附件 10.1

1.

终止雇用及过渡期.

(a)

根据经修订的《1934年证券交易法》第12条颁布的第12b-2条所指的公司及其每个子公司和关联公司的高管受雇情况（“公司集团“）最早应于（x）2026年5月15日，（y）因行政人员死亡或伤残而终止雇佣的日期，及（z）行政人员未能或拒绝（因行政人员死亡或伤残而除外）履行行政人员作为公司的首席财务官的角色的日期，或于CFO过渡日期后的过渡服务（该终止雇佣日期为”过渡离职日期”).双方承认并同意，过渡离职日期应构成与要约函协议所指的无“因由”终止与公司集团的雇佣关系。

(b)

行政人员受雇于公司集团担任公司的首席财务官自2026年2月28日起终止（“首席财务官过渡日期”).自财务总监过渡日期起至过渡离职日期止，行政人员须受聘于公司行政总裁特别顾问，并须担任公司行政总裁特别顾问（该期间的“过渡期”).在过渡期内，行政人员须按公司行政总裁的合理指示，为公司集团提供与过渡事宜有关的服务过渡服务”).行政人员承认并同意，除非行政人员与公司之间另有共同约定，否则行政人员在过渡离职日期之后（不考虑因该条款（z）条而触发的任何日期）之前，不得宣布接受任何雇主的雇用或服务。

2.

付款和福利.

(a)

视执行人员及时执行和遵守本协议的条款和条件而定，执行人员应在过渡离职日期（i）继续获得执行人员目前的基薪（每年590000美元，据了解并同意，执行人员没有资格获得2026年的年度绩效增长），（ii）仍然有资格参加执行人员目前参与的公司福利计划和安排，根据每项此类计划或安排的条款和条件（据了解并同意，执行人员没有资格获得关于2026年的年度股权奖励），（iii）仍然有资格根据此类奖励的条款归属于执行人员未兑现的长期股权激励奖励，以及（iv）仍然有资格获得关于2025业绩年度的年度奖金。

(b)

视（i）执行人员及时执行和遵守本协议的条款和条件以及及时执行和不撤销于附件 A根据本协议，以及（ii）Executive忠诚和勤奋地尽最大努力执行所有分配的任务直至过渡离职日期，英特格应向Executive提供以下过渡福利：

i.

英特格应一次性向执行人员支付590000美元的现金遣散费，这笔款项应在第61届或之前支付给执行人员St过渡离职日期的翌日。

ii.

英特格应继续向雇主支付执行人员目前选出的医疗、牙科和团体人寿保险福利的份额，该份额等于英特格在过渡离职日期后十二（12）个月内为具有类似或相同承保范围的现役雇员支付的保费份额。

iii.

英特格应就2026年业绩年度的高管年度现金奖金奖励向高管（x）一次性支付现金，该现金奖励应与2026年业绩年度的年度现金奖金奖励按一般情况并在实际达到适用业绩衡量标准的水平支付给英特格的高管同时支付给高管，以及（y）一次性支付现金280,000美元，该现金支付应在第61条或之前支付给高管St过渡离职日期翌日；提供了，如果过渡离职日期因该条款（z）条款而发生，或在任何违反本协议条款和条件（包括本协议第5-8条）的情况下，该执行人员将没有资格获得此类付款。

3.

