新品放量驱动收入增长，Q3环比扭亏为盈。2026Q1-3公司实现营业总收入16.14亿元，同增34%；归母净利润亏损1亿元。分季度看：Q1/Q2/Q3分别实现营收4.0/5.4/6.7亿元，同增35%/34%/35%；实现归母净利润-0.7/-0.6/0.3亿元，Q1、Q2同比亏损扩大，Q3环比扭亏为盈、同比高增784%。Q3收入保持较高同比增速，业绩环比明显改善，主要因：1）暗场、高深宽比刻蚀结构量测设备新产品取得积极进展；2）产品结构优化，先进制程收入贡献提升，带动毛利率同环比改善；3）结合9月末在手订单与规模以及明场等新产品在客户端的验证进展，全年收入有望保持过去几年高增水平，且明年增长有望进一步提速，同时随着更高毛利率的高端设备以及软件服务收入贡献持续提升，利润水平有望延续改善趋势。
　　产品结构优化带动Q3毛利率提升，经营现金流有所改善。2026Q1-3公司综合毛利率48.35%，同降3.6pct（Q3单季同增2.8pct至51.5%，主要系高毛利率先进制程收入占比提升至80%以上）。Q1-3期间费用率61.30%，同比提升3.6pct，其中销售/管理/研发/财务费用率分别同比变动+1.6/-0.3/+2.7/-0.4pct。Q3单季期间费用率同比提升9.13pct至57.68%，主要因研发费用率同比提升6.71pct。Q1-3公司归母净利率为-5.9%，同比下降4.67pct，主要系公司持续加大研发与市场投入。Q1-3经营现金流净流出3.5亿元，同比收窄3.3亿元，现金流有所改善。
　　在手订单显著增长，新品验证与放量持续推进。截至26Q3末，公司合同负债14.3亿元，同比增长152%，显示签单景气较优。产品端，1）暗场设备方面，公司是国内唯一能够实现面向最先进制程的暗场检测设备量产交付的企业，预计将出货头部客户开展产线验证；2）明场设备方面，公司已在多家先进逻辑、存储客户产线验证较长时间，随着国内头部客户扩产，明场设备收入有望进一步受益于国产替代趋势；3）新产品方面，基于X光的高深宽比刻蚀结构量测设备、硅通孔铜填充孔隙量测设备，目前均已完成头部客户产线验证；电子束关键尺寸量测设备三季度已出货到头部存储客户产线验证，同时正在进行多家头部逻辑、存储客户晶圆样片测试，数据积极。产能端，公司现有广州及深圳工厂年产能约1000台，上海张江基地投产后预计新增约1000台产能，未来2-3年产能场地充足，且产能可根据不同设备种类灵活调配，以支撑更高端设备研发及生产需求。
　　投资建议：公司高端系列产品持续放量，驱动盈利能力改善，我们预计公司2026-2028年归母净利润分别为1.41/6.21/9.93亿元，同增140%/342%/60%，对应EPS分别为0.40/1.76/2.82元/股，对应PE分别为534/121/76倍，维持“买入”评级。
　　风险提示：半导体资本开支不及预期、新产品验证及产业化不及预期、盈利改善不及预期、行业竞争加剧风险。

　　中科飞测发布2026年三季报，26Q1-3实现营收16.14亿元（yoy+34.31%），归母净利-0.95亿元，扣非归母净利-2.05亿元。公司3Q26实现营收6.73亿元（yoy+34.73%，qoq+23.50%），归母净利0.32亿元（yoy+783.70%，环比扭亏），扣非归母净利-0.13亿元（同环比亏损收窄）。受益于新产品导入及先进制程收入占比提升，毛利率改善，盈利能力逐步修复。明暗场设备产业化进展顺利，订单占比较高，头部客户持续突破，有望驱动后续收入增长。近日公司第2,000台集成电路质量控制设备正式出机并发往国内某知名集成电路制造商，充分彰显公司的产品、服务以及技术实力获得市场高度认可，展望未来，公司有望持续受益于先进制程和存储扩产，维持“买入”。
　　3Q26：先进制程收入占比提升，盈利能力逐步修复
　　公司26Q1-3实现营收16.14亿元（yoy+34.31%），Q3实现营收6.73亿元（yoy+34.73%，qoq+23.50%），主要受益于暗场检测、高深宽比刻蚀结构量测等新产品及先进制程收入贡献提升。Q3先进制程收入占比超80%，推动毛利率环比提升6.53pct至51.46%。Q3归母净利0.32亿元，环比扭亏；扣非归母净利-0.13亿元，同环比亏损收窄。费用端，公司持续加大前瞻性研发投入，Q3研发费用2.54亿元（yoy+63.93%），期间费用率57.67%，短期利润仍受高研发投入影响。展望后续，随着先进制程收入占比提升、新产品逐步放量及规模效应显现，费用率有望逐步下降，盈利能力持续改善。
