公告：2024Q1营业收入2.44亿元，同比-15.27%，归母净利润为1601.1万元，同比-75.73%。2023年营业收入17.17亿元，同比+23.98%，归母净利润为2.51亿元，同比+25.21%，基本EPS为1.82元，平均ROE为11.17%。2023年芯源微新签订单同比基本持平，年末在手订单约为22亿元（含税）。2023年报及24Q1业绩符合预期。
　　2023年毛利率回升，扣非净利率10.9%创新高：2023年及2024Q1毛利率42.5%/40.3%，较新品拓展期的2021-2022年38.1%/38.4%毛利率显著回升。2023年，芯源微扣非净利率首次突破10%。
　　前道涂胶显影设备客户端验证进展良好，新签订单以前道产品为主。前道涂胶显影设备全面覆盖I-line、KrF、ArFdry、ArF浸没式等多种型号，也适用包括SOC、SOH、SOD等在内的其他旋涂类应用。2022年，芯源微新签订单快速增长，集成电路前道加工产品收入实现快速放量，同时保持小尺寸（如LED、化合物半导体等）及后道先进封装领域产品收入稳步增长；2023年市场需求放缓，芯源微前道涂胶显影设备新签订单依然保持了良好的增长速度。
　　据GlobalMarketMonitor，全球前道涂胶显影设备销售额由2013年的14.07亿美元增长到2020年19.05亿美元，2022年超过25亿美元；涂胶显影设备领域，日本TEL一家独大，全球市场份额接近87%，日本对6大类半导体设备出口管制的政策已于23年7月23日实施，其中包括先进制程领域涂胶显影相关设备。芯源微作为国内领先的涂胶显影设备生产企业，有望打破垄断格局。
　　半导体清洗设备：从物理清洗拓展至化学清洗。全球半导体清洗设备市场将呈逐年增长的趋势，根据SEMI数据，中国大区2023年市场需求8.26亿美元，占全球比重约27%。芯源微物理清洗机继续保持行业龙头地位，化学清洗机新品2024年初发布，在重点客户实现有序突破，有望成为公司新的业绩增长点。
　　下调盈利预测，维持“买入”评级。由于2023年后道设备签单下降，将2024-2025年归母净利润预测下调至2.88/3.73亿元（原值3.88/6.13亿），新增2026年归母净利润预测4.40亿元。2024PE为45X，可比公司（中科飞测、富创精密、华峰测控、京仪装备）平均PE56X，上升空间23%，维持“买入”评级。
　　风险提示：晶圆厂扩产节奏低于预期；新设备验证不达预期等；原材料采购周期延长风险。

　　事件
　　芯源微发布2023年度报告及2024年一季度报告：2023年公司实现营业收入17.17亿元，同比上升23.97%；实现归母净利润2.51亿元，同比上升25.50%；实现扣非净利润1.87亿元，同比上升36.50%。2024年Q1公司实现营业收入2.44亿元，同比下降15.28%；实现归母净利润0.16亿元，同比下降75.76%；实现扣非净利润0.09亿元，同比下降84.21%。
　　投资要点
　　Track设备业务稳步增长，先进封装领域设备已成功导入下游客户
　　Track设备方面，2023年公司前道涂胶显影设备销售收入达到10.66亿元，同比增长40.80%。此外，公司单片式湿法设备的销售收入也达到6.00亿元，同比增长9.09%。新品方面，公司也取得了显著进展，前道单片式化学清洗机获得了国内知名客户的验证性订单，并成功将chiplet领域的临时键合机和解键合机导入到国内多家客户中。展望未来，公司将继续依托其在国内领先的涂胶显影和湿法设备技术，进一步扩展市场份额。
　　前道Track设备技术持续提升，设备订单保持良好增长