发布.为换取执行人员根据本协议提供的福利，其中执行人员承认，执行人员在其他情况下无权代表执行人员本人并代表执行人员的继承人、遗嘱执行人、管理人、受益人、受托人、个人代表、代理人和受让人、执行人员在此充分、永久、不可撤销和无条件地释放、汇出和解除英特格、其关联公司、子公司、母公司、前身和继任者，以及他们各自过去和现在的所有高级管理人员、董事、股东、合伙人、成员、雇员、代理人、代表、计划管理人、律师、保险人和受托人（各自以个人和公司身份）（统称为“被释放的缔约方"）从任何和所有的索赔、指控、投诉、要求、行动、诉讼因由、诉讼、权利、债务、款项、成本、账目、清算、契约、合同、协议、承诺、行为、不作为、损害赔偿、执行、义务、责任和费用（包括律师费和成本），从开始到执行人员签署本协议之日为止，无论已知或未知，任何种类或描述，包括但不限于与执行人员受雇或终止雇用有关、相关或产生的任何方式的原因或行动、权利或索赔，包括但不限于根据1964年《民权法案》第七章、1991年《民权法案》、1866年《民权法案》；《美国残疾人法案》；《家庭和医疗假法》、《公平信用报告法》、《遗传信息非歧视法案》、《能源重组法案》第211条、《公平劳动标准法》、《同工同酬法》、《1990年老年工人福利保护法》提出的任何歧视、骚扰、报复、未支付工资或任何其他违反任何规范雇员权利的索赔，1974年《雇员退休收入保障法》、《怀孕歧视法》、1963年《同工同酬法》，均经修订；所有由马萨诸塞州《公平就业惯例法》引起的索赔，马萨诸塞州。Gen. Laws ch。151B，§ 1 et seq.，The Massachusetts Wage Act，Mass。Gen. Laws ch。149，§ 148 et seq.（马萨诸塞州关于支付工资和加班费的法律），马萨诸塞州民权法案，马萨诸塞州。Gen. Laws ch。12，§ § 11H和11I，马萨诸塞州平等权利法，马萨诸塞州。Gen. Laws.ch。93、§ 102和弥撒。Gen. Laws ch。214，§ 1C，马萨诸塞州劳工和工业法案，马萨诸塞州。Gen. Laws ch。149，§ 1 et seq.，质量。Gen. Laws ch。214，§ 1B（马萨诸塞州隐私权法），马萨诸塞州育儿假法案，马萨诸塞州。Gen. Laws ch。149，§ 105D，马萨诸塞州性骚扰法规，马萨诸塞州带薪家庭和医疗假法，马萨诸塞州小必需品假法，马萨诸塞州。Gen. Laws ch。149，§ 52D，均经修订；以及根据当地法规和条例提出的任何可能被合法放弃和释放的索赔；包括任何修正案及其各自的实施条例，以及任何其他联邦、州、地方或外国法律（成文法、法规或其他）、Executive曾向英特格或任何前身公司提供服务的州或州的公平就业实践法规，或任何其他联邦、州或地方法律、法规或其他要求；以及任何和所有普通法索赔，包括但不限于诽谤诉讼，故意造成情绪困扰、报复、虚假陈述、欺诈、错误解除义务和违约；对英特格中任何非既得所有权权益的所有索赔，无论是合同规定的还是其他形式的；在法律允许的最大范围内的所有州和联邦举报人索赔；以及根据任何普通法理论或上述未明确提及的任何联邦、州或地方法规或条例，因Executive受雇于英特格和/或与其分离（包括报复索赔）而引起的任何索赔或损害。

4.	确认全额支付；福利不重复.任何未支付的业务费用必须在过渡离职日期后三十（30）天内提交给公司首席人力资源官，并应通过标准程序报销，前提是这些费用是按照公司政策适当发生的。无论高管是否签署本新闻稿，正确提交的费用均应予以支付。执行人员承认并同意，通过执行人员的最后受雇日期支付执行人员的正常基薪以及根据本协议本款提供的付款，完全满足通过执行人员的最后受雇日期向执行人员提供的任何和所有应付给执行人员的薪酬，无论是向英特格提供的服务还是其他方面的薪酬，并且，除本协议明确规定外，不欠执行人员任何进一步的薪酬。Executive进一步确认，无论Executive是否签署本协议，本段所述的付款均应支付。

5.	持续义务.Executive承认并重申Executive的保密和保密义务，不使用或披露在Executive受雇于英特格期间获得的有关英特格的任何和所有非公开信息，包括有关英特格的业务事务、业务前景和财务状况的任何非公开信息，除非下文第8段另有许可。

