（一）营业收入构成分析　　1、营业收入构成　　报告期内，公司的营业收入分别为34,879.78万元、50,137.21万元、66,372.32万元和43,010.94万元。　　公司主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售，公司产品主要应用于集成电路行业。报告期内，公司主营业务收入占营业收入的比重分别为100.00%、100.00%、98.34%和100.00%，主营业务突出。2022年，公司其他业务收入为偶发性的管路安装相关收入。　　2、营业收入整体变动分析　　报告期内，公司营业收入呈持续快速增长趋势，2020年至2022年年均复合增长率达37.95%。报告期内，公司收入规模快速增长主要... 查看全部▼

　　（一）营业收入构成分析
　　1、营业收入构成
　　报告期内，公司的营业收入分别为34,879.78万元、50,137.21万元、66,372.32万元和43,010.94万元。
　　公司主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售，公司产品主要应用于集成电路行业。报告期内，公司主营业务收入占营业收入的比重分别为100.00%、100.00%、98.34%和100.00%，主营业务突出。2022年，公司其他业务收入为偶发性的管路安装相关收入。
　　2、营业收入整体变动分析
　　报告期内，公司营业收入呈持续快速增长趋势，2020年至2022年年均复合增长率达37.95%。报告期内，公司收入规模快速增长主要有以下方面原因：
　　（1）中国半导体行业迅速发展，行业资本开支大幅增长，为公司发展提供了良好的产业环境
　　依托庞大的终端应用市场需求和产业政策环境，中国半导体行业实现了持续快速发展，行业资本开支大幅增长，带动半导体设备需求快速增长。根据SEMI统计，2021年中国大陆半导体设备销售规模达296亿美元，同比增长58%，中国大陆已成为全球最大的半导体设备市场。同时，国内半导体企业为保障产线的安全稳定，逐步加大了国产设备的采购比重，亦为公司发展提供了良好的发展机遇。
　　（2）公司掌握关键核心技术，技术水平国内领先、国际先进
　　公司一直专注于半导体专用设备领域，通过多年的技术研发，公司在主要产品领域自主研发掌握了关键核心技术，为集成电路制造环节提供了稳定、高效的专用设备。截至2023年8月31日，公司已获专利224项，其中发明专利83项。公司半导体专用温控设备产品温控范围、温控精度和冷却能力等关键技术指标均达到国内领先、国际先进水平，公司半导体专用工艺废气处理设备产品的工艺废气处理量及处理效率等关键技术指标均达到国内领先、国际先进水平。
　　（3）持续研发能力是公司收入增长的内在动力
　　公司自成立以来以市场需求和技术创新驱动公司发展，通过不断扩大专业团队规模、引入高端人才，强化公司研发能力。公司主要产品不断迭代，设备工艺性能不断提升，有效满足集成电路制造先进制程的产品和技术需求。
　　（4）优质的客户群体及良好的品牌形象，助力公司持续良性发展
　　公司产品已广泛应用于长江存储、中芯国际、华虹集团、大连英特尔、广州粤芯、长鑫科技等国内主流集成电路制造企业的先进制程生产线，市场认可度较高，市场口碑不断提升，优质的客户群体及良好的品牌形象有力推动公司经营业绩不断增长。
　　3、主营业务收入分产品分析
　　公司主营业务收入按产品构成主要分为三种类型，包括半导体专用设备、零配件及支持性设备以及服务。
　　报告期各期，公司的主营业务收入分别为34,879.78万元、50,137.21万元、65,267.27万元和43,010.94万元，主营业务收入逐年快速增长。
　　（1）半导体专用设备
