核心观点
　　事件：公司公告《2025年年度报告》。
　　2025年公司营收实现稳健增长，半导体专用温控设备贡献主要收入。2025年公司实现营业收入14.26亿元，同比+38.95%；2025年公司实现归母净利润1.48亿元，同比-3.26%，主要受公司加大研发投入和增值税即征即退税额同比减少所致。其中，2025年公司半导体专用温控设备收入9.37亿元，占收入比重为65.70%；半导体专用工艺废气处理设备收入3.48亿元，占收入比重为24.41%。
　　公司半导体温控与废气处理设备打破海外垄断，国产替代持续落地。公司主营半导体专用温控设备、半导体专用工艺废气处理设备和晶圆传片设备。在半导体温控设备领域，公司先后推出V系列、C系列、H系列等迭代产品，温控区间覆盖空载温控精度为±0.05℃，运行状态下温控精度为±0.5℃，并承担国家级重大专项课题（温控装置相关）。在半导体专用温控设备和半导体专用工艺废气处理设备领域，公司已打破了海外厂商的垄断，逐步实现了国产替代。
　　公司产品已在国内先进逻辑和存储产线量产，深度受益下游产能扩张。公司产品已批量应用于国内先进的逻辑芯片14nm及存储芯片192层等制程产线。受AI投资驱动，包括先进逻辑、DRAM和先进封装的产能扩张，根据SEMI报告，2026Q1全球半导体设备出货金额同比+14%，单季度出货金额创历史新高，公司凭借在国内先进逻辑和存储厂的精准卡位，有望受益于国产替代和产能扩张的双重驱动。
　　2026Q1公司合同负债持续增长，充沛的在手订单有望支撑公司成长。2025Q1至2026Q1公司合同负债分别为8.15亿元、9.44亿元、9.51亿元、13.51亿元和14.88亿元，其中，公司2026Q1合同负债同比+82.48%，充分印证公司在手订单储备饱满，下游晶圆厂商扩产采购需求旺盛，为后续业绩释放筑牢基础。
　　盈利预测：公司凭借在半导体温控和废气处理设备多年积累，有望把握国内晶圆厂和存储厂产线扩产需求，带来订单和业绩增长。我们预计公司2026/2027/2028年归母净利润分别为3.44/5.3/7.48亿元，对应当前股价PE分别为74/48/34倍，首次覆盖，给予“买入”评级。
　　风险提示：下游扩产进度不及预期、行业竞争加剧。

　　投资逻辑
　　公司主营业务为半导体专用温控设备、工艺废气处理设备及晶圆传片设备，产品广泛应用于集成电路制造的核心工艺环节。公司2025年归母净利润短期承压，主要系研发费用增加所致。但各项前瞻指标表现亮眼，截至2025年底公司存货中发出商品增至15.62亿元，同比增加29.84%；截至2026Q1公司合同负债达14.88亿元，同比增加82.48%，充沛的在手订单叠加26Q1盈利能力企稳修复，有望支撑公司业绩重回高增长态势。
　　半导体设备行业景气度延续，附属配套设备国产替代空间广阔。根据SEMI数据，2025年全球半导体设备销售额达1350.6亿美元（YOY+15%），中国大陆稳居首位（493.1亿美元）。随着下游存储与逻辑晶圆厂步入长扩产周期，资本开支维持高位，直接拉动半导体配套设备需求。公司核心产品成功打破国外厂商在该领域的长期垄断，填补了国内空白，并已获得国内头部逻辑、存储等大客户的批量订单。公司客户集中度高，核心大厂业务敞口显著，2025年前五大客户营收占比达81.37%，将显著受益于下游大客户扩产。
　　技术底座与产能扩张共振，卡位优势显著。在巩固现有产品竞争优势的基础上，公司积极向先进制程拓展，产品已全面适配28nm及以下逻辑芯片、128层以上3DNAND存储芯片产线。公司正加速推进安徽研发生产基地建设，该项目预计于2026年底达到预定可使用状态。新产能的集中释放将大幅提升温控及废气处理设备的交付能力，打破潜在的供给侧瓶颈。
　　盈利预测、估值和评级
　　我们预测公司2026-2028年营收分别为21.97亿元、30.86亿元、41.92亿元，EPS分别为2.00元/3.05元/4.33元，对应当前股价的PE估值分别为80倍/52倍/36倍。参考可比公司估值，平均26年为93倍PE，公司作为国内半导体专用温控设备和废气处理设备国产替代的领军者，具备显著的稀缺性，我们给予公司2026年93倍PE，对应目标价为185.81元，首次覆盖，给予“买入”评级。
　　风险提示
　　下游晶圆厂扩产及资本开支不及预期的风险，核心技术迭代与新产品客户验证不及预期的风险，市场竞争加剧导致毛利率承压的风险，限售股解禁的风险，存货周转周期较长的风险。

