事项：
　　公司发布2026年第三季度报告：
　　1）2026Q1-Q3：公司实现营业收入14.90亿元，同比+35.04%；毛利率31.13%，同比-2.14pct；归母/扣非归母净利润1.45/1.35亿元，同比+12.84%/+22.81%。
　　2）2026Q3：公司实现营业收入5.49亿元，同比/环比+48.95%/+0.05%；毛利率32.63%，同比/环比-0.27pct/+5.95pct；归母净利润0.53亿元，同比/环比+38.05%/+17.07%；扣非归母净利润0.50亿元，同比/环比+43.73%/+17.21%；研发投入0.51亿元，同比+26.53%。
　　评论：
　　2026Q3收入同比增长提速，毛利率环比显著修复。受益于半导体设备市场需求旺盛及公司产品竞争优势，公司2026Q3收入同比+48.95%至5.49亿元，较Q1的+16.13%、Q2的+38.21%进一步提速。盈利能力方面，Q3毛利率为32.63%，较Q2的26.68%环比提升5.95pct，同比基本持平；归母/扣非归母净利润分别同比+38.05%/+43.73%，环比均增长约17%，H1产品结构变化对利润端的影响有所缓解。费用端，公司Q3研发投入同比+26.53%至0.51亿元，研发费用率9.22%，同比下降1.63pct，在保持较高研发投入的同时，收入增长带来的规模效应逐步显现。
　　合同负债维持高位，存货进一步增长，在手订单及产能释放支撑后续收入确认。截至2026Q3末，公司合同负债达16.49亿元，较年初增长22.1%、较Q2末继续增长0.7%；存货达29.51亿元，较年初增长23.2%、较Q2末增长12.2%，订单储备及待交付产品保持充足。公司前三季度经营活动现金流净额1.66亿元，较去年同期的-0.18亿元明显改善，约为同期归母净利润的1.14倍。与此同时，公司固定资产由年初0.46亿元增至4.89亿元，在建工程由2.87亿元降至0.09亿元，产能建设逐步转固，有望增强后续订单交付能力。随着在手订单持续交付及验收，公司收入增长有望延续。
　　先进逻辑及存储扩产景气延续，新品持续突破打开平台化成长空间。AI推动先进逻辑、DRAM及NAND资本开支持续增长，SEMI预计2026年全球WFE销售额同比增长23.1%至1439亿美元，其中DRAM/NAND设备销售额分别同比增长39.0%/30.7%，中国仍将保持全球最大设备支出市场。公司作为国内半导体专用温控设备及工艺废气处理设备领先厂商，有望持续受益先进制程扩产和设备国产化。2026H1公司温控设备收入6.49亿元，占收入约69%，同比增长约44%；同时公司持续推进产品平台化布局，低温及超低温温控设备已部分实现产业化应用，半导体专用真空设备部分型号进入国内集成电路产线验证，集成电路制造立存与分类晶圆传输存储项目样机已通过终端客户验证，半导体工艺气体热反应处理设备已实现产业化应用。核心品类份额提升叠加真空泵等新品突破，有望进一步打开长期成长空间。
　　投资建议：公司核心温控及废气处理设备深度受益国内先进逻辑、存储产能扩张及国产替代，同时真空泵等新品逐步进入客户验证阶段。考虑2026H1产品结构变化及减值等因素导致盈利能力阶段性承压，但2026Q3收入增长明显提速、毛利率环比显著修复，在手订单维持高位，公司后续利润弹性有望逐步释放。我们对公司2026-2028年归母净利润预测为2.26/3.91/5.67亿元，对应EPS分别为1.35/2.33/3.37元。考虑公司在半导体专用温控/废气处理设备领域的领先地位、先进制程扩产带来的成长弹性以及真空泵等新品带来的第二增长曲线，给予公司2027年50倍PE，对应目标价116.5元，维持“强推”评级。
　　风险提示：国际贸易形势变化；下游晶圆厂扩产不及预期；新品研发及客户验证不及预期；市场竞争加剧及产品结构变化导致毛利率波动。

　　核心观点
　　事件：公司公告《2025年年度报告》。
　　2025年公司营收实现稳健增长，半导体专用温控设备贡献主要收入。2025年公司实现营业收入14.26亿元，同比+38.95%；2025年公司实现归母净利润1.48亿元，同比-3.26%，主要受公司加大研发投入和增值税即征即退税额同比减少所致。其中，2025年公司半导体专用温控设备收入9.37亿元，占收入比重为65.70%；半导体专用工艺废气处理设备收入3.48亿元，占收入比重为24.41%。