　　新产品迭代升级加速，明暗场设备成为订单增长核心驱动力
　　公司明暗场检测、高深宽比刻蚀结构量测等新产品产业化进展顺利，第四代无图形检测、第三代套刻精度量测等产品持续迭代升级。截至26Q3末，明暗场设备在订单结构中占比较高。暗场在国内先进制程客户出货规模及覆盖度领先，根据公司公告，公司是国内最先进制程领域唯一具备量产交付能力的国产供应商，更先进制程产品已进入客户样片测试阶段。明场设备已在多家先进逻辑及存储客户产线长期验证，并取得头部客户批量重复订单。1-3Q前道制程订单占比约80%，其中存储客户占比显著提升，先进封装订单占比约15%，主要来自HBM、2.5D/3D封装。
　　公司提供“光学+电子束+X光”一站式良率管理解决方案
　　公司在全面覆盖光学技术的基础上，进一步拓展至电子束以及X光技术领域。公司能够为先进逻辑、先进存储以及HBM2.5D/3D封装等前沿领域客户提供一站式良率管理解决方案，十三大系列设备满足客户需求。电子束类设备领域，电子束关键尺寸量测设备Q3已出货头部存储客户验证，多家头部逻辑、存储客户的晶圆样片测试进展积极，有望进一步打开电子束量检测市场空间。X光类设备领域，高深宽比刻蚀结构量测设备、硅通孔铜填充空隙量测设备已通过国内头部存储客户产线验证。公司开发的三大系列智能软件已全部应用在国内头部客户，并不断提高在不同应用领域的覆盖度。
　　盈利预测与估值
　　考虑到Q4是设备公司确收旺季，我们维持公司26-28年收入30.8/49.4/76.3亿元,同比增长49.9%/60.5%/54.6%，公司持续加大研发，我们上调研发费用率假设，对应下修公司26-28年归母净利润95.3%/55.8%/8.0%至0.1/2.1/7.6亿元。近期板块估值回调，可比公司2027年Wind一致预期PS均值为9.9倍。量检测国产化率低且公司处于核心设备明暗场快速突破期，公司切入电子束领域扩张SAM，给予公司2027年23倍PS，目标价322.61元（目标价前值：420.79元，对应30倍2027年PS），维持“买入”。
　　风险提示：全球半导体下行周期，半导体需求不及预期，行业竞争加剧。

　　半导体量检测国产龙头，产品盈利能力优异。公司成立于2014年，围绕光学检测、大数据检测算法及自动化控制软件，为晶圆制造及先进封装提供质量控制设备，经十余年研发与客户验证，已形成十三大系列设备及三大系列软件产品组合，覆盖光学、电子束及X光技术路线，九大系列光学设备实现批量应用。新品产业化与产品迭代推动收入持续扩张：2021-2025年营收CAGR达54%，2025年实现营收20.5亿元，同增49%；26H1营收9.4亿元，同增34%，延续快速增长态势。2025年公司综合毛利率50%，产品盈利能力优异，后续随着业务规模扩张、研发投入趋稳，盈利有望快速放量。
　　AI扩产与工艺升级共同驱动，量检测设备需求快速放量，国产替代空间广阔。AI算力需求增长带动先进逻辑、存储及先进封装投入，大陆自主可控需求进一步支撑本土晶圆厂产能建设。同时，制程微缩、存储堆叠层数增加及封装结构复杂化，推动制造工序与关键控制点增多，单环节偏差更易通过多道工序累积影响最终良率，量检测设备配置强度及精度要求相应提升。2025年全球及中国大陆量检测市场规模分别约191/44.5亿美元，大陆市场KLA、应用材料及日立高新合计份额约79%，海外厂商仍占主导；随着国产设备性能提升及客户导入推进，本土厂商有望同步受益需求扩张与份额提升。
　　明场突破、暗场放量，高端量检测量产打开成长空间。公司已批量供货中芯国际、长江存储、长电科技、华天科技等前道制造与先进封装龙头，存量产品及客户积累为高端新品导入提供基础：2026H1，明场纳米图形晶圆缺陷检测设备在成熟制程实现批量销售，先进制程产品获得部分头部客户订单；暗场设备持续通过逻辑、存储及先进封装客户验证，已成为订单结构中贡献比重最大的产品。高深宽比刻蚀结构及硅通孔铜填充空隙量测设备已在国内头部存储客户产线实现应用，电子束关键尺寸等设备持续推进验证，产品覆盖范围有望进一步扩大。高端产品导入带动量价同步增长：2022-2025年公司量测及检测设备平均售价分别累计提升104%/31%，2025年销量分别增至145/222台，量价共同推动两类设备收入同增73%/39%。后续随着新品交付与客户验收稳步推进，高端产品占比有望进一步上行，带动ASP继续增长，推动整体盈利能力及经营规模持续提升。