　　涂胶显影设备作为公司的标杆产品，是集成电路制造过程中至关重要的核心处理设备，主要与光刻机配合使用，通过机械手的协调作用，晶圆在各系统间进行传输和处理，完成光刻胶的涂覆、固化、显影和坚膜等关键工艺过程。涂胶显影设备的性能直接影响到光刻曝光图案的形成。此外，显影工艺的图形质量和缺陷控制对后续刻蚀、离子注入等多个工艺中图形转移的结果也具有重要影响。行业方面，根据SEMI，受益于下游市场对电子产品的成长需求以及人工智能创新带来的应用浪潮，晶圆厂产能将扩张，全球前道300mm晶圆厂设备支出预估将持续增长，2025年预计将增长20%至1165亿美元，2027年将达到创纪录的1370亿美元。技术方面，公司已成功实现对28nm及以上工艺节点的全覆盖，28nm以下工艺技术正在验证中。目前已成功推出了包括offline、I-line、KrF及ArF浸没式在内的多种型号产品，已成功导入下游客户。公司前道涂胶显影设备新签订单依然保持了良好的增长速度，部分型号设备整体工艺水平已能够对标国际主流机台，批量销售规模持续增长。订单方面，前道Track新签订单保持较好的增长，其中Arf浸没式高产能涂胶显影设备下游客户导入进展良好，目前已获得5家重要客户订单。公司其余前道设备也有不错的进展，前道清洗设备订单保持稳健，其中物理清洗设备保持龙头地位，化学清洗设备有序突破。前道单片式化学清洗机获得国内知名客户验证性订单。
　　盈利预测
　　预测公司2024-2026年收入分别为27.13、35.81、47.27亿元，EPS分别为2.91、4.43、5.84元，当前股价对应PE分别为32.4、21.3、16.1倍，受益于国产高端GPU以及HBM进一步放量，公司前道业务以及先进封装业务能够为公司业绩赋能，给予“买入”投资评级。
　　风险提示
　　市场竞争加剧风险；公司产品验证进度不及预期风险；先进封装设备国产化率不及预期风险。

　　事件描述
　　公司发布2023年年报及2024年一季报。2023年度公司实现营业收入17.17亿元，同比+23.98%；实现归母净利润2.51亿元，同比+25.21%；实现扣非归母净利润1.87亿元，同比+36.37%。2024年一季度实现营业收入2.44亿元，同比-15.27%，环比-52.16%；实现归母净利润0.16亿元，同比-75.73%，环比-46.67%；实现扣非后归母净利润0.09亿元，同比-84.90%，环比+80.00%。
　　事件点评
　　前道track稳健放量，化学清洗进展顺利。2023年公司全年新签订单与2022年基本持平，截至报告期末公司在手订单约22亿元。报告期内，公司前道涂胶显影设备签单同比保持良好增速，国内市场份额进一步提升。浸没式机台已获得国内5家重要客户订单，高端NTD负显影、SOC涂布等新机台销售取得良好进展。同时，公司前道化学清洗机取得实质性突破，已获得国内重要客户验证性订单，未来有望成为新业绩增长点。此外，公司临时键合机、解键合机陆续获得多家头部客户订单，在2.5D/3D先进封装领域布局的新产品Frame清洗设备也已进入小批量销售阶段。
　　受订单节奏影响，24Q1业绩短期承压。分结构看，24Q1公司前道产品收入同比保持快速增长，后道先进封装/化合物领域上年新签订单下滑，验收机台相对较少，收入同比下降。24Q1公司归母净利润下滑主要受薪酬支出同比+35%，股份支付费用同比+266%和退税收入同比-43%影响。
　　产能持续扩充，研发力度不断加大。目前公司共拥有沈阳和上海两地的三大生产基地，产能储备充沛。其中上海临港厂区于2024年3月正式投产，主要生产单片化学清洗机，产能规划20-25亿元。2023年公司支出研发费用1.98亿元，同比+30.06%，近五年研发费用年均复合增速超50%；研发费用率11.52%，同比+0.53pcts。
　　投资建议
　　考虑新签及在手订单对公司收入确认的影响，调整公司2024-2026年EPS分别为2.54/3.43/4.39元，对应公司5月7日收盘价91.11元，2024-2026年PE分别为35.9/26.6/20.8倍，维持“买入-A”评级。
　　风险提示
　　下游恢复不及预期，市场竞争加剧，扩产及研发不及预期。

　　事件
　　4月27日，公司披露2023年年度报告以及2024年第一季度报告。
　　23年公司实现营收17.17亿元，同比+23.98%；实现归母净利润2.51亿元，同比+25.21%；实现扣非归母净利润1.87亿元，同比+36.37%。
　　24Q1公司实现营收2.44亿元，同比-15.27%；实现归母净利润1601万元，同比-75.73%；实现扣非归母净利润863万元，同比-84.90%。
