美国
证券交易委员会

华盛顿特区20549

表格标清

专门披露报告

Axcelis Technologies, Inc.

（在其章程中指明的注册人的确切名称）

Eileen J. Evans，执行副总裁，人力资源/法律，总法律顾问，978-787-4000

（联系对象的姓名和电话，包括区号）
这份报告。）

选中相应的方框，以表明提交此表格所依据的规则，并提供此表格中的信息适用的期限：

x 2025年1月1日至12月31日报告期间的《证券交易法》（17 CFR 240.13p-1）第13p-1条规则。

第1节-冲突Minerals披露

项目1.01冲突Minerals披露和报告

a）产品中的冲突Minerals。

SD表第1.01项中定义的冲突矿物，是经修订的1934年证券交易法（“规则”）第13p-1条定义的、由Axcelis Technologies, Inc.（“公司”）制造或由公司订约制造的产品（“公司产品”）的功能或生产所必需的，并且在2025年1月1日至2025年12月31日期间完成了制造。因此，公司根据规则要求提交本报告涵盖的日历年的此表格SD。

b）合理原产国查询实施情况及结果。

公司本着诚意进行了合理的原产国调查（“RCOI”），该调查经过合理设计，旨在确定公司产品中的任何冲突矿物是否源自刚果民主共和国或毗邻国家，或是否来自回收或废料来源。自2014年以来，公司进行了与上一个日历年度相关的年度RCOI和相关尽职调查。

对于2025日历年，公司于2026年3月17日要求其2025年度材料供应商提供信息，使用了一项在线调查，调查这些供应商向公司出售的零件的矿物含量及其对任何冲突矿物来源的了解，包括冲突矿物是否来自回收或废料来源（“调查”）。这一信息收集工作一直持续到2026年4月20日。

该调查已发送给1370家公司产品中包含的材料供应商。公司收到268个不同供应商部门/地点对调查和其他回复的回复，其中13个表示对公司没有2025年销售额，净额为255个供应商部门/地点，其中2025年销售额。在这一过程结束时，公司收到了公司产品中包含的零部件供应商的回复，占2025年公司产品材料支出总额的87.16%。

截至2026年4月20日，在2025年销量的供应商回复中，有195家（占所有此类供应商回复的76%）断言：

（a）供应商出售予公司的物料中并无冲突矿物；或

（b）供应商出售给公司的材料中的冲突矿物并非源自刚果民主共和国或毗邻国家或供应商没有理由相信出售给公司的材料中的冲突矿物可能源自刚果民主共和国或毗邻国家。

没有一家答复的供应商声称，2025年出售给公司的产品包括回收或报废的冲突矿物。

同样截至2026年4月20日，27家作出答复的供应商没有提供足够的明确性来确定是否可以将其置于上述类别中。

（c）对特定冲突矿源进行尽职调查。

有33家回复供应商（占所有回复供应商2025年销售额的13%）表示（1）向公司出售的材料中包含一种或多种冲突矿物，以及（2）他们知道或有理由相信此类冲突矿物源自刚果民主共和国或毗邻国家，且不是来自回收或废料来源。据此，公司对这些冲突矿物的来源和保管链进行了尽职调查，这些矿物符合经济合作与发展组织（“OECD”）框架：OECD（2013）、OECD对来自受冲突影响和高风险区的Minerals负责任供应链的尽职调查指南：第二版中所载的《关于锡、钽和钨的补充文件》和《关于黄金的补充文件》。该公司已就这些冲突矿物提交了一份冲突Minerals报告。

本表SD和冲突Minerals报告已在公司可公开查阅的互联网网站上披露。

 项目1.02。附件

根据1934年证券交易法第13p-1条规则，公司将根据第1.01项要求提交的冲突Minerals报告作为本表格SD的证据。

第2节—展品

项目2.01展品

以下证物作为本报告的一部分提交。

附件 1.01 —本表SD第1.01和1.02项要求的冲突Minerals报告。

签名

根据1934年《证券交易法》的要求，注册人已正式安排由以下正式授权的签署人代表其签署本报告。