　　对标KLA平台化路径，产品成熟与规模效应有望推动盈利释放。KLA通过持续产品拓展与专业并购，形成检测、量测、软件及服务协同的过程控制平台，2026财年毛利率及归母净利率分别达61%/36%。其早年（1993-1994年）营收规模与中科飞测接近，利润接近盈亏平衡线，后依托费率收缩、2100系列产品成熟逐步实现业绩放量。对标KLA的发展路径，中科飞测当前处于由单项设备突破向多品类、平台化过程控制延伸的阶段，后续随着新品验证导入通过，规模起量带动研发费率摊薄，盈利质量有望显著改善。
　　投资建议：我们预计公司2026-2028年归母净利润分别为1.41/6.21/9.92亿元，同增140%/341%/60%，对应EPS分别为0.40/1.76/2.82元/股，当前股价对应PE分别为866/196/123倍，国产替代与产品矩阵延伸有望共同打开中长期成长空间，首次覆盖给予“买入”评级。
　　风险提示：半导体资本开支不及预期、新产品验证及产业化不及预期、盈利改善不及预期、行业竞争加剧风险。

　　事项：
　　2026年8月26日，公司发布2026年半年度报告：
　　1）2026H1：营业收入9.41亿元，同比+34.01%；毛利率46.12%，同比-8.19pct；归母净利润-1.27亿元，上年同期为-0.18亿元；扣非归母净利润-1.92亿元，上年同期为-1.10亿元；
　　2）2026Q2：营业收入5.45亿元，同比/环比+33.57%/+37.62%；归母/扣非归母净利润-0.59/-0.76亿元，环比分别减亏0.09/0.40亿元。
　　评论：
　　Q2营收环比增长37.62%，规模效应推动扣非亏损收窄。Q2公司实现营收5.45亿元，同比+33.57%、环比+37.62%，收入延续快速增长；扣非归母净利润为-0.76亿元，亏损环比收窄34.91%，收入放量对期间费用的摊薄开始体现。Q2毛利率为44.92%，同比-6.67pct、环比-2.85pct，主要受到产品销售结构波动及新产品推广初期定价策略影响。公司继续保持较高研发投入，Q2研发费用同比+19.95%至1.98亿元，但研发费用率由Q1的46.26%降至36.33%，四项期间费用率由74.03%降至56.52%。
　　合同负债较年初+66%至9.40亿元续创新高，存货备货34亿元采购备货全面加速。26H1末合同负债9.40亿元，较年初5.65亿元增长66.34%，主要系业务规模增长，合同预收账款增加；存货34.01亿元，较年初+26.0%，预付款项较年初+91.8%，采购备货全面加速。我们认为三项指标或共振指向在手订单饱满、下半年收入确认有充足保障。海外拓展亦获突破性进展：无图形检测设备已实现对海外先进封装客户的销售并出货海外先进制程客户开展产线验证，图形晶圆检测设备已通过多家海外先进封装客户产线验证并实现批量销售。
　　明、暗场设备实现批量销售，行业景气上行强化成长确定性。H1公司面向成熟制程的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备已通过国内客户产线验证并实现批量销售，先进制程产品持续推进客户验证并取得部分订单；暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备已通过多家国内逻辑、存储及先进封装客户验证并实现批量销售，面向尖端制程的新一代样机亦已完成开发。行业层面，据SEMI预测，受AI基础设施投资加速及HBM相关投资拉动，2026年全球半导体设备市场规模同比增长超23%至1,659亿美元；据YOLE统计，中国大陆检测量测设备市场预计2026年增长35.9%至60.5亿美元，行业增速显著上修，公司作为国内全品类平台型龙头核心受益。
　　投资建议：下游晶圆厂积极扩产，量检测设备国产替代空间广阔，公司作为国内量检测设备领军厂商有望深度受益。我们调整公司2026-2028年营业收入预测为30.82/46.98/70.07亿元（前值为31.91/46.42/66.45亿元），考虑到公司新产品验证导入与海外市场拓展仍处高投入阶段，研发费用维持高强度增长,叠加新品放量初期收入结构变化致毛利率承压,将2026-2028年归母净利润预期调整为1.46/6.39/10.73亿元（前值为3.7/6.8/10.67亿元），维持“强推”评级。
