公司2024Q1营收同比增长，维持“买入”评级
　　公司发布2023年报及2024年一季报，公司2023年实现营收27.05亿元，YoY+58.6%；实现归母净利润6.63亿元，YoY+79.82%；扣非净利润3.12亿元，YoY+75.29%；毛利率51.01%，YoY+1.74pcts。此外，2024Q1实现营收4.72亿元，YoY+17.25%，QoQ-52.94%；实现归母净利润0.1亿元，YoY-80.51%，QoQ-97.33%；扣非净利润-0.44亿元，YoY-325.07%，QoQ-132.4%；毛利率47.31%，YoY-2.47pcts，QoQ-4.82pcts。随着行业周期逐步复苏，公司订单有望持续增长，业绩进一步提升，我们上调公司2024-2025年盈利预测，并新增2026年盈利预测，预计2024-2026年归母净利润为8.22/11.26/14.16亿元（前值为7.83/11.1亿元），预计2024-2026年EPS为4.37/5.98/7.52元（前值为4.19/5.93元），当前股价对应PE为41.8/30.5/24.3倍，维持“买入”评级。
　　薄膜沉积设备增长显著，2024年出货量有望创历史新高
　　2023年分业务看，公司薄膜沉积设备营收25.7亿元，同比+52.51%；毛利率50.76%，同比+1.55pcts，新工艺应用及新产品开发取得显著成效。混合键合设备营收0.64亿元，毛利率50.84%。2023年公司首台晶圆对晶圆键合产品顺利通过客户验证，并获得复购订单，实现产业化应用。公司2023年累计出货超过1510个反应腔，并预计2024年全年出货超过1000个反应腔，将创历史新高。
　　验收周期影响季度收入，订单高增保障未来业绩
　　2024Q1验收机台主要为新产品，验收周期长于成熟产品，因此，2024年季度性收入确认将有一定程度延后。2024Q1出货金额同比增长超130%，业务规模增长带来相关费用较大幅度增加；2024Q1不断拓展新产品和新工艺，保持较高研发投入，研发费用1.53亿元，同比+78.09%。综上原因，费用增幅远大于收入增幅，致公司2024Q1盈利能力有所下降。展望2024年，公司2023年末在手销售订单金额64.23亿元（不含Demo订单），同比+39.57%，为后续业绩的增长提供保障。
　　风险提示：行业需求下降风险；晶圆厂资本开支下滑风险；技术研发不及预期。

　　事件：4月30日，拓荆科技发布2023年年报和2024年一季度报告。2023年公司实现营收27.05亿元，同比增长58.60%；归母净利润6.63亿元，同比增长79.82%；扣非归母净利润3.12亿元，同比增长75.29%。2024年第一季度公司实现营收4.72亿元，同比增长17.25%；归母净利润为0.10亿元，同比下滑80.51%；扣非归母净利润为-0.44亿元，同比下滑325.07%。
　　产品结构变动及相关费用增长，公司业绩短期承压。2023年公司营收快速增长，其中薄膜沉积设备营收25.70亿元，同比增长52.51%，新品混合键合设备营收0.64亿元。2024年第一季度公司业绩短期承压，主要原因是：1）2024年第一季度验收机台主要为新产品，新产品验收周期长于成熟产品，因此2024年季度性收入确认的分布将有一定程度延后；2）2024年第一季度出货金额同比增长超过130%，业务规模的增长带来相关费用较大幅度的增加；3）2024年第一季度公司不断拓展新产品和新工艺，仍然保持较高的研发投入，研发费用达1.53亿元，同比增长78.09%订单充沛，2024年出货量创新高。根据公司2023年年报，公司截至2023年底的在手订单达到64.23亿元，在手订单充沛，同时公司存货从2023年第四季度的46亿元增长至2024年第一季度的56亿元，24年第一季度出货金额同比增长超过130%。另外，公司采用库存式生产和订单式生产相结合的模式，生产量一定程度反映公司的后续订单，公司2023年出货460+反应腔，预计2024年出货1000+反应腔，反映出公司订单状况良好。