　　公司主营业务收入主要来自半导体专用设备的销售。报告期各期，公司半导体专用设备业务收入分别为30,026.66万元、43,505.85万元、56,281.34万元和40,983.91万元，占主营业务收入的比例分别为86.09%、86.77%、86.23%和95.29%，为公司经营业绩的主要来源。公司半导体专用设备主要包括半导体专用温控设备、半导体专用工艺废气处理设备、晶圆传片设备等自动化设备，报告期内，公司半导体专用设备收入主要来源于半导体专用温控设备及半导体专用工艺废气处理设备，两类设备合计收入分别为29,664.06万元、43,422.25万元、54,359.07万元和40,983.91万元，占公司半导体专用设备收入的比例分别为98.79%、99.81%、96.59%和100.00%。
　　1）半导体专用温控设备
　　公司是目前国内唯一一家实现半导体专用温控设备规模装机应用的设备制造商，公司产品主要用于90nm到14nm逻辑芯片以及64层到192层3DNAND等存储芯片制造中若干关键步骤的大规模量产。报告期各期，公司半导体专用温控设备销量分别为993台、1,234台、1,525台和1,289台，对应销售收入分别为19,181.41万元、25,008.91万元、31,675.20万元和28,890.78万元，2021年度及2022年度收入增幅分别为30.38%和26.66%。
　　报告期内，公司半导体专用温控设备产品技术不断迭代，控制方式不断优化，节能性不断增强，公司产品可良好匹配泛林半导体、东京电子、应用材料、中微公司、北方华创等主流厂商的半导体制造前道设备，温控通道覆盖单通道、双通道和三通道。公司产品性能不断提升，并于2021年起推出新一代产品，产品性能迈上全新台阶，客户认可度不断提升，带动半导体专用温控设备产品销售收入持续增长。
　　2）半导体专用工艺废气处理设备
　　公司是目前国内极少数实现半导体专用工艺废气处理设备规模装机应用的设备制造商，公司产品主要用于90nm到28nm逻辑芯片以及64层到192层3DNAND等存储芯片制造中若干关键步骤的大规模量产。报告期各期，公司半导体专用工艺废气处理设备销量分别为200台、312台、410台和228台，对应销售收入分别为10,482.65万元、18,413.34万元、22,683.86万元和12,093.13万元，2021年度及2022年度收入增幅分别为75.66%和23.19%。
　　报告期内，公司半导体专用工艺废气处理设备产品技术不断迭代，工艺废气处理能力和处理效率不断提升，安全性不断增强。公司燃烧水洗式产品国内市场占有率持续提升，等离子水洗式产品实现规模化商用，带动半导体专用工艺废气处理设备产品销售收入持续增长。
　　（2）零配件及支持性设备
　　报告期内，公司零配件及支持性设备产品主要为集成电路制造厂商所需的专用设备零部件、配套材料及支持性设备等。公司在半导体专用设备行业深耕多年，客户覆盖境内主流集成电路制造商，为满足客户零配件及支持性设备需求，除半导体专用设备外，公司为主要客户提供零配件及支持性设备产品。随着半导体专用设备销量增加，零配件及支持性设备销售收入整体呈增长趋势，报告期各期分别为3,626.84万元、5,007.79万元、6,988.35万元和1,477.89万元，占主营业务收入的比例分别为10.40%、9.99%、10.71%和3.44%。
　　4、主要产品销量及销售价格分析
　　报告期内，公司半导体专用温控设备产品销售收入稳步增长，收入增长主要源于产品销售数量的持续增长。报告期各期，半导体专用温控设备产品单价小幅度波动，主要系产品细分型号销量变化导致。
　　报告期内，公司半导体专用工艺废气处理设备产品销售收入稳步增长，收入增长主要源于产品销售数量的持续增长。报告期各期，半导体专用工艺废气处理设备产品单价波动主要系产品细分型号销量变化导致。2020年度和2021年度，半导体专用工艺废气处理设备产品单价分别为52.41万元/台和59.02万元/台，增幅分别为30.02%和12.60%，主要系型号较老、单价较低的单腔燃烧水洗式产品逐渐停止销售，单价较高的产品销量持续增加导致。2022年度，半导体专用工艺废气处理设备单价为55.33万元/台，较2021年度下降6.25%，主要系单价较低的等离子水洗式产品销量占比增加导致。
　　5、主营业务收入地区分布
　　报告期内，公司收入以内销收入为主。
　　6、主营业务收入季节性分析
　　报告期内，公司的主营业务收入不存在明显的季节性波动，2020年度第三季度和第四季度收入占比较高，主要系当年部分主要客户集中在上半年采购并于下半年验收导致。 收起▲