　　风险提示：新产品研发不及预期；行业竞争加剧；国际贸易形势变化；下游晶圆厂扩产不及预期。

Skyverse’s 1H26 revenue/attributable net profit (NP)/recurring NP were RMB941/ -127/-192mn (+34.01/-594.32/-73.79% YoY). For 2Q26, revenue was RMB545mn (+33.57/+37.62% YoY/QoQ), with the attributable NP at RMB-59,475.7k. The 1H26 gross margin was 46.12% (-8.19pp YoY). As a core domestic supplier of metrology and inspection equipment, Skyverse’s product portfolio covers unpatterned/ patterned wafer defect inspection and metrology equipment, alongside three core software suites – yield management, automatic defect classification, and overlay analysis – enhancing customer stickiness via hardware-software integration. Looking ahead, we expect the company to continue benefiting from capacity expansion in advanced logic and memory nodes. Maintain BUY.
Equipment revenue recognition typically skews toward 2H while expenses are evenly spread; thus, we expect strong revenue growth and a turn to profitability in 2H26. Given rapid product adoption, we adjust our 2026/2027/2028 revenue forecasts by 0.00/+10.36/+17.41% to RMB3,078/4,938/7,633mn. Reflecting gross margin fluctuations, we lower our gross margin assumptions by 2.15/1.15/1.05pp, revising down our attributable NP forecasts by 36.25/31.28/25.40% to RMB254/484/823mn. Considering low localization rates in metrology/inspection and entry into e-beam/X-ray markets, we are bullish on growth potential and assign 30x 2027E PS, above its peers’ average of 15.8x on Wind consensus, for our target price of RMB420.79 (previous: RMB210.96 based on 24x 2026E PS). Maintain BUY.

　　事件概述
　　公司发布2026年三季报。
　　暗场等新品加速放量，新签订单同比高增
　　2026Q1-3公司实现收入16.41亿元，同比+34.31%；其中Q3收入6.73亿元，同比+34.73%。公司无图形、套刻精度量测等现有产品持续迭代升级并放量，是主要收入构成；明暗场、高深宽比刻蚀量测等新品收入加速放量，推动营收延续较快增势。随着Q4订单加速确认，我们预计26年有望回到更高增长势头。此外，截至26Q3末，公司存货/合同负债为42.89/14.30亿元，同比+69.11%/+151.70%，可以推测出公司新接订单同比大幅提升，尤其明暗场等设备新品开始放量，在新接订单占比提升明显。