　　持续拓展业务，新品进展顺利。根据公司2023年年报，1）公司PECVD设备作为主打产品，已实现全系列PECVD薄膜材料的覆盖，同时2023年出货一台PECVD设备至海外市场。2）公司首台晶圆对晶圆键合产品Dione300顺利通过客户验证并获得复购订单，复购的设备再次通过验证，实现了产业化应用，成为国产首台应用于量产的混合键合设备。
　　投资建议。随着下游晶圆厂持续扩产以及公司产品覆盖度提升，我们预计公司24-26年实现收入39.1/59.3/76.3亿元，实现归母净利7.8/10.8/14.4亿元，以4月30日市值对应PE分别为44/32/24倍，维持“买入”评级。
　　风险提示：下游需求不及预期风险；行业竞争加剧风险；公司新业务开拓不及预期风险等

　　投资要点
　　2023年业绩高增，2024Q1受费用前置影响有所下滑：2023年公司实现营业收入27.05亿元，同比+58.6%，其中薄膜沉积设备营业收入25.7亿元，同比+52.51%，混合键合设备营业收入0.64亿元；归母净利润6.63亿元，同比+79.8%；扣非归母净利润3.12亿元，同比+75.29%。2023年Q4营业收入10.02亿元，同比+40.39%，环比+43.35%；归母净利润3.92亿元，同比+198.69%，环比168.49%。2024Q1公司实现营业收入4.72亿元，同比+17.25%；归母净利润0.1亿元，同比-80.51%；扣非归母净利润-0.44亿元，同比-325.07%，主要系一方面Q1验收机台为新产品，验收周期长于成熟产品，另一方面研发投入等费用持续增加，使得Q1业绩有所下滑。
　　盈利能力稳定提升：2023年公司毛利率为51.01%，同比+1.74pct，其中薄膜沉积设备毛利率为50.76%，同比+1.55pct，混合键合设备毛利率为50.84%；销售净利率为24.54%，同比+3.19pct；期间费用率为38.24%，同比+1.08pct，其中销售费用率为10.41%，同比-0.87pct，管理费用率（含研发）为28.27%，同比+1.32pct，财务费用率为-0.44%，同比+0.63pct。2024Q1公司毛利率为47.31%，同比-2.47pct；销售净利率为1.65%，同比-11.34pct；期间费用率为54.51%，同比+14.25pct，其中销售费用率为14.09%，同比+0.42pct，管理费用率（含研发）为38.64%，同比+9.0pct，财务费用率为1.78%，同比+4.83pct。
　　存货高增，合同负债稍有下降：截至2024年Q1末公司合同负债为13.86亿元，同比-15.1%，存货为56.13亿元，同比+106.59%。2023年年末公司在手销售订单金额超过64亿元（不含Dem订单），较2022年末在手销售订单金额46.02亿元（不含Demo订单）同比增长约39%。
　　股权激励范围广，利于公司中长期发展：公司发布2023年限制性股票激励计划草案，拟授予不超过375万股限制性股票，激励对象总人数不超过701人，约占公司职工人数的76%，本激励计划首次授予部分考核年度为2024-2026年，2024-2026年营业收入目标为33.3/44.4/52.9亿元，2024-2026年剔除股权激励费用影响后的净利润为7.6/9.6/11.5亿元。
　　PECVD具备持续扩张潜力，平台化延展打开成长空间：（1）PECVD：已实现全系列PECVD薄膜材料的覆盖，2023年收入23.2亿元，同比+48%；（2）ALD：ALD系列产品收入大幅度增加，其中Thermal-ALD设备通过客户端验证，实现首台的产业化应用，取得了突破性进展；（3）SACVD：可实现SATEOS、BPSG、SAF薄膜工艺沉积的SACVD设备均通过客户验证，量产规模逐步提升；（4）HDPCVD：通过客户端验证，实现首台的产业化应用，并获得批量重复订单；（5）键合设备：首台晶圆对晶圆键合产品顺利通过客户端验证，复购设备再次通过验证，芯片对晶圆混合键合前表面预处理产品通过客户端验证，实现了产业化应用。