　　事件概述
　　公司发布2026年中报。
　　Q2营收加速增长，26H1新接订单同比高增
　　2026H1公司实现收入9.41亿元，同比+28.06%，其中Q2实现营收5.49亿元，同比+38.21%，订单加速确认，基本符合我们预期。我们推测Chiller作为核心产品延续较快增长，并向先进超低温突破，相关产品市场份额优势明显，为收入主要构成。我们注意到26H1公司存货/合同负债分别为26.29/16.37亿元，同比+21.76%/+73.40%，双双创了历史新高，我们推测26H1公司新接订单保持较快增长势头，在手订单充足，随着订单加速确收，公司营收有望提速。
　　毛利率出现一定波动，26H1净利润端有所承压
　　2026H1年公司实现归母净利润/扣非归母净利润为0.92/0.85亿元，同比+2.05%/+13.17%，其中Q2归母净利润/扣非归母净利润为0.45/0.43亿元，同比-16.11%/-2.48%，利润端有所承压。26H1净利率/扣非归母净利率为9.76%/9.05%，分别同比-2.49/-1.19pct，盈利水平下降。具体来看：1）毛利端：2026H1公司毛利率为30.26%，同比-3.2pct，我们推测系产品确认结构变化所致，Q2毛利率后续有望改善。2）费用端：2026H1期间费用率为18.29%，同比-0.76pct，其中销售/管理/研发/财务费用率同比+0.1/+0.25/-1.41/+0.21pct，整体而言费用率下降主要系规模效应。3）此外我们注意到，26H1公司计提各类信用减值损失及资产减值损失0.16亿元，一定程度影响了利润端表现。
　　显著受益先进存储+逻辑扩产，真空泵新品进入验证阶段
　　1）公司Chiller、L/S平替海外设备，Chiller在国内头部先进逻辑/存储客户接近独供，先进制程（存储+逻辑）敞口最大标的之一；此外，Chiller、L/S受益先进制程扩产价值量提升明显，随着存储、先进逻辑招标落地，我们预计2026年公司新接订单有望实现同比高增；2）此外，公司已成功自主开发VCH系列爪式结构干式真空泵、VRM系列多级罗茨结构干式真空泵，部分型号真空泵产品已经送往国内集成电路制造产线进行验证，构筑公司第二成长曲线。
　　投资建议
　　考虑公司产品结构有所变化，以及减值损失等因素，我们维持2026-2028年公司营收预测为20.22、28.75、39.97亿元，分别同比+41.8%、+42.2%、+39.1%；调整归母净利润预测为2.50、4.09、6.40亿元（原值为2.88、4.36、6.61亿元），分别同比+69.0%、+63.5%、+56.6%，EPS为1.49、2.43、3.81元（原值为1.72、2.60、3.93元）。2026/8/28日股价149.51元对应PE分别为101、61、39倍，维持“增持”评级。
　　风险提示
　　下游扩产不及预期、新品研发不及预期等。

　　事件概述
　　公司发布2026年一季报。
　　在手订单高增，营收延续稳定增势
　　2026Q1公司实现收入3.92亿元，同比+16.13%，增速有所放缓，基本符合我们预期，推测主要系产品相关订单确认出现波动。分产品来看，我们推测Chiller作为核心产品延续较快增长，并向先进超低温突破，相关产品市场份额优势明显，为收入主要构成，而L/S相关产品收入增速较慢。截至26Q1，公司存货/合同负债分别为25.08/14.88亿元，同比+21.96%/+82.48%，双双创了历史新高，我们推测公司新接订单保持较快增长势头，在手订单充足，随着订单加速确收，公司营收有望提速。
　　毛利率显著提升，26Q1利润端超预期
　　2026Q1年公司实现归母净利润/扣非归母净利润为4644/4260万元，同比+29.45%/+34.73%，公司业绩在经历两个季度下滑后出现拐点，超预期；净利率/扣非归母净利率为11.84%/10.86%，分别同比+1.22/+1.50pct，盈利水平提升。具体来看：1）毛利端：2026Q1公司毛利率为35.26%，同比+3.89pct，环比+4.78pct，我们推测系高毛利率较高的Chiller收入占比提升所致。2）费用端：2026Q1期间费用率为21.33%，同比+2.86pct，其中销售/管理/研发/财务费用率分别同比+1.15/+0.92/+0.56/+0.22pct，推测系业务规模扩张带动相关投入增长。