　　公司半导体温控与废气处理设备打破海外垄断，国产替代持续落地。公司主营半导体专用温控设备、半导体专用工艺废气处理设备和晶圆传片设备。在半导体温控设备领域，公司先后推出V系列、C系列、H系列等迭代产品，温控区间覆盖空载温控精度为±0.05℃，运行状态下温控精度为±0.5℃，并承担国家级重大专项课题（温控装置相关）。在半导体专用温控设备和半导体专用工艺废气处理设备领域，公司已打破了海外厂商的垄断，逐步实现了国产替代。
　　公司产品已在国内先进逻辑和存储产线量产，深度受益下游产能扩张。公司产品已批量应用于国内先进的逻辑芯片14nm及存储芯片192层等制程产线。受AI投资驱动，包括先进逻辑、DRAM和先进封装的产能扩张，根据SEMI报告，2026Q1全球半导体设备出货金额同比+14%，单季度出货金额创历史新高，公司凭借在国内先进逻辑和存储厂的精准卡位，有望受益于国产替代和产能扩张的双重驱动。
　　2026Q1公司合同负债持续增长，充沛的在手订单有望支撑公司成长。2025Q1至2026Q1公司合同负债分别为8.15亿元、9.44亿元、9.51亿元、13.51亿元和14.88亿元，其中，公司2026Q1合同负债同比+82.48%，充分印证公司在手订单储备饱满，下游晶圆厂商扩产采购需求旺盛，为后续业绩释放筑牢基础。
　　盈利预测：公司凭借在半导体温控和废气处理设备多年积累，有望把握国内晶圆厂和存储厂产线扩产需求，带来订单和业绩增长。我们预计公司2026/2027/2028年归母净利润分别为3.44/5.3/7.48亿元，对应当前股价PE分别为74/48/34倍，首次覆盖，给予“买入”评级。
　　风险提示：下游扩产进度不及预期、行业竞争加剧。

　　投资逻辑
　　公司主营业务为半导体专用温控设备、工艺废气处理设备及晶圆传片设备，产品广泛应用于集成电路制造的核心工艺环节。公司2025年归母净利润短期承压，主要系研发费用增加所致。但各项前瞻指标表现亮眼，截至2025年底公司存货中发出商品增至15.62亿元，同比增加29.84%；截至2026Q1公司合同负债达14.88亿元，同比增加82.48%，充沛的在手订单叠加26Q1盈利能力企稳修复，有望支撑公司业绩重回高增长态势。
　　半导体设备行业景气度延续，附属配套设备国产替代空间广阔。根据SEMI数据，2025年全球半导体设备销售额达1350.6亿美元（YOY+15%），中国大陆稳居首位（493.1亿美元）。随着下游存储与逻辑晶圆厂步入长扩产周期，资本开支维持高位，直接拉动半导体配套设备需求。公司核心产品成功打破国外厂商在该领域的长期垄断，填补了国内空白，并已获得国内头部逻辑、存储等大客户的批量订单。公司客户集中度高，核心大厂业务敞口显著，2025年前五大客户营收占比达81.37%，将显著受益于下游大客户扩产。
　　技术底座与产能扩张共振，卡位优势显著。在巩固现有产品竞争优势的基础上，公司积极向先进制程拓展，产品已全面适配28nm及以下逻辑芯片、128层以上3DNAND存储芯片产线。公司正加速推进安徽研发生产基地建设，该项目预计于2026年底达到预定可使用状态。新产能的集中释放将大幅提升温控及废气处理设备的交付能力，打破潜在的供给侧瓶颈。
　　盈利预测、估值和评级
　　我们预测公司2026-2028年营收分别为21.97亿元、30.86亿元、41.92亿元，EPS分别为2.00元/3.05元/4.33元，对应当前股价的PE估值分别为80倍/52倍/36倍。参考可比公司估值，平均26年为93倍PE，公司作为国内半导体专用温控设备和废气处理设备国产替代的领军者，具备显著的稀缺性，我们给予公司2026年93倍PE，对应目标价为185.81元，首次覆盖，给予“买入”评级。
　　风险提示
　　下游晶圆厂扩产及资本开支不及预期的风险，核心技术迭代与新产品客户验证不及预期的风险，市场竞争加剧导致毛利率承压的风险，限售股解禁的风险，存货周转周期较长的风险。

　　事件概述
　　公司发布2026年三季报。
　　Q3营收增长继续提速，新接订单同比高增
　　2026Q1-3公司实现收入14.90亿元，同比+35.04%，其中Q3实现营收5.49亿元，同比+48.95%，收入增长持续加速，我们推测Chiller仍为收入主要构成，延续较快增长，并向先进超低温突破，相关产品市场份额优势明显。截至26Q3末，公司存货/合同负债分别为29.51/16.49亿元，同比+25.61%/+73.38%，持续创历史新高，并维持较高增速，公司相关产品在存储、先进逻辑份额较高，受益大扩产，2026Q1-3我们预计公司新接订单同比高增，后续营收增长有望继续提速。
　　Q3毛利率环比提升+规模效应释放，减值损失影响盈利水平