　　盈利预测与投资评级：考虑到设备交付节奏，我们上调2024-2025年的归母净利润预测分别为8.3/11.8亿元，前值为8.1/11.7亿元，预计2026年归母净利润为14.1亿元，当前市值对应动态PE分别为44/31/26倍，考虑到公司较强的成长性，维持“买入”评级。
　　风险提示：晶圆厂资本开支下滑、国产化率提升不及预期等。

　　事件概述：4月29日，拓荆科技发布2023年年报和2024年一季报，公司2023年实现营收27.05亿元，同比增长58.60%；实现归母净利润6.63亿元，同比增长79.82%；实现扣非净利润3.12亿元，同比增长75.29%。2024年Q1公司实现营收4.72亿元，同比增长17.25%;实现归母净利润0.10亿元，同比下降80.51%；实现扣非净利润-0.44亿元。
　　2023年业绩高增，收入确认节奏影响24Q1业绩短期承压。拓荆作为薄膜设备国产替代龙头厂商，2023年实现了强劲的业绩增长，全年营收27.05亿元，同比增长58.60%，其中薄膜设备收入25.70亿元，同比增长52.51%，2023年末在手订单金额达64.23亿元，较2022年末增加18.21亿元。盈利端亦有较好的增长表现，2023全年实现归母净利润6.63亿元，同比增长79.82%，综合毛利率51.01%，同比提升1.74pct。其中薄膜设备毛利率50.76%，同比增长1.55pct。
　　由于新工艺的大量出货，验收周期拉长，2024年Q1公司收入确认方面略有放缓，因此收入增速短期放缓。2024年Q1公司出货金额同比增长130%，带来费用增长，利润端短期承压。公司预计2024全年出货将超过1000腔，同比增长100%以上。强劲的出货增速有望为后续几个季度带来业绩弹性。
　　薄膜工艺覆盖能力持续提升，混合键合设备实现产业化。公司在薄膜设备主赛道持续深耕，工艺覆盖能力不断提升，多种新工艺取得产业化进展，同时新产品混合键合设备亦在2023年开始释放业绩。
　　1）PECVD方面，2023年公司多种LoKII、ACHM等先进工艺均已实现产业化应用；
　　2）ALD方面，2023年公司PE-ALD设备获得重复订单和新客户导入，首台Thermal-ALD设备通过客户验证；
　　3）混合键合方面，2023年公司首台晶圆对晶圆混合键合设备通过客户验证，获得重复订单，芯片对晶圆混合键合表面预处理设备通过客户验证。2023年混合键合产品合计销售3台，实现营收0.64亿元。
　　投资建议：公司作为国内薄膜设备龙头，展现了较强的国产替代能力和收入增速，我们预计公司2024-2026年营收41.08/58.77/77.80亿元；归母净利润8.22/12.45/17.29亿元，对应现价PE分别为44/29/21倍。我们看好公司在半导体薄膜设备领域的领先地位，维持“推荐”评级。
　　风险提示：产品验证不及预期；下游行业周期性波动；市场竞争加剧。

　　2023年业绩高增，新品验收1Q增速放缓，24年有望创新高
　　拓荆科技2023全年实现营收27.05亿元（+58.60%yoy），归母净利润6.63亿元（+79.82%yoy），毛利率为51.01%，同比+1.74pcts。2023年国内半导体行业设备需求增加，除优势产品PECVD、SACVD外，公司Thermal-ALD、HDPCVD、晶圆对晶圆键合首台设备均取得突破性进展。拓荆科技1Q24收入4.7亿元（+17.3%yoy），归母净利润0.10亿元（-80.51%yoy），毛利率为47.31%，同比-2.47pcts。1Q24验收机台主要为新产品，验收周期长，收入增幅下滑，但研发投入保持高增，因而利润有所下滑。截至2023年底公司在手订单金额达到64.23亿元人民币，我们预计公司24/25/26年收入为38/52.6/68.3亿元，可比公司24年PS为9.5倍，考虑到公司在手订单充足，给予一定估值溢价，维持“买入”，目标价323.08元（24年16xPS）。
　　2023回顾：业绩实现高增，新产品持续推出工艺覆盖面持续扩展
