2022年6月份，公司使用募集资金向拓荆上海增资27,000万元，以实施募投项目“ALD设备研发与产业化项目”。本次增资后，将加快公司ALD设备的研发和产业化，完善公司产品线布局，提高公司产品市场竞争力。2022年7月20日，公司已向拓荆上海支付增资款。2022年8月9日，拓荆上海完成工商变更登记事宜。 收起>>

       公司主要从事高端半导体专用设备的研发，生产，销售与技术服务。自成立以来，公司始终坚持自主研发，目前已形成PECVD，ALD，SACVD，HDPCVD等薄膜设备产品系列，该产品系列已广泛应用于国内集成电路逻辑芯片，存储芯片等制造产线。同时，公司开发了应用于晶圆级三维集成领域的混合键合设备产品系列。公司开发了应用于晶圆级三维集成领域的混合键合设备系列产品。目前薄膜系列产品在客户产线实现量产的设备性能指标已达到国际同类设备先进水平。公司目前是国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD设备，SACVD设备，HDPCVD设备厂商，也是国内领先的集成电路ALD设备厂商。 收起>>