| 机构或基金名称 | 持有数量(股) | 持股变化(股) | 占总股本比例 | 实际增减持 | 股份类型 | 持股详情 |
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| 深圳市恒运昌投资有限公司 | 1310.81万 | 25.82% |
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| 乐卫平 | 1172.13万 | 23.09% |
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| 深圳市恒运昌投资中心(有限合伙) | 1054.96万 | 20.78% |
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| 国投(广东)科技成果转化创业投资基金合伙企业(有限合伙) | 413.92万 | 8.15% |
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| 江苏瑞芯通宁基金半导体产业投资基金合伙企业(有限合伙) | 206.96万 | 4.08% |
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| 深圳市恒运昌投资发展中心(有限合伙) | 161.94万 | 3.19% |
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| 拓荆科技股份有限公司 | 156.66万 | 3.09% |
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| 中电科核心技术研发股权投资基金(北京)合伙企业(有限合伙) | 77.11万 | 1.52% |
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| 上海浦宸私募投资基金合伙企业(有限合伙) | 77.11万 | 1.52% |
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| 上海国策绿色科技制造私募投资基金合伙企业(有限合伙) | 56.55万 | 1.11% |
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| 深圳市鹏远基石私募股权投资基金合伙企业(有限合伙) | 46.27万 | 0.91% |
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| 北京光电融合产业投资基金(有限合伙) | 46.27万 | 0.91% |
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| 江苏疌泉君海荣芯投资合伙企业(有限合伙) | 46.27万 | 0.91% |
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| 上海道禾丰源私募投资基金合伙企业(有限合伙) | 46.27万 | 0.91% |
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| 青岛鼎量粤恒创业投资基金合伙企业(有限合伙) | 34.27万 | 0.68% |
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| 上杭景行创业投资合伙企业(有限合伙) | 32.56万 | 0.64% |
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| 中信证券投资有限公司 | 30.85万 | 0.61% |
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| 俞日明 | 29.44万 | 0.58% |
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| 嘉兴小橡股权投资合伙企业(有限合伙) | 25.70万 | 0.51% |
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| 嘉兴恒祥创业投资合伙企业(有限合伙) | 17.14万 | 0.34% |
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| 上海岩泉科技有限公司 | 16.96万 | 0.33% |
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| 湖南高创鑫阳创业投资基金合伙企业(有限合伙) | 15.42万 | 0.30% |
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| 扬州乾益投资合伙企业(有限合伙) | 1.54万 | 0.03% |
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| 控制股东: (持有比例:--) |
| 实际控制人: -- |
| 最终控制人:-- |
| 2 | 深圳市恒运昌投资有限公司 |
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| 乐卫平 | |
| 深圳市恒运昌投资中心(有限合伙) | |
| 深圳市恒运昌投资发展中心(有限合伙) |
| 1 | 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 |
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| 4 | 乐卫平 |
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| 深圳市恒运昌投资有限公司 |
| 3 | 深圳市恒运昌投资中心(有限合伙) |
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| 5 | 深圳市恒运昌投资有限公司 |
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| 4 | 深圳市恒运昌投资发展中心(有限合伙) |
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| 6 | 乐卫平 |
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| 5 | 深圳市恒运昌投资有限公司 |
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