　　2023年公司薄膜沉积设备收入25.7亿元，PECVD收入23.2亿元，同比增长48.46%；Thermal-ALD设备通过客户端验证，实现首台产业化应用；SACVD系列产品持续拓展应用领域，产品销售收入增加；HDPCVD设备通过客户端验证，实现首台的产业化应用，并获得批量重复订单。公司首台晶圆对晶圆键合产品Dione300顺利通过客户验证，并获得复购订单，复购的设备再次通过验证，成为国产首台应用于量产的混合键合设备，实现收入0.64亿元。截至2023年底公司在手订单（不含Demo订单）金额达到64.23亿元人民币。此外公司2023年出货一台PECVD设备至海外市场。
　　1Q24&24展望：聚焦国内与积极开拓海外并举，24年出货有望创新高
　　拓荆科技1Q24收入4.7亿元（+17.3%yoy），归母净利润0.10亿元（-80.51%yoy），毛利率为47.31%，同比-2.47pcts。1Q24公司研发投入1.53亿元，同比增长78.09%。2023年度，公司出货超过460个反应腔，预计2024年全年出货超过1,000个反应腔，将创历史新高。展望2024，我们看好中国本土晶圆制造商资本开支维持高强度及半导体设备国产替代进程加速，国产半导体设备厂商业绩有望持续放量。10月28日公司发布2023年股票激励草案，2024-2026年营业收入目标为33.3/44.4/52.9亿元。
　　估值：维持“买入”评级，目标价323.08元
　　考虑到新品验证周期长，我们调整公司2024/25年收入预测至38/52.5亿元（前值：39.8/55.1亿元）。2024年行业PS均值为9.5倍，考虑到公司在手订单充足，我们给予一定估值溢价，基于16.0x24PS，维持“买入”，目标价323.08元（前值：336.7元）。
　　风险提示：全球半导体下行周期，半导体设备需求不及预期，行业竞争加剧。

　　事件描述
　　公司发布2023年年报及2024年一季报。2023年度公司实现营业收入27.05亿元，同比+58.60%；实现归母净利润6.63亿元，同比+79.82%；实现扣非归母净利润3.12亿元，同比+75.29%。2024年一季度实现营业收入4.72亿元，同比+17.25%；实现归母净利润0.10亿元，同比-80.51%；实现扣非后归母净利润-0.44亿元，同比-325.07%。
　　事件点评
　　在手订单充裕，收入持续高增。受益于公司薄膜沉积设备在新工艺应用及新产品方面的持续开发，公司营收高速增长，2018-2023CAGR达107.31%。报告期内，公司核心产品PECVD设备实现全系列薄膜材料覆盖，取得销售收入23.21亿元，同比+48.60%；ALD/SACVD系列产品销售收入增长；Thermal-ALD/HDPCVD设备实现首台产业化应用。报告期末公司在手销售订单（不含Demo订单）金额64.23亿元，较上年末增长18.21亿元，同比+39.57%，对后续业绩增长形成有力支撑。
　　新品验收周期影响短期业绩。24Q1收入同比提升利润同比下滑主要系以下因素影响：1）24Q1验收机台中近半数为验证周期较长的新产品，收入确认有所延后；2）公司维持高研发投入以持续拓展新产品和新工艺，24Q1研发费用1.53亿元，同比+78%；3）24Q1出货额同比增长超过130%，相关装机维护/人员费用等大幅增长。
　　业务领域拓展，新品验证顺利。公司近年积极布局晶圆级三维集成领域，推出混合键合设备产品系列，首台晶圆对晶圆键合产品与复购设备顺利通过客户端验证，性能和产能指标达国际领先水平；芯片对晶圆混合键合前表面预处理产品通过客户端验证，实现产业化应用。
　　投资建议
　　考虑公司在手订单金额及新品进展，预计公司2024-2026年EPS分别为4.63/6.14/7.91元，对应公司5月10日收盘价175.39元，2024-2026年PE分别为37.9/28.6/22.2倍，维持“增持-A”评级。
　　风险提示
　　下游恢复不及预期，市场竞争加剧，业务拓展与研发不及预期。

　　公司发布2023年报和2024年一季报。
　　Q1设备发货同比大幅增长，看好后续收入端表现加速向上