　　先进制程拉升毛利率，Q3盈利水平同环比显著改善
　　2026Q3公司归母净利润/扣非归母净利润3231/-1350万元，同比+783.70%/+54.43%；销售净利率/扣非净利率为4.80%/-2.01%，同比+4.07/+3.92pct，高研发投入下仍然实现盈利水平同环比显著提升。具体来看：1）毛利端：2026Q3公司毛利率51.46%，同比+2.76pct，毛利同环比改善主要受益规模效应释放，以及先进制程收入占比提升。2）费用端：2026Q3公司期间费用率为57.68%，同比+9.13pct；其中公司研发费用2.54亿元，同比+63.93%，研发费用率同比+6.71pct，是公司扣非仍亏损的主要原因；公司研发团队继续扩充，相关研发投入随之增长，加快新产品和现有产品向更前沿工艺迭代升级。随着营收端快速兑现，后续盈利水平有望修复。
　　量/检测设备实现全面覆盖，明暗场设备实现批量销售
　　公司形成“光学+电子束+X光”一站式方案能力，13大产品系列量检测领域覆盖度70%+，并持续加大研发力度迭代升级。1）公司11大系列设备已批量量产并在国内头部客户产线应用，市占率快速提升，其中明场设备成熟制程已经实现批量销售，先进制程取得部分订单；暗场实现批量销售，出货机台数量以及客户订单量持续快速增长。此外，电子束（CD-SEM）、晶圆平整度量测设备已出货至头部客户开展验证。2）公司出海同样实现积极进展，无图形、图形检测、三维形貌量测、膜厚量测设备已实现海外先进封装客户销售，无图形、膜厚量测出货至海外先进制程客户开展验证。
　　投资建议
　　我们维持2026-2028年公司营收预测为30.73、44.05、61.67亿元，分别同比+50%、+43%、+40%；归母净利润预测为2.37、7.10、10.90亿元，分别同比+305%、+199%、+54%，EPS预测为0.67、2.02、3.10元。2026/10/29日股价228.27元对应PE分别为338、113、73倍，维持“增持”评级。
　　风险提示
　　扩产不及预期、新品研发不及预期、行业竞争加剧等。

　　中科飞测专注于高端半导体质量控制领域，十三大系列设备和三大系列软件产品组合构成了全方位的良率管理解决方案，明场设备等高端产品加速突破，先进制程收入占比显著提升，业绩有望保持高速增长。
　　26H1公司实现营收9.41亿元，同比增长34.01%，同比增速放缓主要受正常季节性波动以及客户验收、收入确认节奏影响；归母净利润-1.27亿元，亏损幅度同比有所扩大主要原因为1）研发及销售相关费用同比较大幅度增长；2）毛利率受产品结构阶段性影响降至46.12%。随着规模效应逐步显现，下半年利润有望环比改善。
　　产品结构方面，新产品暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备自2025年末以来，持续通过多家国内头部逻辑、存储以及先进封装客户验证并实现销售，成为26H1订单结构中占比最大的产品；面向先进制程的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备获得头部客户的部分订单。客户结构方面，受2025年HBM、2.5D/3D封装订单集中确认收入影响，26H1先进封装收入占比阶段性超35%；订单方面，26H1前道制程在订单结构中占比超80%，其中存储占比显著提升，全年前道制程的收入占比预计逐步回升至正常水平。工艺节点方面，26H1先进制程收入占比约60%，在订单结构中占比超80%，未来先进制程的收入贡献有望进一步增长。