　　投资要点
　　23年业绩稳健增长，毛利率亦稳健提升。23年公司实现营收17.17亿元，同比+23.98%，其中光刻工序涂胶显影设备/单片式湿法设备实现营收10.66/6.00亿元，同比+40.80%/+9.09%，毛利率分别为38.84%/46.37%，同比+4.19pct/+7.20pct；实现归母净利润2.51亿元，同比+25.21%；实现扣非归母净利润1.87亿元，同比+36.37%；23年业绩稳健增长主要系随着公司持续的研发投入，产品性能及服务水平不断提升，产品布局逐渐完善，产品综合竞争力持续增强，客户对公司产品的认可度不断提高，收入规模持续增长；利润端增长主要系销售收入增长。
　　24Q1业绩确认受存量订单结构、生产交付及验收周期等因素影响存在波动。24Q1公司实现营收2.44亿元，同比-15.27%，主要系受客户下单节奏影响，公司23年新签订单下半年多于上半年，截至当年末，公司在手订单含税金额约为22亿元。受存量订单结构、生产交付及验收周期等因素影响，公司24Q1收入下降。24Q1公司实现归母净利润1601万元，同比-75.73%；实现扣非归母净利润863万元，同比-84.90%；主要系：1）截至23年末，公司员工人数同比有较大增长，24Q1员工薪酬支出同比+35%；2）公司于23年8月向激励对象授予新一期限制性股票126万股，使得24Q1股份支付费用同比+266%；3）公司24Q1收到的软件增值税退税同比-43%，该部分收益随机台销售滚动产生，计入经常性损益，受地方财政具体拨付时间影响存在季节性波动。
　　23年整体新签订单保持稳定。新签订单方面，公司前道涂胶显影设备签单同比保持了良好的增长速度，国内市场份额进一步提升，所处细分赛道稀缺性得到市场进一步认可；前道清洗设备签单较为稳健，其中物理清洗机继续保持行业龙头地位，化学清洗机新品在重点客户实现有序突破，有望成为公司新的业绩增长点；后道先进封装及小尺寸签单则受下游市场景气度影响阶段性承压。23年公司全年新签订单与22年基本持平，截至报告期末，公司在手订单约为22亿元（含税），可对24年业绩起到较好的支撑。
　　投资建议
　　我们预计公司2024/2025/2026年分别实现收入23/31/41亿元，分别实现归母净利润3.3/4.7/6.2亿元，当前股价对应2024/2025/2026年PE分别为40/29/22倍，维持“买入”评级。
　　风险提示
　　下游客户扩产不及预期或产能过剩的风险，研发投入可能大幅增长的风险，供应商供货不稳定风险，新产品商业化推广不及预期的风险，行业竞争风险，税收优惠风险，政府补助政策风险，宏观环境风险。

　　公司发布化学清洗机新产品，打造新的增长点。2024年3月19日芯源微发布KCE前道单片式化学清洗机，该款机台由公司上海临港子公司自主研发，具有高工艺覆盖性、高稳定性、高洁净度、高产能、高智能化等多重优势，适用于薄膜前后的清洗、干法蚀刻后清洗、离子注入灰化后清洗、CMP后清洗等多种清洗工艺，能够满足客户对于UPTime、刻蚀一致性等稳定性指标的严苛要求。同时，机台还充分借鉴了公司在前道Track及Scrubber等领域的成熟技术，通过不断优化内部单元及整机设计，可有效确保机台内部微环境均匀稳定，并最大程度压缩chamber空间，推出的高产能架构能够助力客户实现清洗效率的显著提升。此外，机台还配备多项智能化功能，实现AI赋能。本次推出的前道单片式化学清洗机新品，将有效弥补公司在前道单片式化学清洗领域的空白，实现“物理+化学”清洗双覆盖，为公司打造新的业绩增长点。
　　前道Track设备技术不断进步，下游客户导入进展良好。2023年公司在浸没式高产能涂胶显影机平台架构及内部腔体单元上进行了进一步的优化和完善，全新的热盘快速降温技术在热盘单元烘烤温度切换过程中实现了降温时间的大幅缩短，提升了热盘处理效率，整机产能得到了提升；旋涂省胶技术应用了基于大量客户端量产数据模型下生成的核心函数控制系统，实现了涂胶工艺中的光刻胶旋涂精准控制，可为客户大量节约光刻胶成本。