　　2023年公司实现营业收入27.05亿元，同比+59%，公司营收端实现快速增长，主要系公司在新工艺应用及新产品开发方面取得显著成效，PECVD、ALD、SACVD设备持续拓展工艺，量产规模不断扩大，加速确认收入。分产品来看：1）薄膜沉积设备：实现收入25.7亿元，同比+53%，其中PECVD实现收入23.2亿元，同比+48%，混合键合设备实现收入0.64亿元，实现产业化应用。
　　2024Q1公司实现营收4.72亿元，同比+17%，主要系Q1验收机台主要为新产品，验收周期较长。从发货节奏来看，2024Q1公司设备出货金额同比增长超过130%，表现十分亮眼。截至2023年末，公司在手订单金额超过64亿元（不含Demo订单），同比+40%。截至2024Q1末，公司合同负债和存货分别为13.86和56.13亿元，分别环比持平、+23%，我们判断2024Q1签单情况依旧良好，公司在手订单充足，将支撑2024年大规模出货。公司预计2024年全年出货超过1,000个反应腔，同比增速超过+117%。随着订单陆续确认收入，后续收入端表现有望加速向上。
　　高研发费用压制盈利水平，Q1利润端表现短期承压
　　2023年公司归母净利润和扣非归母净利润分别为6.63和3.12亿元，分别同比+80%和+75%，2023年销售净利率和扣非销售净利率分别为24.54%、11.54%，分别同比+2.93、+1.14pct。（1）毛利端：2023年公司销售毛利率为51.01%，同比+1.74pct，其中薄膜沉积设备毛利率为50.76%，同比+1.55pct，混合键合设备毛利率达到50.86%，表现优异。（2）费用端：2023年公司期间费用率38.24%，同比+1.08pct，其中销售、管理、研发和财务费用率分别同比-0.87、+2.23、-0.91和+0.63pct，主要系股份支付费用较多，2023年达到2.24亿元。此外，2023年公司计入当期损益的政府补助达到3.29亿元，明显增厚公司净利润表现。
　　2024Q1公司归母净利润和扣非归母净利润分别为1047和-4421万元，分别同比-80.51%和-325.07%，低于市场预期，主要系公司加大拓展新产品和新工艺的力度，费用端高速增长。以研发费用为例，2024Q1研发费用达到1.53亿元，同比增长78.09%。2024Q1公司期间费用率达到54.51%，同比+14.25pct，其中研发费用率达到32.47%，同比+11.09pct。在毛利端，2024Q1公司销售毛利率为47.31%，同比-2.47pct，依然表现出色，我们推测主要系产品结构变化。此外，2024Q1公司其他收益达到5865万元，同比+52.77%，主要来源于政府补助，增厚利润空间。
　　投资建议
　　考虑到公司设备交付节奏和研发投入力度，我们调整2024-2025年营业收入预测分别为41.25、56.36亿元（原值40.40、55.45亿元），并预计2026年营业收入为73.70亿元；调整2024-2025年归母净利润分别为8.19和11.39亿元（原值8.97和12.07亿元），并预计2026年归母净利润为15.74亿元；调整2024-2025年EPS分别为4.35、6.05元（原值4.77和6.41元），并预计2026年EPS为8.36元，2024/4/30日股价181.67元对应PE分别为42、30和22倍。基于公司较强的市场竞争力，维持“增持”评级。
　　风险提示
　　半导体行业景气下滑、竞争格局恶化、新品拓展不及预期等。

　　事项：
　　公司发布2023年报及2024年一季报，2023年公司实现营收27.05亿元，同比增长58.60%，实现归母净利润6.63亿元，同比增长79.82%；2024Q1，公司实现营收4.72亿元，同比增长17.25%，实现归母净利润1047万元，同比下降80.51%。公司2023年度拟向全体股东每10股派发现金红利3.5元（含税），同时以资本公积向全体股东每10股转增4.8股。
　　平安观点：
