事项：
　　公司发布2025年第三季度报告：
　　1）2025Q1-Q3：公司实现营业收入11.03亿元，同比+42.81%；毛利率33.27%，同比+1.12pct;归母/扣非归母净利润1.29/1.10亿元，同比-0.99%/+7.15%；
　　2）2025Q3：公司实现营业收入3.68亿元，同比/环比+37.96%/-7.17%；毛利率32.90%，同比/环比-2.52pct/-2.33pct；归母/扣非归母净利润0.39/0.35亿元。
　　评论：
　　2025Q3收入同比高速增长，持续高研发投入影响短期利润。受益于下游半导体设备市场需求旺盛及公司产品竞争优势，公司收入实现高速增长。2025Q3公司营业收入同比+37.96%至3.68亿元。利润方面，公司持续加大研发投入，2025Q3研发费用同比增长60.99%，叠加资产减值损失增加，短期利润承压。订单方面，公司新签订单饱满，2025Q3末合同负债环比增长0.07亿元至9.51亿元，为未来业绩增长提供保障，同时为应对订单交付，存货相应环比增加1.9亿元至23.49亿元。展望未来，随着在手订单的逐步交付以及新产品的持续放量，公司业绩有望保持增长态势，利润有望逐渐修复。
　　下游晶圆厂扩产叠加国产化进程加速，带动半导体专用设备市场快速发展。公司作为国内少数实现半导体专用温控和工艺废气处理设备规模化应用的厂商，已进入长江存储、中芯国际、华虹、长鑫等国内主流集成电路制造产线。分产品看，公司半导体专用温控设备可用于90-14nm逻辑芯片以及64-192层3D
　　NAND等存储芯片制造中若干关键步骤的大规模量产；半导体专用工艺废气处理设备主要用于90-28nm逻辑芯片以及64-192层3DNAND等存储芯片制造中若干关键步骤的大规模量产；晶圆传片设备主要用于90nm到28nm逻辑芯片制造中若干关键步骤的大规模量产，有望深度受益于下游扩产及国产化。
　　公司专注关键核心技术攻关，多元化产品结构助力长远发展。公司高度重视研发创新，2025年前三季度研发投入达1.12亿元，同比增长61.60%。分产品看，公司在半导体专用温控设备领域技术持续突破，超低温技术已实现-120℃的温控能力，满足先进制程更高要求；半导体专用工艺废气处理设备在处理容量、进气口数量等多方面进行了机型扩展；晶圆传片设备的晶圆传控、翻片等功能是基于自主研发的底层特性，能够通过调整底层特性快速响应客户的定制化需求，未来多款产品份额有望持续提升，公司业绩有望持续增长。
　　投资建议：公司在持续迭代升级现有温控、废气处理设备的同时积极布局晶圆传片设备、零部件。考虑到公司尚处于高研发投入阶段，我们对公司2025-2027年的归母净利润预测为1.77/3.08/4.46亿元，对应EPS为1.05/1.83/2.66元。考虑到公司在半导体专用温控/废气处理设备领域龙头地位显著，在可比公司估值水平上给予一定溢价，给予公司2026年60倍PE，对应目标价为109.9元，维持“强推”评级。
　　风险提示：国际贸易形势变化；晶圆厂扩产不及预期；技术升级迭代不及预期。

　　事件概述
　　公司发布2025年报。
　　Chiller放量&后市场高增，2025年营收保持快速增长
　　2025年公司实现营收14.26亿元，同比+38.95%，其中Q4为3.23亿元，同比+27.19%，符合预期。分产品看：1）Chiller：实现收入9.37亿元，同比+49%，作为核心产品保持快速增长，并向先进超低温突破；2）L/S：实现收入3.48亿元，同比+7.6%，有所降速；3）Sorter：实现收入0.36亿元，同比+45%，快速导入，市场份额提升；4）零配件及服务：实现收入1.05亿元，同比+110%，推测系存量设备增长。截至2025年末，公司存货/合同负债为23.95/13.51亿元，同比+20%/+83%，我们推测系2025年公司新接订单再创新高，在手订单充足，随着加快确认，收入端有望持续高增。
　　毛利率/费用率稳定，增值税事项大幅影响利润表现
　　2025年公司归母净利润/扣非归母净利润为1.48/1.15亿元，同比-3.26%/-0.47%；其中Q4为0.19/0.05亿元，同比-16.02%/-59.64%，符合快报指引。2025年公司销售净利率/扣非净利率为10.37%/8.08%，同比-4.53pct/-3.20pct，具体看：1）毛利率：2025年为32.64%，同比持平，其中Chiller/L&S为36.37%/26.73%，同比+0.45pct/-2.62pct；2）费用端：公司期间费用率为20.94%，同比持平，其中销售/管理/研发/财务费用率分别同比-0.18/-0.98/+0.80/+0.64pct，规模效应有所体现，但持续加大研发投入；3）其他收益相较2024年大幅减少4400万元，主要是增值税即征即退减少，构成影响利润主要因素。