6.	不入场.本协议中的任何内容均无意也不得用作任何一方承认存在任何违反州或联邦法律、就业实践或任何其他事项的责任。

7.	不丢脸.Executive同意，在法律许可的范围内，除下文第8款另有许可外，Executive不得在公开或私下向任何个人或实体（包括但不限于任何社交媒体、网络或雇主评论网站）或以其他方式）作出任何虚假、贬损、贬损或诽谤性声明，包括但不限于任何媒体机构、行业集团、金融机构或英特格的现任或前任雇员、董事会成员、顾问、客户或客户，就英特格或任何其他被释放方，或就英特格的业务、业务前景、或财务状况。

8.

保密/保密限制的范围.无论本协议是否具有约束力，本协议（或其他条款）均未禁止行政部门（i）与任何联邦、州或地方政府机构就可能违反联邦、州或地方法律的行为进行沟通，否则将向政府机构提供信息和/或证词，（ii）参与或配合任何政府机构的调查、调查或诉讼，包括司法部和证券交易委员会，（iii）自愿与行政部门聘请的律师进行沟通，（iv）在行政机构或法院维护行政部门的合法权利，（v）提交或披露为领取失业保险、医疗补助或高管有权获得的其他公共福利所需的任何事实，或（vi）披露与针对公司的歧视索赔有关的基本事实或情况，或作出与非法歧视、骚扰或报复有关的如实陈述或披露，或以其他方式讨论或披露有关工作场所非法行为的信息，例如骚扰或歧视或高管有理由认为非法的任何其他行为。执行人员无需将任何此类通信或合作提前通知英特格；但是，前提是本文中的任何内容均未授权披露执行人员通过任何受律师-客户特权约束的通信获得的信息。此外，尽管行政部门有保密和保密义务，但根据《捍卫商业秘密法》，行政部门被告知如下：“根据任何联邦或州商业秘密法，个人不应因向联邦、州或地方政府官员直接或间接泄露（a）秘密作出（1）的商业秘密而承担刑事或民事责任，或向律师；及（2）仅为报告或调查涉嫌违法的目的；或（b）在诉讼或其他程序中提交的投诉或其他文件中作出，如果此类提交是在盖章的情况下作出的。因举报涉嫌违法行为被用人单位提起报复诉讼的个人，可以向个人的代理律师披露商业秘密，并在法院诉讼程序中使用商业秘密信息，个人（x）将含有商业秘密的任何文件盖章归档；（y）不披露商业秘密，但依据法院命令的除外。”

9.

归还英特格文件和其他财产.在签署本协议时，Executive声明并保证，截至过渡分居日期，Executive应将与英特格或其任何关联公司的业务相关的任何和所有文件、材料和信息（无论是硬拷贝、电子媒体或其他形式）以及所有密钥、门禁卡、信用卡、笔记本电脑、计算机硬件和软件、存储设备（闪存驱动器、拇指驱动器等）、平板电脑、智能手机、电话和电话相关设备以及Executive拥有或控制的英特格及其关联公司的所有其他财产交还或已交还给英特格。此外，Executive声明并保证，Executive不得在Executive的终止日期之后保留英特格或其任何关联公司的任何文件、材料或信息的任何副本（无论是硬拷贝、电子媒体或其他形式）。认识到Executive与英特格的雇佣关系即将结束，Executive同意，在Executive终止与英特格的雇佣关系之日后，Executive不得出于任何目的试图访问或使用任何英特格计算机或计算机网络或系统。此外，Executive承认，Executive已向英特格披露（或应在Executive的雇佣终止之日之前披露）所有必要或可取的密码，以使英特格能够访问Executive在其任何计算机设备或计算机网络或系统上受密码保护的所有信息。

10.	违约.如果执行人员严重违反协议的任何合法规定，英特格有权停止支付第2款所述的任何款项。此种违约行为将导致执行人员返还本协议第2款所述的过渡付款，此外还将获得英特格在法律上或在股权上可能拥有的任何和所有其他权利或补救措施

11.	管治法.本协议应根据马萨诸塞州联邦法律进行解释和解释，并可作为对与Executive受雇于英特格有关的任何诉讼、诉讼或程序的充分和完整的抗辩。

12.