　　（一）营业收入分析
　　1、营业收入构成
　　报告期内，公司的营业收入分别为34,879.78万元、50,137.21万元和66,372.32万元。
　　公司主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售，公司产品主要应用于集成电路行业。报告期内，公司主营业务收入占营业收入的比重分别为100.00%、100.00%和98.34%，主营业务突出。2022年，公司其他业务收入为偶发性的管路安装相关收入。
　　2、营业收入整体变动分析
　　报告期内，公司营业收入呈持续快速增长趋势，2020年至2022年年均复合增长率达37.95%。报告期内，公司收入规模快速增长主要有以下方面原因：
　　（1）中国半... 查看全部▼

　　（一）营业收入分析
　　1、营业收入构成
　　报告期内，公司的营业收入分别为34,879.78万元、50,137.21万元和66,372.32万元。
　　公司主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售，公司产品主要应用于集成电路行业。报告期内，公司主营业务收入占营业收入的比重分别为100.00%、100.00%和98.34%，主营业务突出。2022年，公司其他业务收入为偶发性的管路安装相关收入。
　　2、营业收入整体变动分析
　　报告期内，公司营业收入呈持续快速增长趋势，2020年至2022年年均复合增长率达37.95%。报告期内，公司收入规模快速增长主要有以下方面原因：
　　（1）中国半导体行业迅速发展，行业资本开支大幅增长，为公司发展提供了良好的产业环境
　　依托庞大的终端应用市场需求和产业政策环境，中国半导体行业实现了持续快速发展，行业资本开支大幅增长，带动半导体设备需求快速增长。根据SEMI统计，2021年中国大陆半导体设备销售规模达296亿美元，同比增长58%，中国大陆已成为全球最大的半导体设备市场。同时，国内半导体企业为保障产线的安全稳定，逐步加大了国产设备的采购比重，亦为公司发展提供了良好的发展机遇。
　　（2）公司掌握关键核心技术，技术水平国内领先、国际先进
　　公司一直专注于半导体专用设备领域，通过多年的技术研发，公司在主要产品领域自主研发掌握了关键核心技术，为集成电路制造环节提供了稳定、高效的专用设备。截至2023年4月30日，公司已获专利200项，其中发明专利76项。
　　公司半导体专用温控设备产品温控范围、温控精度和冷却能力等关键技术指标均达到国内领先、国际先进水平，公司半导体专用工艺废气处理设备产品的工艺废气处理量及处理效率等关键技术指标均达到国内领先、国际先进水平。
　　（3）持续研发能力是公司收入增长的内在动力
　　公司自成立以来以市场需求和技术创新驱动公司发展，通过不断扩大专业团队规模、引入高端人才，强化公司研发能力。公司主要产品不断迭代，设备工艺性能不断提升，有效满足集成电路制造先进制程的产品和技术需求。
　　（4）优质的客户群体及良好的品牌形象，助力公司持续良性发展
　　公司产品已广泛应用于长江存储、中芯国际、华虹集团、大连英特尔、广州粤芯、睿力集成等国内主流集成电路制造企业的先进制程生产线，市场认可度较高，市场口碑不断提升，优质的客户群体及良好的品牌形象有力推动公司经营业绩不断增长。
　　3、主营业务收入分产品分析
　　公司主营业务收入按产品构成主要分为三种类型，包括半导体专用设备、零配件及支持性设备以及服务。
　　报告期各期，公司的主营业务收入分别为34,879.78万元、50,137.21万元和65,267.27万元，主营业务收入逐年快速增长。
　　（1）半导体专用设备
　　公司主营业务收入主要来自半导体专用设备的销售。报告期各期，公司半导体专用设备业务收入分别为30,026.66万元、43,505.85万元和56,281.34万元，占主营业务收入的比例分别为86.09%、86.77%和86.23%，为公司经营业绩的主要来源。公司半导体专用设备主要包括半导体专用温控设备、半导体专用工艺废气处理设备、晶圆传片设备等自动化设备，报告期内，公司半导体专用设备收入主要来源于半导体专用温控设备及半导体专用工艺废气处理设备，两类设备合计收入分别为29,664.06万元、43,422.25万元和54,359.07万元，占公司半导体专用设备收入的比例分别为98.79%、99.81%和96.59%。