　　在2023年前道晶圆厂扩产节奏有所放缓的情况下，公司前道Track（涂胶显影机）新签订单依然保持了较好的增长，实现了国内市占率的稳步提升，目前公司offline、I-line、KrF产品商业竞争力已逐步凸显，工艺处理能力、稳定性等与进口机台的差距不断缩小，浸没式高产能Track下游客户端导入评估和应用进展良好。
　　展望2024年，下游前道晶圆厂复苏迹象已愈发明显，同时叠加公司前道Track在国内晶圆厂份额的持续提升，以及化学清洗机、临时键合机等新产品的不断推出和放量，公司对2024年签单持较为积极的态度。
　　盈利预测、估值与评级：考虑到后道封装环节复苏较弱，我们下修公司2023-2025年归母净利润为2.51、3.58和4.91亿元（下修11.31%、10.50%和11.21%），当前市值对应2024-2025年PE分别为38/27倍。我们看好国产半导体设备需求，维持公司“买入”评级。
　　风险提示：行业景气恢复不及预期；行业竞争加剧。

　　事件概述
　　公司发布2023年报和2024年一季报。
　　后道封装和小尺寸需求低迷，Q1收入端短期承压
　　2023年公司实现营业收入17.17亿元，同比+23.98%，其中Q4为5.10亿元，同比+4.57%，增速放缓。分业务来看：1）光刻工序涂胶显影设备：2023年实现收入10.66亿元，同比+40.80%，我们判断前道track实现大幅增长，后道封装和化合物半导体track短期承压。2）单片式湿法设备：2023年实现收入6.00亿元，同比+9.09%，主要系清洗机、去胶机收入增长拉动。3）其他设备：2023年实现收入1330万元，同比-74.96%。
　　2024Q1公司实现营业收入2.44亿元，同比-15.27%，短期承压。细分下游来看，我们判断前道track延续快速增长，后道封装和化合物半导体领域需求依旧低迷。2023年公司签单同比基本持平，截至2023年末，公司在手订单约22亿元（含税）。截至2024Q1末，公司合同负债和存货分别为4.14和17.77亿元，分别环比+10%和+9%。随着在手订单陆续交付、收入确认，公司2024年收入端表现有望逐季度边际改善，重回快速增长。
　　期间费用率明显提升，Q1盈利水平明显下降
　　2023年公司归母净利润和扣非归母净利润分别为2.51和1.87亿元，分别同比+25.21%和+36.37%。2023年销售净利率和扣非销售净利率分别为14.57%和10.90%，分别同比+0.12和+0.99pct，盈利水平有所提升。1）毛利端：2023年销售毛利率为42.53%，同比+4.13pct，大幅提升，其中涂胶显影设备、单片式湿法设备毛利率分别为38.84%和46.37%，分别同比+4.19和+7.20pct，我们判断主要系零部件国产化降本、产品结构优化等所致。2）费用端：2023年期间费用率为30.79%，同比+1.78pct，一定程度上压制利润端表现，其中销售、管理、研发和财务费用率分别同比+0.77、+0.36、+0.53和+0.10pct。
　　2024Q1公司归母净利润和扣非归母净利润分别为1601和863万元，分别同比-75.73%和-84.90%。2024Q1销售净利率和扣非销售净利率分别为6.40%和3.53%，分别同比-16.49和-16.30pct，盈利水平明显下降。2024Q1销售毛利率和期间费用率分别为40.30%和45.79%，分别同比-5.01和+13.91pct。
　　前道涂胶显影设备持续突破，产品体系快速拓展
　　公司在稳固涂胶显影设备龙头地位的同时，不断由后道向前道领域拓展，同时不断拓展清洗、键合、划片等设备，持续完善产品体系，打开成长空间。1）涂胶显影设备：在稳固后道先进封装市场竞争力的同时，公司重点加码前道市场投入力度，已成功推出offline、I-line、KrF及ArF浸没式等型