其他规定.任何一方对任何违反或未能完全遵守本协议的任何规定的放弃不起作用或被解释为对任何后续违反或未能遵守的放弃。如本协议的任何部分或条款在任何程度上被视为无效或不可执行，则本协议的其余部分不受影响，本协议的每一部分和条款均应在法律允许的最大范围内有效和可执行。为避免任何可能的误解，英特格打算这份协议是对高管离职条款的全面声明。本协议取代英特格就与英特格在执行人员离职后的期间内的安排向执行人员作出的任何事先谅解或声明。本协议不得由任何一方转让，对本协议各方及其各自的关联人、继承人、受让人、继承人和代表均具有约束力，并对其有利。对本协议中规定的条款的任何修改必须以书面形式进行，并由执行人员和英特格的授权人员签署。本协议可以对应方签署，每份协议应视为正本，所有协议合在一起构成同一文书。

13.	英特格隶属关系.Executive同意，在过渡离职日期之后，Executive不再在英特格担任任何职位（无论是作为雇员、高级职员或其他），并且Executive不得将Executive作为高级职员、雇员或以其他方式作为英特格的代表，并且Executive同意更新任何表明Executive目前隶属于英特格的目录信息。

14.

合作.Executive同意，在法律许可的范围内，Executive应在调查、辩护或起诉中合理合作英特格，以应对第三方或由英特格或其代表针对任何第三方（无论是在州或联邦法院、任何州或联邦政府机构，还是在调解员或仲裁员）已经提起、目前未决或未来可能对英特格提起的任何索赔或诉讼。执行人员在此类索赔或行动方面的合理合作应包括但不限于在相互商定的合理时间和地点与英特格的律师会面，调查或准备英特格的索赔或抗辩，为审判或发现或行政听证、调解、仲裁或其他程序做准备，并在英特格提出要求时担任证人。Executive进一步同意，在法律许可的范围内，如果向Executive送达传票（任何联邦、州或地方政府机构或任何自律机构发出的传票除外），或者如果要求Executive向第三方（任何联邦、州或地方政府机构或自律机构除外）提供有关针对英特格或任何其他被释放方的任何实际或潜在投诉或索赔的信息，Executive应在法律许可的范围内立即通知英特格。但是，该规定并不要求Executive在从事此类通信之前就任何联邦、州或地方政府机构或任何自律机构的任何此类通信的主题事项与英特格联系。

15.	自愿同意.在签署本协议时，Executive向英特格保证，Executive是自愿签署的，并且对其条款有充分的理解；Executive在签署本协议之前已经有足够的机会考虑其条款，并且如果Executive愿意，英特格已建议其咨询律师，并且在签署本协议时，Executive没有依赖本协议中未明确规定的任何明示或暗示的承诺或陈述。

16.	被执行的对应方.本协议可以对应方执行，每份协议为正本，全部合在一起构成一份协议。通过docusign或类似服务、扫描图像执行，与执行原件具有同等效力和效力，签字的电子或扫描图像视为原件有效签字。

17.	修正；放弃.本协议不得被双方之间的任何其他协议修改或取代，除非该协议明确和明示其意在通过名称修改或取代本协议。在本协议任何一方选择放弃违反本协议的情况下，该放弃必须以书面形式明确说明其旨在作为对本协议的放弃或修改而运作，对任何一项此类违约的放弃不应作为对任何后续违约的放弃。