　　公司目前十三大系列设备全面覆盖国内最先进制程客户产线以及HBM、2.5D/3D封装的扩产需求，并在全面推进面向国内更先进制程工艺的研发与产业化过程中取得重大突破。1）在国内最先进制程领域，十三大系列设备已出货国内头部客户产线验证。其中公司在暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备、无图形晶圆缺陷检测设备、套刻精度量测设备、金属膜厚量测设备、高深宽比铜填充空隙量测设备等多款设备是目前在国内先进制程领域唯一具备量产交付能力的国产供应商；2）面向国内下一代先进工艺节点，十一大系列设备已经推出研发样机，其中无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、介质/金属膜厚量测设备等五大系列设备已通过国内头部客户验证并实现销售；套刻精度量测设备、光学关键尺寸量测设备、晶圆平整度量测设备、高深宽比刻蚀结构量测设备、硅通孔铜填充空隙量测设备等五大系列设备已经出货客户产线验证；暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备目前在场内测试中，预计将尽快出货至客户产线验证。此外，三大系列智能软件已全部应用在国内头部客户，并不断提高在不同应用领域的覆盖度，结合质量控制设备产品组合，使得客户能够准确测量并且集中管理和分析芯片制造过程中产生的所有检测、量测、电性测试等良率相关数据，有效地提升半导体制造良率和产品性能。
　　投资建议：中科飞测是国产半导体量检测设备龙头，明场设备等高端产品加速突破，先进制程收入占比显著提升。预计2026-2028年营收分别为28.49/45.27/68.14亿元，归母净利润分别为1.55/6.26/10.09亿元。首次覆盖，给予“推荐”评级。
　　风险提示：下游终端市场需求不及预期风险，新技术、新工艺、新产品无法如期产业化风险，市场竞争加剧风险，系统性风险等。

　　事项：
　　公司公布2026年半年报，2026年上半年公司实现营收9.41亿元（34.01%YoY），归属上市公司股东净利润-1.27亿元（-594.32%YoY）。
　　平安观点：
　　研发投入和市场投入上持续加大，提供全面覆盖的检测和量测设备供应保障：2026年上半年公司实现营收9.41亿元（34.01%YoY），归属上市公司股东净利润-1.27亿元（-594.32%YoY）。2026年上半年公司毛利率和净利率分别是46.12%（2025H1为54.31%）和-13.54%（2025H1为-2.61%）。2026上半年为支撑公司长期可持续高质量发展、持续攻坚关键核心技术以及进一步发掘客户需求，公司在研发投入和市场投入上持续加大，整体人员数量持续扩充，所产生的支出抵消了本期业绩增长带来的影响。同时，受公司产品销售结构波动以及新产品推广初期定价策略的影响，导致26上半年内综合毛利率同比下降，影响了公司的短期盈利水平。在设备产品方面，公司凭借过往在光学检测技术、大数据检测算法和自动化软件领域的自主研发和不断创新，在多项半导体质量控制设备关键核心技术上达到国际领先水平，形成了集成电路制造过程中所有关键工艺环节所需的主要种类设备产品组合，使得公司能够为不同类型的集成电路客户提供全面覆盖的检测和量测设备供应保障，支持客户的量产工艺需求和未来工艺研发需求。
　　国内半导体质量控制设备领域的先行者，稳步推进各系列设备产业化进程：作为国内半导体质量控制设备领域的先行者，公司能够为半导体行业客户提供涵盖三大核心技术路线的十三大系列设备产品、智能软件产品和相关服务的全流程良率管理解决方案。其中明场及暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备等十一大系列设备已经批量量产并在国内头部客户产线应用，技术指标全面满足国内主流客户工艺需求，市占率稳步快速增长；晶圆平整度量测设备已出货国内头部HBM客户开展产线工艺验证和应用开发；电子束关键尺寸量测设备已完成样机研发，正在进行客户样片的工艺验证和应用开发中。软件产品方面，三大系列智能软件已全部应用在国内头部客户，并不断提高在不同应用领域的覆盖度，结合质量控制设备产品组合，使得客户能够准确测量并且集中管理和分析芯片制造过程中产生的所有检测、量测等良率相关数据，有效地提升半导体制造良率和产品性能公司坚持自主研发和自主创新原则，将核心技术能力的持续提升作为自身发展的重要战略。2026年1-6月公司研发投入达38,117.78万元，较2025年1-6月同比增长33.55%。2026上半年公司在持续保持高水平的研发投入进一步巩固和提升公司核心技术实力的同时，继续发挥公司在销售和客户服务的竞争优势，为客户提供全方位的产品和服务解决方案，同时紧跟客户的关键工艺技术创新所带来的检测和量测需求，进一步提高产品的先进性，加深与客户合作的紧密度和深度。