　　2023年公司收入利润均高增，期末在手订单较为充裕。2023年，公司实现营收27.05亿元，同比增长58.60%，实现归母净利润6.63亿元，同比增长79.82%，实现扣非归母净利润3.12亿元，同比增长75.29%。报告期内，公司不断突破核心技术，并在推进产品产业化和各产品系列迭代升级过程中取得了重要成果，产品市场竞争力持续增强，同时，受益于国内下游晶圆制造厂良好的发展态势，国内半导体行业设备需求旺盛，公司产品销售订单大幅增加，2023年出货超过460个反应腔，使得公司业绩维持高增长趋势。在手订单方面，报告期末，公司在手订单规模较为充裕，达到64.23亿元（不含Demo订单），为后续业绩增长提供保障。
　　公司保持高强度的研发投入，在各细分领域取得丰硕成果。2023年，公司研发投入5.76亿元，同比增加52.07%，研发投入占营收比例为21.29%，公司通过高强度的研发投入，保持细分领域内产品技术领先，同时，不断丰富设备产品品类，拓宽薄膜工艺应用覆盖面，在新工艺机型的研发验证以及产业化应用等方面均取得了优异成果。PECVD领域，公司推出新型PECVD反应腔（pX和Supra-D），采用新型反应腔配置的LoKⅡ、ACHM、SiH4、TEOS等薄膜工艺设备均已出货至客户端验证；ALD领域，公司首台T-ALD（TS-300Altair）设备通过客户验证，取得了突破性进展；SACVD领域，公司新推出等离子体处理优化的SAF薄膜工艺应用设备并出货至客户端验证，进展顺利；HDPCVD领域，公司首台HDPCVD设备（沉积USG薄膜）通过客户验证，实现了产业化应用，并持续获得客户订单，出货至不同应用领域的不同客户端进行产业化验证，累计出货超过40个反应腔；混合键合设备方面，公司首台晶圆对晶圆键合产品Dione300以及晶圆混合键合前表面预处理产品Propus顺利通过客户验证，实现了产业化应用。
　　投资建议：公司是国内薄膜沉积设备龙头企业，拥有PECVD、SACVD、ALD、HDPCVD、键合设备等丰富的产品组合，稀缺性强，卡位优势明显，在手订单充裕，虽然Q1净利润略承压，但公司核心竞争力未发生变化，未来业绩稳定增长仍具有较强的确定性。根据公司2023年报&2024年一季报及对行业的判断，我们预计公司2024-2026年EPS分别为5.15元（前值为5.53元）、7.13元（前值为7.35元）、9.32元（新增），对应2024年4月30日收盘价的PE分别为35.3X、25.5X、19.5X，公司卡位优势明显，外部市场环境友好，成长潜力可观，我们看好公司未来的发展，维持对公司“推荐”评级。
　　风险提示：1、技术创新及新产品开发风险。半导体技术日新月异，新的市场需求层出不穷，若公司产品迭代速度无法满足技术进步带来的设备新需求，可能对公司的业绩成长性带来不利影响。2、下游需求不及预期的风险。公司产品主要应用于半导体产业，若国内晶圆厂的扩产节奏放缓，将直接影响公司业绩。3、市场竞争风险。国内半导体设备厂商存在互相进入彼此业务领域并开发同类产品的可能，公司可能面临国际巨头及潜在国内新进入者的双重竞争，如果公司无法有效应对市场竞争环境，可能对公司业绩产生不利影响。

　　本土半导体薄膜沉积设备龙头，业绩持续快速增长。公司是本土半导体薄膜沉积设备龙头，产品覆盖PECVD、SACVD、ALD、HDPCVD等，成功供货中芯国际、华虹集团、长江存储等主流客户，业绩实现快速增长。1）收入端：2022年实现营收17.06亿元，2018-2022年CAGR高达122%。根据2023年业绩快报，2023年营收27.05亿元，同比+59%，延续高速增长。2）利润端：2022年归母净利润和扣非归母净利润分别达到3.69和1.78亿元，分别同比+438%和+317%，利润端正式进入高速增长阶段。根据2023年业绩快报，2023年公司归母净利润和扣非归母净利润分别为6.65亿元、3.13亿元，分别同比+80%、+76%，若剔除股份支付费用影响，则利润端表现更加出色。根据公司2023年业绩预增公告，截至2023年末，公司在手订单金额超过64亿元（不含Demo），在手订单饱满。随着在手订单陆续交付、确认收入，公司业绩端表现同样有望延续高速增长。作为半导体薄膜沉积设备龙头，公司承担较多前沿产品开发。根据公司公告，2023年公司相继收到三笔大额政府补助，合计金额高达4.20亿元，可以进一步验证，为公司长期成长性打下基础。
