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历史沿革：
（一）芯源有限设立情况
2002年12月1日，先进制造、韩国STL签订《中外合资经营沈阳芯源先进半导体技术有限公司合同》、《中外合资经营沈阳芯源先进半导体技术有限公司章程》，约定共同出资设立芯源半导体，投资总额为840万美元，注册资本为420万美元。
2002年12月3日，沈阳市工商局出具《企业名称预先核准通知书》（（辽沈）名称预核外字[2002]第0808号），核准企业名称为“沈阳芯源先进半导体技术有限公司”。同日，沈阳高新技术产业开发区管委会出具《关于中外合资“沈阳芯源先进半导体技术有限公司”可行性研究报告（代项目建议书）的批复》（沈高新外字[2002]238号...查看全部▼
（一）芯源有限设立情况
2002年12月1日，先进制造、韩国STL签订《中外合资经营沈阳芯源先进半导体技术有限公司合同》、《中外合资经营沈阳芯源先进半导体技术有限公司章程》，约定共同出资设立芯源半导体，投资总额为840万美元，注册资本为420万美元。
2002年12月3日，沈阳市工商局出具《企业名称预先核准通知书》（（辽沈）名称预核外字[2002]第0808号），核准企业名称为“沈阳芯源先进半导体技术有限公司”。同日，沈阳高新技术产业开发区管委会出具《关于中外合资“沈阳芯源先进半导体技术有限公司”可行性研究报告（代项目建议书）的批复》（沈高新外字[2002]238号）、《关于中外合资“沈阳芯源先进半导体技术有限公司”合同、章程及设立企业的批复》（沈高新外字[2002]239号），同意先进制造、韩国STL在沈阳市投资设立芯源半导体。
2002年12月11日，沈阳市人民政府向芯源半导体核发《中华人民共和国外商投资企业批准证书》（外经贸沈府资字[2002]0212号）。
2002年12月17日，芯源半导体在沈阳市工商行政管理局办理了设立登记。
（二）沈阳芯源设立情况
1、设立方式
公司系经芯源有限整体变更设立的股份有限公司，芯源有限前身芯源半导体成立于2002年12月17日。
2019年2月28日，华普天健出具了会审字[2019]1250号《沈阳芯源微电子设备有限公司审计报告》，截至2018年12月31日，芯源有限经审计的账面净资产值为21,987.69万元。
2019年3月1日，同致信德（北京）资产评估有限公司出具了同致信德评报字[2019]第070001号《沈阳芯源微电子设备有限公司拟进行股份制改制涉及的股东全部权益价值资产评估报告》，经评估，截至2018年12月31日，芯源有限净资产值为人民币60,892万元。
2019年3月12日，芯源有限召开股东会并作出决议，一致同意公司名称由“沈阳芯源微电子设备有限公司”变更为“沈阳芯源微电子设备股份有限公司”，企业类型由有限责任公司整体变更为股份有限公司，以2018年12月31日为改制基准日整体变更为股份有限公司。
2019年3月27日，中国科学院出具了《中国科学院关于同意沈阳芯源微电子设备有限公司整体变更为股份有限公司的批复》（科发函字[2019]105号），同意芯源有限整体变更方案。
2019年3月27日，芯源有限全体股东作为发起人签署了《沈阳芯源微电子设备股份有限公司发起人协议》，约定将芯源有限整体变更设立为股份有限公司，股份总额为6,300万股。同日，公司召开创立大会暨2019年第一次临时股东大会，审议并通过了公司整体改制相关议案。
2019年3月29日，华普天健对整体变更后的股份公司注册资本实收情况进行了审验，并出具了《沈阳芯源微电子设备股份有限公司验资报告》（会验字[2019]5951号），确认发起人出资额已按时足额缴纳。
2019年3月29日，公司取得沈阳市市场监督管理局核发的《营业执照》（统一社会信用代码：9121011274273568XC）。
2019年4月19日，中国科学院对同致信德出具的《沈阳芯源微电子设备有限公司拟进行股份制改制涉及的股东全部权益价值资产评估报告》（同致信德评报字[2019]第070001号）的评估结果予以备案。
2019年12月16日公司公开发行人民币普通股2,100万股，并在上海证券交易所上市交易，发行后公司注册资本变更为人民币8,400万元。
2021年10月29日公司完成了2020年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期的股份登记工作，涉及归属登记的股票数量为15.60万股，该部分股票为无限售流通股，于2021年11月4日上市流通，公司总股本由8,400万股变更为8,415.60万股，公司注册资本变更为人民币8,415.60万元。
2022年5月30日公司完成了2020年限制性股票激励计划预留部分第一个归属期符合归属条件、2021年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的股票证券登记工作，涉及归属登记的股票数量为26.22万股，该部分股票为无限售流通股，于2022年6月6日上市流通，公司总股本由8,415.60万股变更为8,441.82万股，公司注册资本变更为人民币8,441.82万元。
2022年3月11日，中国证监会出具《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2022]498号），同意发行人向特定对象发行股票的注册申请，批复自同意注册之日起12个月内有效。2022年6月22日，公司发行新增的8,045,699股股份在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理完成登记托管及限售手续，公司总股本由8,441.82万股变更为9,246.3899万股，公司注册资本变更为9,246.3899万元。公司住所：辽宁省沈阳市浑南区飞云路16号。
2022年4月27日，公司召开第二届董事会第二次会议与第二届监事会第二次会议，审议通过了《关于调整2020年、2021年限制性股票激励计划授予价格的议案》、《关于2020年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》、《关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的议案》和《关于2021年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期符合归属条件的议案》。2022年5月30日公司完成了2020年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期、2021年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期的股份登记工作，涉及归属登记的股票数量为26.22万股，其中2020年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期归属6.75万股，2021年限制性股票激励计划首次授予部分第一个归属期归属19.47万股，该部分股票为无限售流通股，于2022年6月6日上市流通，公司总股本由8,415.60万股变更为8,441.82万股，公司注册资本变更为人民币8,441.82万元。
2022年6月8日根据公司第一届董事会第二十六次会议和2021年第三次临时股东大会决议，并经中国证券监督管理委员会《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2022]498号）的核准，公司向特定投资者非公开发行人民币普通股股票804.5699万股，发行后公司总股本由8,441.82万股变更为9,246.3899万股，公司注册资本变更为人民币9,246.3899万元。
2022年10月13日，公司召开第二届董事会第六次议与第二届监事会第六次会议，审通过了《关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的议案》和《关于2020年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期符合归属条件的议案》。2022年11月2日公司完成了2020年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期的股份登记工作，涉及归属登记的股票数量为15.45万股，该部分股票为无限售流通股，于2022年11月8日上市流通，公司总股本由9,246.3899万股变更为9,261.8399万股，公司注册资本变更为人民币9,261.8399万元。
2023年4月18日，公司召开第二届董事会第十次会议与第二届监事会第九次会议，审议通过了《关于公司2022年年度利润分配及资本公积转增股本方案的议案》。本次转增股本方案经公司2023年5月29日的2022年年度股东大会审议通过。以方案实施前的公司总股本9,287.0899万股为基数，以资本公积金向全体股东每股转增0.48股，共计转增4,457.8032万股，新增股份于2023年6月15日上市流通，公司总股本由9,287.0899万股变更为13,744.8931万股，公司注册资本变更为人民币13,744.8931万元。收起▲
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