　　投资建议：2025年全球半导体设备销售额达到1,347亿美元。得益于AI基础设施投资的加速，以及支持更高计算密度、HBM相关投资和日益复杂的器件架构所需的前沿逻辑、先进存储和先进封装投资的增加，SEMI预测2026年全球半导体设备市场规模同比增长超过23%，达到1659亿美元，并预计在2027年、2028年继续攀升至2012亿美元和2295亿美元。基于公司财报及订单交付节奏，我们调整公司26/27年盈利预测，新增28年盈利预测，预计2026-2028年公司实现归母净利润1.98亿元、6.46亿元、10.05亿元（26/27年原值为2.50亿元、3.98亿元），对应当前股价的市盈率分别为644倍、198倍、127倍。在设备产品方面，公司凭借过往在光学检测技术、大数据检测算法和自动化软件领域的自主研发和不断创新，在多项半导体质量控制设备关键核心技术上达到国际领先水平，形成了集成电路制造过程中所有关键工艺环节所需的主要种类设备产品组合，维持公司“推荐”评级。
　　风险提示：1）下游需求可能不及预期：若整体宏观经济及半导体行业持续波动、产业政策发生不利变化，公司产品涉及的下游应用需求下降，可能对公司的销售收入和经营业绩产生不利影响。2）市场竞争加剧的风险：如果未来公司技术迭代创新和产品升级换代未达到预期，难以满足市场需求的最新变化，可能会使得公司在市场竞争中处于不利地位，逐渐丧失市场竞争力，对公司未来业务发展造成不利影响。3）技术迭代的风险：公司所处的集成电路设计行业具有技术密集型的特征，市场需求的不断升级、产品技术的持续迭代是行业的发展重要规律。如果未来公司技术迭代创新和产品升级换代未达到预期，难以满足市场需求的最新变化，可能会使得公司在市场竞争中处于不利地位，逐渐丧失市场竞争力，对公司未来业务发展造成不利影响。

　　投资要点
　　检测业务高速增长，盈利能力阶段性承压：2026H1公司营业收入为9.41亿元，同比+34.0%，主要系公司在突破核心技术、推进产业化和迭代升级各系列产品的过程中取得重要成果，其中检测设备收入6.41亿元，同比+50.5%，占比68.2%，量测设备收入2.66亿元，同比+3.9%，占比28.2%，服务及其他收入0.33亿元，同比+65.5%，占比3.6%；归母净利润为-1.27亿元，同比亏损扩大，主要系公司研发投入和市场投入持续加大、人员数量持续扩充、产品销售结构波动以及新产品推广导致综合毛利率同比下降；扣非归母净利润为-1.92亿元，同比亏损扩大。Q2单季营业收入5.45亿元，同比+33.6%，环比+37.6%；归母净利润-0.59亿元，同比亏损扩大，环比减亏；扣非归母净利润-0.76亿元，同比亏损扩大，环比减亏。
　　毛利率同比回落，费用管控整体稳定：2026H1，公司毛利率46.1%，同比-8.2pct，其中检测设备毛利率48.0%，同比-14.2pct，量测设备毛利率39.1%，同比-2.1pct，服务及其他毛利率66.9%，同比+13.9pct；销售净利率为-13.5%，同比-10.9pct；期间费用率为63.9%，同比-0.4pct，其中销售费用率为10.0%，同比+1.5pct，管理费用率为12.9%，同比-0.4pct，研发费用率40.5%，同比-0.1pct，财务费用率为0.5%，同比-1.3pct。Q2单季度毛利率为44.9%，同比-6.7pct，环比-2.9pct；销售净利率-10.9%，同比-10.1pct，环比+6.3pct。
　　合同负债与存货高增，经营现金流同比改善：截至2026H1，公司合同负债为9.40亿元，同比+54.8%，主要系本期业务规模增长，合同预收账款增加；存货为34.0亿元，同比+49.8%。2026H1，公司经营活动净现金流为-1.90亿元，同比净流出收窄，主要系公司加大合同收款力度，经营性现金流入同比增幅高于现金流出增幅，其中2026Q2经营活动净现金流为-1.70亿元，同比净流出收窄，环比净流出加大。2026H1，公司研发投入3.81亿元，同比+33.6%，研发投入占比40.5%，同比-0.1pct。