　　2026Q3公司归母净利润/扣非归母净利润为5316/4983万元，同比+38.05%/+43.73%；净利率/扣非归母净利率为9.69%/9.08%，分别同比-0.77/-0.33pct，环比降幅明显改善。具体来看：1）毛利端：2026Q3公司毛利率为32.63%，同比-0.26pct，环比+5.95pct，环比实现明显提升，推测高毛利率的Chiller占比提升所致。2）费用端：2026Q3期间费用率为19.00%，同比-2.75pct，规模效应持续释放。3）26Q3公司计提各类信用/资产减值损失1966万元，同比+1490万元，一定程度影响了利润端表现。
　　Chiller、L/S受益存储大扩产，新品真空泵进入验证阶段
　　1）国内存储、先进逻辑大扩产，公司Chiller、L/S平替海外设备，Chiller在国内头部先进逻辑/存储客户接近独供，是先进存储/逻辑敞口最大标的之一，且价值量通胀逻辑持续兑现，深度受益下游扩产加速。2）公司已成功自主开发VCH系列爪式结构干式真空泵、VRM系列多级罗茨结构干式真空泵，部分型号真空泵产品已经送往国内集成电路制造产线进行验证，构筑公司第二成长曲线。
　　投资建议
　　考虑公司计提减值等事项，我们维持2026-2028年公司营收预测为20.22、28.75、39.97亿元，分别同比+41.8%、+42.2%、+39.1%；调整归母净利润预测为2.31、4.09、6.40亿元（原值为2.50、4.09、6.40亿元），分别同比+56.4%、+76.8%、+56.4%，EPS为1.38、2.43、3.81元（原值为1.49、2.43、3.81元）。2026/11/2日股价88.48元对应PE分别为109、61、39倍，维持“增持”评级。
　　风险提示
　　下游扩产不及预期、新品研发不及预期等。

　　事件概述
　　公司发布2026年中报。
　　Q2营收加速增长，26H1新接订单同比高增
　　2026H1公司实现收入9.41亿元，同比+28.06%，其中Q2实现营收5.49亿元，同比+38.21%，订单加速确认，基本符合我们预期。我们推测Chiller作为核心产品延续较快增长，并向先进超低温突破，相关产品市场份额优势明显，为收入主要构成。我们注意到26H1公司存货/合同负债分别为26.29/16.37亿元，同比+21.76%/+73.40%，双双创了历史新高，我们推测26H1公司新接订单保持较快增长势头，在手订单充足，随着订单加速确收，公司营收有望提速。
　　毛利率出现一定波动，26H1净利润端有所承压
　　2026H1年公司实现归母净利润/扣非归母净利润为0.92/0.85亿元，同比+2.05%/+13.17%，其中Q2归母净利润/扣非归母净利润为0.45/0.43亿元，同比-16.11%/-2.48%，利润端有所承压。26H1净利率/扣非归母净利率为9.76%/9.05%，分别同比-2.49/-1.19pct，盈利水平下降。具体来看：1）毛利端：2026H1公司毛利率为30.26%，同比-3.2pct，我们推测系产品确认结构变化所致，Q2毛利率后续有望改善。2）费用端：2026H1期间费用率为18.29%，同比-0.76pct，其中销售/管理/研发/财务费用率同比+0.1/+0.25/-1.41/+0.21pct，整体而言费用率下降主要系规模效应。3）此外我们注意到，26H1公司计提各类信用减值损失及资产减值损失0.16亿元，一定程度影响了利润端表现。
　　显著受益先进存储+逻辑扩产，真空泵新品进入验证阶段
　　1）公司Chiller、L/S平替海外设备，Chiller在国内头部先进逻辑/存储客户接近独供，先进制程（存储+逻辑）敞口最大标的之一；此外，Chiller、L/S受益先进制程扩产价值量提升明显，随着存储、先进逻辑招标落地，我们预计2026年公司新接订单有望实现同比高增；2）此外，公司已成功自主开发VCH系列爪式结构干式真空泵、VRM系列多级罗茨结构干式真空泵，部分型号真空泵产品已经送往国内集成电路制造产线进行验证，构筑公司第二成长曲线。
　　投资建议
　　考虑公司产品结构有所变化，以及减值损失等因素，我们维持2026-2028年公司营收预测为20.22、28.75、39.97亿元，分别同比+41.8%、+42.2%、+39.1%；调整归母净利润预测为2.50、4.09、6.40亿元（原值为2.88、4.36、6.61亿元），分别同比+69.0%、+63.5%、+56.6%，EPS为1.49、2.43、3.81元（原值为1.72、2.60、3.93元）。2026/8/28日股价149.51元对应PE分别为101、61、39倍，维持“增持”评级。
　　风险提示
　　下游扩产不及预期、新品研发不及预期等。