　　1）半导体专用温控设备公司是目前国内唯一一家实现半导体专用温控设备规模装机应用的设备制
　　造商，公司产品主要用于90nm到14nm逻辑芯片以及64层到192层3D NAND等存储芯片制造中若干关键步骤的大规模量产。报告期各期，公司半导体专用温控设备销量分别为993台、1,234台和1,525台，对应销售收入分别为19,181.41万元、25,008.91万元和31,675.20万元，2021年度及2022年度收入增幅分别为30.38%和26.66%。
　　报告期内，公司半导体专用温控设备产品技术不断迭代，控制方式不断优化，节能性不断增强，公司产品可良好匹配泛林半导体、东京电子、应用材料、中微公司、北方华创等主流厂商的半导体制造前道设备，温控通道覆盖单通道、双通道和三通道。公司产品性能不断提升，并于2021年起推出新一代产品，产品性能迈上全新台阶，客户认可度不断提升，带动半导体专用温控设备产品销售收入持续增长.2）半导体专用工艺废气处理设备公司是目前国内极少数实现半导体专用工艺废气处理设备规模装机应用的设备制造商，公司产品主要用于90nm到28nm逻辑芯片以及64层到192层3D NAND等存储芯片制造中若干关键步骤的大规模量产。报告期各期，公司半导体专用工艺废气处理设备销量分别为200台、312台和410台，对应销售收入分别为10,482.65万元、18,413.34万元和22,683.86万元，2021年度及2022年度收入增幅分别为75.66%和23.19%。
　　报告期内，公司半导体专用工艺废气处理设备产品技术不断迭代，工艺废气处理能力和处理效率不断提升，安全性不断增强。公司燃烧水洗式产品国内市场占有率持续提升，等离子水洗式产品实现规模化商用，带动半导体专用工艺废气处理设备产品销售收入持续增长。
　　（2）零配件及支持性设备
　　报告期内，公司零配件及支持性设备产品主要为集成电路制造厂商所需的专用设备零部件、配套材料及支持性设备等。公司在半导体专用设备行业深耕多年，客户覆盖境内主流集成电路制造商，为满足客户零配件及支持性设备需求，除半导体专用设备外，公司为主要客户提供零配件及支持性设备产品。随着半导体专用设备销量增加，零配件及支持性设备销售收入整体呈增长趋势，报告期各期分别为3,626.84万元、5,007.79万元和6,988.35万元，占主营业务收入的比例分别为10.40%、9.99%和10.71%。
　　4、主要产品销量及销售价格分析
　　报告期内，公司半导体专用温控设备产品销售收入稳步增长，收入增长主要源于产品销售数量的持续增长。报告期各期，半导体专用温控设备产品单价小幅度波动，主要系产品细分型号销量变化导致。
　　报告期内，公司半导体专用工艺废气处理设备产品销售收入稳步增长，收入增长主要源于产品销售数量的持续增长。报告期各期，半导体专用工艺废气处理设备产品单价波动主要系产品细分型号销量变化导致。2020年度和2021年度，半导体专用工艺废气处理设备产品单价分别为52.41万元/台和59.02万元/台，增幅分别为30.02%和12.60%，主要系型号较老、单价较低的单腔燃烧水洗式产品逐渐停止销售，单价较高的产品销量持续增加导致。2022年度，半导体专用工艺废气处理设备单价为55.33万元/台，较2021年度下降6.25%，主要系单价较低的等离子水洗式产品销量占比增加导致。
　　5、主营业务收入地区分布
　　报告期内，公司收入以内销收入为主。
　　6、主营业务收入季节性分析
　　报告期内，公司的主营业务收入不存在明显的季节性波动，2020年度第三季度和第四季度收入占比较高，主要系当年部分主要客户集中在上半年采购并于下半年验收导致。 收起▲