　　号，浸没式机台已获得国内5家重要客户订单，国产替代有望加速。2）清洗设备：公司物理清洗机已成为国内逻辑、功率器件客户主力量产机型，同时新一代高产能物理清洗机已发往国内重要存储客户开展验证。在物理清洗机基础上，公司战略性布局市场规模更大的化学清洗机，已获得国内重要客户的验证性订单。3）键合设备：针对先进封装需求，公司前瞻性布局临时键合、解键合设备，已陆续获得多家头部客户订单，进入小批量销售阶段。此外，公司还发布SiC划片裂片一体机，相较砂轮式切割工艺，产能效率大幅提升，进一步完善公司在小尺寸领域的产品布局。
　　投资建议
　　我们预计2024-2026年营业收入分别为21.22、28.03和37.78亿元，同比+24%、+32%和+35%，2024-2026年归母净利润分别为3.15、4.12和5.56亿元，同比+26%、+31%和+35%，2024-2026年EPS分别为2.29、2.99和4.03元，2024/5/14股价88.65元对应PE为39、30和22倍，首次覆盖，给予“增持”评级。
　　风险提示
　　半导体行业景气下滑、新品拓展不及预期等。

　　2023年业绩稳健增长，2024Q1受订单结构影响有所下滑：2023年公司实现营业收入17.2亿元，同比+24%，其中光刻工序涂胶显影设备收入10.7亿元，同比+41%，占比62%，单片式湿法设备收入6.0亿元，同比+9%，占比35%；归母净利润2.5亿元，同比+25%；扣非归母净利润1.9亿元，同比+36%。2024Q1公司营业收入2.4亿元，同比-15%，归母净利润0.2亿元，同比-76%，扣非归母净利润0.1亿元，同比-85%，主要系一方面受客户下单节奏影响，公司2023年新签订单下半年多于上半年，故2024Q1验收确认的收入有所下降，另一方面公司员工人数增长、股份支付费用有所增加。
　　2023年毛利率明显提升，零部件国产化加速：2023年公司毛利率为42.5%，同比+4.1pct，其中光刻工序涂胶显影设备毛利率为38.9%，同比+4.2pct，单片式湿法设备毛利率为46.3%，同比+7.2pct，净利率为14.6%，同比+0.1pct，期间费用率为30.8%，同比+1.8pct，其中销售费用率为8.3%，同比+0.8pct，管理费用率（含研发）为22.1%，同比+0.9pct，财务费用率为0.4%，同比+0.1pct。2024Q1毛利率为40.3%，同比-5pct，净利率为6.4%，同比-16.5pct。
　　新签订单同比基本持平，存货&合同负债环比略有提升：截至2024Q1末，公司合同负债为4.1亿元，同比-20%，环比+10%，存货为17.8亿元，同比+23%，环比+9%；2023年公司全年新签订单与2022年基本持平，截至2023年末公司在手订单约为22亿元（含税）。
　　前道涂胶显影国产替代中，清洗设备、后道先进封装设备进一步打开成长空间：（1）前道涂胶显影：公司作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商，目前已完成在前道晶圆加工环节28nm及以上工艺节点的全覆盖。公司Off-line、I-line、KrF机台等均已实现批量销售，2023年公司ArF浸没式高产能涂胶显影设备在成熟化、标准化等方面也取得良好进展，截至2023年末公司浸没式机台已获得国内5家重要客户订单。（2）前道清洗设备：2023年公司新一代高产能物理清洗机已发往国内重要存储客户开展验证，机台应用新一代高产能架构可满足存储客户对产能的更高指标要求，未来有望在存储领域打开新的增量市场空间，此外公司战略性新产品前道化学清洗机已获得国内重要客户的验证性订单。（3）后道先进封装设备：公司后道先进封装用涂胶显影设备、单片式湿法设备已连续多年作为主流机型批量应用于台积电、盛合晶微、长电科技、华天科技、通富微电、珠海天成等海内外一线大厂，并推出了临时键合、解键合、Frame清洗等新产品。
　　盈利预测与投资评级：考虑到设备交付节奏，我们下调2024-2025年公司归母净利润分别为3.3（原值4.0）/4.3（原值5.8）亿元，预计2026年归母净利润为5.5亿元，当前市值对应动态PE分别为41/32/25倍。基于公司在前道Track和清洗领域的成长性，维持“增持”评级。
　　风险提示：半导体行业投资下滑，新品研发&产业化不及预期等。