　　检测量测设备多点突破，先进制程与海外市场加速拓展：公司已形成“光学+电子束+X光”三大技术路线，覆盖先进逻辑、先进存储及HBM/2.5D/3D先进封装等前沿领域，2026H1多款新品进入批量销售或头部客户验证阶段。（1）检测设备：①成熟产品加速海外突破：无图形晶圆缺陷检测设备已实现海外先进封装客户销售，并出货海外先进制程客户验证；图形晶圆缺陷检测设备已通过多家海外先进封装客户验证并实现批量销售。②纳米图形检测持续向先进制程突破：明场设备成熟制程产品已实现批量销售，先进制程产品在国内头部逻辑、存储客户验证顺利并获得部分订单；暗场设备已在国内头部逻辑、存储及先进封装客户实现批量销售，出货及订单快速增长。（2）量测设备：①光学量测加速放量及海外拓展：三维形貌量测设备已通过多家海外先进封装客户验证并实现批量销售，膜厚量测设备实现海外先进封装客户销售并进入海外先进制程客户验证；第二代光学关键尺寸量测设备实现小批量出货。②电子束/X光新品打开先进制程与HBM增量：电子束关键尺寸量测设备完成样机研发并推进头部客户验证；高深宽比刻蚀结构量测及硅通孔铜填充空隙量测设备已通过国内头部存储客户产线验证。（3）良率管理软件：三大系列智能软件已全部应用于国内头部客户，与检测、量测设备协同形成全流程良率管理闭环。
　　盈利预测与投资评级：考虑到产品放量仍需一定周期，我们下调公司2026年归母净利润为2.4（原值3.7），上调公司2027/2028年归母净利润为7.0（原值6.9）/10.8（原值10.4）亿元，当前市值对应2026-2028年动态PE分别为533/182/119X，维持“增持”评级。
　　风险提示：下游需求波动风险、市场竞争加剧风险。

　　事件概述
　　公司发布2026年中报。
　　暗场等新品快速放量，合同负债大幅提升
　　2026H1公司实现收入9.41亿元，同比+34.01%；其中Q2收入5.45亿元，同比+33.57%，延续较快增势。分产品来看，我们推测无图形、图形晶圆缺陷检测设备仍是主要收入构成，暗场等新品收入快速放量，是公司营收增长重要驱动力。截至26Q2末，公司存货/合同负债为34.01/9.40亿元，同比+49.84%/+54.80%，合同负债持续创历史新高，公司无图形/图形检测等原有优势产品市占率持续提升，暗场等新品加速放量，明场/X光通过验证，此外出海实现积极进展，我们预计26H1新签订单同比快速增长，后续营收端增长有望提速。
　　产品结构影响26Q2毛利率，盈利水平短期承压
　　2026H1公司归母净利润/扣非归母净利润-1.27/-1.92亿元，亏损同比扩大594%/74%；26Q2归母净利润/扣非归母净利润-5948/-7560万元，亏损同比扩大1652%/13%。26H1销售净利率/扣非净利率为-13.54%/-20.38%，同比-10.93/-4.66pct。具体来看：1）毛利端：2026H1公司毛利率46.12%，同比-8.19pct，推测主受公司产品销售结构波动以及新产品推广初期定价策略的影响。2）费用端：2026H1公司期间费用率为63.89%，同比-0.38pct，其中销售/管理/研发/财务费用率同比+1.46/-0.41/-0.1/-1.29pct，其中Q2期间费用率同比-5.41pct，规模效应快速释放，26H1公司研发投入3.8亿元，研发费用率高达40.51%，是公司亏损的主要原因，后续随着收入规模快速提升，盈利水平有望修复。
　　量/检测设备产品覆盖度持续完善，明暗场设备实现批量销售
　　公司形成“光学+电子束+X光”一站式方案能力，产品覆盖度及深度全面提升（13大产品系列），目前布局占量检测设备市场空间超过70%。1）公司11大系列设备已批量量产并在国内头部客户产线应用，市占率快速提升，其中明场设备成熟制程已经实现批量销售，先进制程取得部分订单；暗场实现批量销售，出货机台数量以及客户订单量持续快速增长。此外，电子束CD-SEM客户样片验证中，晶圆平整度量测设备已出货至头部HBM客户开展验证。2）公司出海同样实现积极进展，无图形、图形检测、三维形貌量测、膜厚量测设备已实现海外先进封装客户销售，无图形、膜厚量测出货至海外先进制程客户开展验证。
　　投资建议
　　我们维持2026-2028年公司营收预测为30.73、44.05、61.67亿元，分别同比+50%、+43%、+40%；考虑公司研发投入加大，我们调整归母净利润预测为2.37、7.10、10.90亿元（原值为3.79、7.09、10.87亿元），分别同比+305%、+199%、+54%，EPS预测为0.67、2.02、3.10元（原值为1.08、2.03、3.11元）。2026/8/25日股价338.99元对应PE分别为503、168、110倍，维持“增持”评级。
　　风险提示
　　扩产不及预期、新品研发不及预期、行业竞争加剧等。