18.	作废条文的效力.如果一方当事人成功地主张本协议中的任何条款全部或部分无效、非法或不可执行，则本协议所载的其他条款应保持充分的效力和效力，如同被确定为无效、非法或不可执行的条款未包含在本协议中一样；提供了,然而、第三款规定的任何一方当事人解除债权被认为全部或部分不可执行的，该一方当事人同意在法律规定的最大限度内迅速执行可强制执行的全部和一般解除债权。

19.	预扣款项.公司有权从根据本协议应付的任何金额中预扣公司被要求预扣的任何联邦、州、地方或外国预扣税或其他税款或费用，或根据其政策通常预扣的税款或费用。

20.	继任者和受让人；第三方受益人.各方在本协议项下的权利、义务和协议应自动对其母公司、子公司、关联公司、继承人、遗嘱执行人、法定代表人、继承人和受让人有利并具有约束力，而无需各方采取进一步行动。所有被释放方均明确表示有意成为本协议的第三方受益人，并可由他们各自强制执行。

21.	每一方起草人.本协议及本协议所载条款将不会被解释为有利于或不利于本协议的任何一方，因为该一方起草或促使该一方的法定代表人起草其任何条款。

22.	补充释放到期.本文件所附的补充新闻稿为附件 A必须在不早于过渡分离日期但不迟于过渡分离日期后的二十一（21）个日历天内返回英特格。

23.

仲裁.

(a)

仲裁协议.除下文另有规定外，英特格和Executive相互同意，无论何时，他们之间可能出现的任何种类或类型的所有争议均应按此处规定专门提交具有约束力的最终仲裁，并且仅在本协议对某个程序没有影响的情况下，根据美国仲裁协会的《就业仲裁规则》（“就业仲裁规则”).就业仲裁规则的副本可从美国仲裁协会（“AAA”）网站：www.adr.org.英特格或执行机构均不得单方面更改、修改或取消本协议。根据本协议须经仲裁的索赔实例包括但不限于根据1964年《民权法案》、42 U.S.C. § 1981、《美国残疾人法案》、《就业年龄歧视法案》、《家庭和病假法案》、《公平劳动标准法》、《雇员退休收入保障法》提出的索赔，以及根据州和地方法律提出的索赔，包括工人赔偿报复性解雇索赔以及根据任何州或地方最低工资法、加班法、工资支付法或病假法提出的索赔。本协议不允许集体诉讼或集体诉讼仲裁。英特格和执行人员明确同意仅以个人为基础而不是以集体或集体诉讼为基础对任何争议进行仲裁。

(b)

备案时间.任何仲裁任何声称违反地方、州或联邦法规或条例或条例的索赔的请求必须在适用于所提交的特定索赔的诉讼时效规定的时间范围内以书面形式提交给AAA。未能及时请求仲裁，即构成放弃因被仲裁的任何争议而在任何法院地提出任何索赔的所有权利。

（c）

仲裁请求.在根据本协议提起仲裁之前，英特格或执行机构应相互送达一份要求仲裁的意向通知，其中应详细说明所寻求的具体补救措施、支持所寻求的补救措施的事实和法律依据。仲裁应在行政长官住所150英里范围内的主要城市进行。当事人送达要求仲裁意向通知书（“答复者”）不同意在五（5）个工作日内满足《意向要求仲裁通知书》所述的补救措施，则索赔人应根据《就业仲裁规则》向主管人员居住州案件的AAA案件管理中心或通过AAA网站提交仲裁要求书，网址为：www.adr.org.AAA案件管理中心信息等与案件立案有关的信息可在www.adr.org或致电L-800-778-7879与AAA联络。