　　（一）营业收入构成分析　　1、营业收入构成　　报告期内，公司的营业收入分别为23,096.60万元、34,879.78万元、50,137.21万元和39,164.93万元。　　公司主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售，公司产品主要应用于集成电路行业。报告期内，公司主营业务收入占营业收入的比重分别为100.00%、100.00%、100.00%和97.18%，主营业务突出。2022年1-6月，公司其他业务收入为偶发性的管路安装相关收入。　　2、营业收入整体变动分析　　报告期内，公司营业收入呈持续快速增长趋势，2019年至2021年年均复合增长率达47.34%。报告期内，公司收入规模快速... 查看全部▼

　　（一）营业收入构成分析
　　1、营业收入构成
　　报告期内，公司的营业收入分别为23,096.60万元、34,879.78万元、50,137.21万元和39,164.93万元。
　　公司主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售，公司产品主要应用于集成电路行业。报告期内，公司主营业务收入占营业收入的比重分别为100.00%、100.00%、100.00%和97.18%，主营业务突出。2022年1-6月，公司其他业务收入为偶发性的管路安装相关收入。
　　2、营业收入整体变动分析
　　报告期内，公司营业收入呈持续快速增长趋势，2019年至2021年年均复合增长率达47.34%。报告期内，公司收入规模快速增长主要有以下方面原因：
　　（1）中国半导体行业迅速发展，行业资本开支大幅增长，为公司发展提供了良好的产业环境
　　依托庞大的终端应用市场需求和产业政策环境，中国半导体行业实现了持续快速发展，行业资本开支大幅增长，带动半导体设备需求快速增长。根据SEMI统计，2021年中国大陆半导体设备销售规模达296亿美元，同比增长58%，中国大陆已成为全球最大的半导体设备市场。同时，国内半导体企业为保障产线的安全稳定，逐步加大了国产设备的采购比重，亦为公司发展提供了良好的发展机遇。
　　（2）公司掌握关键核心技术，技术水平国内领先、国际先进
　　公司一直专注于半导体专用设备领域，通过多年的技术研发，公司在主要产品领域自主研发掌握了关键核心技术，为集成电路制造环节提供了稳定、高效的专用设备。截至2022年9月30日，公司已获专利173项，其中发明专利56项。公司半导体专用温控设备产品温控范围、温控精度和冷却能力等关键技术指标均达到国内领先、国际先进水平，公司半导体专用工艺废气处理设备产品的工艺废气处理量及处理效率等关键技术指标均达到国内领先、国际先进水平。
　　（3）持续研发能力是公司收入增长的内在动力
　　公司自成立以来以市场需求和技术创新驱动公司发展，通过不断扩大专业团队规模、引入高端人才，强化公司研发能力。公司主要产品不断迭代，设备工艺性能不断提升，有效满足集成电路制造先进制程的产品和技术需求。
　　（4）优质的客户群体及良好的品牌形象，助力公司持续良性发展
　　公司产品已广泛应用于长江存储、中芯国际、华虹集团、大连英特尔、广州粤芯、睿力集成等国内主流集成电路制造企业的先进制程生产线，市场认可度较高，市场口碑不断提升，优质的客户群体及良好的品牌形象有力推动公司经营业绩不断增长。
　　3、主营业务收入分产品分析
　　公司主营业务收入按产品构成主要分为三种类型，包括半导体专用设备、零配件及支持性设备以及服务。
　　报告期各期，公司的主营业务收入分别为23,096.60万元、34,879.78万元、50,137.21万元和38,059.88万元，主营业务收入逐年快速增长。
　　（1）半导体专用设备
　　公司主营业务收入主要来自半导体专用设备的销售。报告期各期，公司半导体专用设备业务收入分别为18,755.98万元、30,026.66万元、43,505.85万元和33,348.72万元，占主营业务收入的比例分别为81.21%、86.09%、86.77%和87.62%，为公司经营业绩的主要来源。公司半导体专用设备主要包括半导体专用温控设备、半导体专用工艺废气处理设备、晶圆传片设备等自动化设备，报告期内，公司半导体专用设备收入主要来源于半导体专用温控设备及半导体专用工艺废气处理设备，两类设备合计收入分别为18,594.49万元、29,664.06万元、43,422.25万元和32,654.78万元，占公司半导体专用设备收入的比例分别为99.14%、98.79%、99.81%和97.92%。
