制的有效性。
/s/德勤会计师事务所
加利福尼亚州圣何塞
2026年2月11日