　　显著受益先进存储+逻辑扩产，真空泵新品再造主业
　　1）不同于传统工艺制程设备，公司Chiller、L/S打破海外厂商垄断，公司Ciller在国内头部先进逻辑/存储客户接近独供，先进制程敞口最大标的之一，我们预计2025年存储订单占比较高；此外，Chiller、L/S是先进制程扩产价值量提升最明显赛道，深度受益先进制程扩产，辅助设备后于主设备招标，后续有望不断落地；2）根据年报披露，真空泵项目预计投入0.95亿元，技术水平达国际先进，参考中科仪25年研发费用约1.1亿元。公司真空泵完全自主研发，面向刻蚀、薄膜和扩散工艺，应用于逻辑和存储芯片制造。
　　投资建议
　　考虑研发投入等加大，我们调整2026-2027年公司营收预测为20.22和28.75亿元（原值为20.68和28.57亿元），分别同比+42%、+42%，同时新增2028年营收预测为39.97亿元，同比+39%；调整2026-2027年归母净利润预测为2.88和4.36亿元（原值为3.35和5.17亿元），分别同比+95%、+50%，同时新增2028年归母净利润预测为6.61亿元，同比+52%；对应2026-2027年EPS预测为1.72和2.60元（原值为1.99和3.08元），新增2028年EPS预测为3.93元。2026/3/30日股价104.2元对应PE分别为61、40和27倍，维持“增持”评级。
　　风险提示
　　下游扩产不及预期、新品研发不及预期等。

　　事件概述
　　公司发布2025年三季报。
　　25Q3营收同比高增，在手订单创历史新高
　　2025Q1-3公司实现营收11.03亿元，同比+42.81%，其中Q3实现营收3.68亿元，同比+37.96%，持续高速增长，符合市场预期，主要系国内设备需求旺盛及公司产品竞争优势明显，Chiller（半导体专用温控设备）和L/S（半导体专用工艺废气处理设备）快速放量，其中Chiller作为公司核心产品保持快速增长，市占率国内第一，已适配国内14nm逻辑产线以及192层3DNAND，并向先进超低温温控突破。截至25Q3末，公司存货/合同负债为23.49/9.51亿元，同比+38%/+55%，在手订单充足，创历史新高，随着确认节奏加快，看好公司收入端持续快速增长。
　　研发投入加大，Q3利润端短期承压
　　2025Q1-3公司归母净利润/扣非归母净利润为1.29/1.10亿元，同比-0.99%/+7.15%，其中Q3为0.39/0.35亿元，同比-23.03%/-19.30%。2025Q1-3公司销售净利率/扣非净利率为11.65%/9.96%，同比-5.15/-3.32pct，其中Q3为10.45%/9.41%，同比-8.28/-6.68pct，Q3盈利水平短期承压：1）毛利端：2025Q3公司整体毛利率为32.90%，同比-2.52pct，推测受短期收入结构波动影响；2）费用端：2025Q3公司期间费用率为21.75%，同比+2.65pct，其中销售/管理/财务/研发费用率分别同比+0.72/-0.12/+0.49/+1.55pct，其中研发费用率提升明显，Q3研发费用同比+61%，持续加大研发投入力度，推测与真空泵新品布局研发有关，短期一定程度影响盈利端表现。
　　存储订单敞口超过60%，真空泵新品将打开成长空间
　　1）25Q3海力士业绩创历史新高，全球存储超级周期已经确立，长存三期成立、长鑫IPO等催化不断，我们判断2025年中国大陆存储扩产有望实现翻倍高增，存储敞口是投资设备选股重要考量因素之一。2）不同于传统工艺制程设备，公司Chiller、L/S完全平替海外设备，公司Chiller在国内头部先进逻辑/存储客户接近独供，根据2025H1公司新接订单，我们推测存储订单敞口超过60%；同时Chiller等随着先进制程节点提升，是价值量提升最明显的细分赛道。3）半导体真空泵国内市场超过百亿元，爱德华等海外龙头占据主要份额，国产化率较低，公司布局爪式真空泵，目前相关产品研发进展顺利，将进一步打开公司成长空间。
　　投资建议
　　考虑到公司研发投入加大，我们调整2025-2027年公司营收预测为15.00、20.68、28.57亿元（原值为15.00、19.74、26.02亿元），分别同比+46.1%、+37.9%、+38.1%；归母净利润预测为2.04、3.35、5.17亿元（原值为2.66、3.80、5.21亿元），分别同比+33.2%、+64.4%、+54.5%；对应EPS为1.21、1.99、3.08元（原值为1.58、2.26、3.10元）。2025/10/29日股价94.35元对应PE分别为77.85、47.34、30.65倍，维持“增持”评级。
　　风险提示
　　下游扩产不及预期，新品突破不及预期等。