　　1）半导体专用温控设备
　　公司是目前国内唯一一家实现先进制程半导体专用温控设备规模装机应用的设备制造商，公司产品主要用于90nm到14nm逻辑芯片以及64层到192层3DNAND等存储芯片制造中若干关键步骤的大规模量产。报告期各期，公司半导体专用温控设备销量分别为722台、993台、1,234台和986台，对应销售收入分别为15,006.77万元、19,181.41万元、25,008.91万元和20,842.85万元，2020年度及2021年度收入增幅分别为27.82%和30.38%。
　　报告期内，公司半导体专用温控设备产品技术不断迭代，控制方式不断优化，节能性不断增强，公司产品可良好匹配泛林半导体、东京电子、应用材料、中微公司、北方华创等主流厂商的半导体制造前道设备，温控通道覆盖单通道、双通道和三通道。公司产品性能不断提升，并于2021年起推出新一代产品，产品性能迈上全新台阶，客户认可度不断提升，带动半导体专用温控设备产品销售收入持续增长。
　　2）半导体专用工艺废气处理设备
　　公司是目前国内极少数实现先进制程半导体专用工艺废气处理设备规模装机应用的设备制造商，公司产品主要用于90nm到28nm逻辑芯片以及64层到192层3DNAND等存储芯片制造中若干关键步骤的大规模量产。报告期各期，公司半导体专用工艺废气处理设备销量分别为89台、200台、312台和215台，对应销售收入分别为3,587.72万元、10,482.65万元、18,413.34万元和11,811.94万元，2020年度及2021年度收入增幅分别为192.18%和75.66%。
　　报告期内，公司半导体专用工艺废气处理设备产品技术不断迭代，工艺废气处理能力和处理效率不断提升，安全性不断增强。公司燃烧水洗式产品国内市场占有率持续提升，等离子水洗式产品实现规模化商用，带动半导体专用工艺废气处理设备产品销售收入持续增长。
　　（2）零配件及支持性设备
　　报告期内，公司零配件及支持性设备产品主要为集成电路制造厂商所需的专用设备零部件、配套材料及支持性设备等。公司在半导体专用设备行业深耕多年，客户覆盖境内主流集成电路制造商，为满足客户零配件及支持性设备需求，除半导体专用设备外，公司为主要客户提供零配件及支持性设备产品。随着半导体专用设备销量增加，零配件及支持性设备销售收入整体呈增长趋势，报告期各期分别为3,994.52万元、3,626.84万元、5,007.79万元和3,624.80万元，占主营业务收入的比例分别为17.29%、10.40%、9.99%和9.52%。
　　4、主要产品销量及销售价格分析
　　报告期内，公司半导体专用温控设备产品销售收入稳步增长，收入增长主要源于产品销售数量的持续增长。报告期各期，半导体专用温控设备产品单价小幅度波动，主要系产品细分型号销量变化导致。
　　报告期内，公司半导体专用工艺废气处理设备产品销售收入稳步增长，收入增长主要源于产品销售数量的持续增长。报告期各期，半导体专用工艺废气处理设备产品单价波动主要系产品细分型号销量变化导致。2020年度和2021年度，半导体专用工艺废气处理设备产品单价分别为52.41万元/台和59.02万元/台，增幅分别为30.02%和12.60%，主要系型号较老、单价较低的单腔燃烧水洗式产品逐渐停止销售，单价较高的产品销量持续增加导致。2022年1-6月，半导体专用工艺废气处理设备单价为54.94万元/台，较2021年度下降6.91%，主要系单价较低的等离子水洗式产品销量占比增加导致。
　　5、主营业务收入地区分布
　　报告期内，公司收入以内销收入为主。
　　6、主营业务收入季节性分析
　　报告期内，公司的主营业务收入不存在明显的季节性波动，2019年度和2020年度第三季度和第四季度收入占比较高，主要系当年部分主要客户集中在上半年采购并于下半年验收导致。 收起▲