　　显著受益先进存储+逻辑扩产，真空泵新品再造主业
　　1）公司Chiller、L/S打破国外厂商垄断，Chiller在国内头部先进逻辑/存储客户接近独供，先进制程（存储+逻辑）敞口最大标的之一；此外，Chiller、L/S是先进制程扩产价值量提升最明显赛道，深度受益先进制程扩产，我们预计2026年公司新接订单有望实现同比高增；2）根据25年报披露，真空泵项目预计投入0.95亿元，技术水平达国际先进，参考中科仪25年研发费用约1.1亿元。公司真空泵完全自主研发，面向刻蚀、薄膜和扩散工艺，应用于逻辑和存储芯片制造，构筑公司第二成长曲线。
　　投资建议
　　我们维持2026-2028年公司营收预测为20.22、28.75、39.97亿元，分别同比+41.8%、+42.2%、+39.1%；归母净利润预测为2.88、4.36、6.61亿元，分别同比+95.0%、+51.3%、+51.4%，EPS为1.72、2.60、3.93元。2026/4/28日股价114.28元对应PE分别为66.57、44.05、29.06倍，维持“增持”评级。
　　风险提示
　　下游扩产不及预期、新品研发不及预期等。

　　事件概述
　　公司发布2025年报。
　　Chiller放量&后市场高增，2025年营收保持快速增长
　　2025年公司实现营收14.26亿元，同比+38.95%，其中Q4为3.23亿元，同比+27.19%，符合预期。分产品看：1）Chiller：实现收入9.37亿元，同比+49%，作为核心产品保持快速增长，并向先进超低温突破；2）L/S：实现收入3.48亿元，同比+7.6%，有所降速；3）Sorter：实现收入0.36亿元，同比+45%，快速导入，市场份额提升；4）零配件及服务：实现收入1.05亿元，同比+110%，推测系存量设备增长。截至2025年末，公司存货/合同负债为23.95/13.51亿元，同比+20%/+83%，我们推测系2025年公司新接订单再创新高，在手订单充足，随着加快确认，收入端有望持续高增。
　　毛利率/费用率稳定，增值税事项大幅影响利润表现
　　2025年公司归母净利润/扣非归母净利润为1.48/1.15亿元，同比-3.26%/-0.47%；其中Q4为0.19/0.05亿元，同比-16.02%/-59.64%，符合快报指引。2025年公司销售净利率/扣非净利率为10.37%/8.08%，同比-4.53pct/-3.20pct，具体看：1）毛利率：2025年为32.64%，同比持平，其中Chiller/L&S为36.37%/26.73%，同比+0.45pct/-2.62pct；2）费用端：公司期间费用率为20.94%，同比持平，其中销售/管理/研发/财务费用率分别同比-0.18/-0.98/+0.80/+0.64pct，规模效应有所体现，但持续加大研发投入；3）其他收益相较2024年大幅减少4400万元，主要是增值税即征即退减少，构成影响利润主要因素。
　　显著受益先进存储+逻辑扩产，真空泵新品再造主业
　　1）不同于传统工艺制程设备，公司Chiller、L/S打破海外厂商垄断，公司Ciller在国内头部先进逻辑/存储客户接近独供，先进制程敞口最大标的之一，我们预计2025年存储订单占比较高；此外，Chiller、L/S是先进制程扩产价值量提升最明显赛道，深度受益先进制程扩产，辅助设备后于主设备招标，后续有望不断落地；2）根据年报披露，真空泵项目预计投入0.95亿元，技术水平达国际先进，参考中科仪25年研发费用约1.1亿元。公司真空泵完全自主研发，面向刻蚀、薄膜和扩散工艺，应用于逻辑和存储芯片制造。
　　投资建议
　　考虑研发投入等加大，我们调整2026-2027年公司营收预测为20.22和28.75亿元（原值为20.68和28.57亿元），分别同比+42%、+42%，同时新增2028年营收预测为39.97亿元，同比+39%；调整2026-2027年归母净利润预测为2.88和4.36亿元（原值为3.35和5.17亿元），分别同比+95%、+50%，同时新增2028年归母净利润预测为6.61亿元，同比+52%；对应2026-2027年EPS预测为1.72和2.60元（原值为1.99和3.08元），新增2028年EPS预测为3.93元。2026/3/30日股价104.2元对应PE分别为61、40和27倍，维持“增持”评级。
　　风险提示
　　下游扩产不及预期、新品研发不及预期等。