（d）

仲裁员的选择和资格.本协议项下的仲裁应由一名中立仲裁员进行，该仲裁员应是至少一个州获得执业法律许可的信誉良好的成员，并应至少具备一项最低资格：（i）Society in Human Resource Management Certification（SHRM）；（ii）获得认可的美国学院或大学的工商管理硕士学位；（iii）至少有七年在管理部门工作的全职就业经验，半导体或生命科学行业中的财务或人力资源角色；或（iv）商会高管协会授予的认证商会高管（CCE）。此类仲裁员可通过《美国仲裁协会就业仲裁规则》规定的遴选程序进行遴选。尽管有上述规定，如果被申请人选择，仲裁应由三（3）名中立仲裁员组成的小组进行，每名仲裁员根据美国仲裁协会《就业仲裁规则》具备资格。

（e）

仲裁员的权力及职责.仲裁员应拥有适用法规、《就业仲裁规则》授权的权力和职责，并在下文列出。仲裁员有权对有关书状和发现的动议作出裁决，但须遵守本协议所载的限制。仲裁员应已对任何一方或第三方证人的动议发出保护令。此类保护令可包括但不限于封存全部或部分仲裁记录（包括发现程序和动议、笔录以及决定和裁决），以保护当事人和/或证人的隐私或其他宪法或法定权利。

（f）

发现.英特格和行政部门同意，发现应受到以下限制：（i）每一方当事人应进行不超过四（4）次的证词，其中任何一次的持续时间不得超过六（6）小时，且累计可持续不超过十八（18）小时；（ii）每一方当事人应向另一方当事人送达不超过十（10）次书面询问；（iii）每一方当事人应向另一方当事人送达不超过十（10）次的出示请求。当且仅当寻求额外发现的一方当事人以明确和令人信服的证据证明在没有额外发现的情况下不可能对争议中的问题进行充分和公平的探讨时，仲裁员可以授权在上述限制之外进行额外发现，这符合仲裁的加急性质。仲裁员下令的任何额外发现应严格定制，以允许不超过已证明为允许对争议问题进行充分和公平探索所必需的发现。

（g）

费用和成本.仲裁行政费、仲裁员补偿费、备案费、听证费、延期/撤销费、听证室租赁费，由当事人按照《就业仲裁规则》“用人单位颁布方案”的规定承担。

（h）

可分割性.如果由于任何原因，本协议的任何部分被认定为无效或不可执行，这一事实不应影响本协议其余部分的有效性或可执行性，但以下情况除外。如果任何一方以集体或集体诉讼的形式提起争议，且有管辖权的法院认定当事人仅以个人为基础而非以集体/集体诉讼为基础进行仲裁的协议不可执行，则：（1）当事人仅以个人为基础而非以集体/集体诉讼为基础进行仲裁的协议不能与本协议的其余部分分开；（2）该集体/集体诉讼必须在法院进行诉讼，不得仲裁。

（一）

违反仲裁协议.如果任何一方未提起仲裁，而是为解决本协议涵盖的索赔而提起法院诉讼，仲裁员应将其律师费和因中止或驳回法院诉讼和强制仲裁而产生的费用判给另一方。前一句不适用于任何一方寻求法院就当事人协议仲裁索赔的可执行性作出裁决的努力，而不是以集体诉讼或集体诉讼为基础。

（j）

杂项.本仲裁条款构成英特格与Executive就其之间的索赔仲裁达成的全部协议，并取代先前关于索赔解决的任何口头或书面协议或陈述。本仲裁条款只能通过由英特格的执行官和总法律顾问双方签字的书面形式进行修改。行政长官承认并同意，行政长官的薪酬、职位或头衔的任何变化不应导致本协议终止，也不应改变行政长官在本仲裁条款下的任何义务。不得将与任何仲裁同时提供的任何证词作为依据 诽谤索赔。本协议可由公司转让，并对公司的关联机构、继承人、受让人、继承人和代表具有约束力和适用性。执行机构不得转让本协议。

日期：2026年1月19日	/s/琳达·拉戈尔加
	琳达·拉戈尔加
	Entegris, Inc.
日期：2026年1月19日	by/s/Sue Rice
	Sue Rice
	全球人力资源高级副总裁和
	企业通讯

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			琳达·拉戈尔加