　　薄膜沉积设备是高价值量占比的天然大市场，公司产品竞争优势明显。荷兰出口管制影响下，中国大陆对于高端光刻机进口加速，2023年累计进口金额达到72.30亿美元，同比+184%，拉货势头明显，同时进口均价大幅提升。随着更高端光刻机陆续到位，将支撑国内晶圆厂后续大规模扩产。1）薄膜沉积在晶圆制造设备中价值量占比高达22%，其中PECVD和ALD在薄膜沉积设备中占比分别达到33%和11%。若仅考虑半导体PECVD和ALD两大类设备，我们预计2025年中国大陆市场规模分别可达194和65亿元，合计超过250亿元。2）全球半导体薄膜沉积设备仍由AMAT、LAM、TEL等海外龙头主导，公司在集成电路PECVD和SACVD领域先发优势明显，ALD同样是国内领先设备企业。往后来看，友商积极布局PECVD、ALD等薄膜沉积赛道，引发市场对于公司竞争格局的担忧。我们认为，半导体设备作为典型的技术密集型赛道，适合孕育大体量公司，龙头效应明显，同时先发优势至关重要。作为国内半导体薄膜沉积设备龙头，公司具备身位性领先优势，并积极进行高研发投入，不断夯实核心竞争力，巩固行业龙头地位，市场领先地位有望长期维持，将充分受益于本土晶圆厂扩产浪潮。
　　PECVD仍有较大成长空间，SACVD、ALD等市场加速开拓。公司在稳固PECVD市场竞争力的同时，SACVD&ALD等持续取得突破，成长空间不断打开。1）PECVD：公司在国内市占率依然较低，公司工艺覆盖面扩大&客户验证顺利推进，有望延续高速增长；2）SACVD&HDPCVD：适用于沟槽填充工艺，其中SACVD在先进制程下渗透率存在提升趋势，公司产品体系不断完善，有望进入加速放量阶段。此外，公司重点布局HDPCVD，持续完善产品矩阵，已持续获得客户订单，进一步打开成长空间；3）ALD：膜厚精准可控&台阶覆盖率极高，技术优势突出，公司率先实现PE-ALD产业化，Thermal-ALD持续获得原有客户及新客户订单，并出货至不同客户端产业化验证，验证进展顺利，并不断拓展薄膜种类及工艺应用，进一步夯实市场竞争力。
　　前瞻性布局混合键合设备，充分受益先进封装行业浪潮。AI需求持续提升背景下，先进封装有望加速渗透。从工艺端来看，传统封装键合仍以引线键合为主，先进封装背景下，为实现堆叠芯片间的高密度互联，键合逐步向混合键合方向发展。公司前瞻性布局应用于晶圆级三维集成领域的混合键合设备，主要包括晶圆对晶圆键合、芯片到晶圆键合两大类设备。根据公司2023年中报披露，晶圆对晶圆键合产品Dione300实现首台产业化应用，并获得重复订单，芯片对晶圆键合表面预处理产品Pollux已出货至客户端进行产业化验证，验证进展顺利，有望充分受益于先进封装行业浪潮。
　　盈利预测：我们预计公司2023-2025年营业收入分别为27.05、40.40和55.45亿元，分别同比+59%、+49%和+37%；2023-2025年归母净利润分别为6.65、8.97、12.07亿元，分别同比+80%、+35%和+35%；2023-2025年EPS分别为3.53、4.77和6.41元，2024年2月28日收盘价190.38元对应PS分别为13、9、6倍，对应PE分别为54、40、30倍。考虑到公司在半导体薄膜沉积领域的市场竞争力，以及拓品类能力，成长性较为突出，首次覆盖，给予“增持”评级。
　　风险提示：晶圆厂资本开支不及预期、新品拓展不及预期、技术人员流失等。

　　结论与建议：
　　公司作为国内薄膜沉积设备龙头企业，在PECVD设备领域领先其他竞争对手，是中国半导体产业链国产替代版图中重要的拼图。我们预计，为应对美国对中国半导体产业的持续封锁，中国扶持半导体产业，特别是半导体设备以及先进制程发展的力度将大幅提升。公司作为细分行业龙头，将持续受益于国产替代带来的业绩与估值的提升。预计公司2024、2025年净利润8.2亿元和11.8亿元，同比增长23%和44%，EPS分别为4.32元和6.24元，目前股价对应2024、25年PE44倍和30倍，考虑到薄膜刻蚀设备巨大的国产替代空间，公司股价较高点有明显修正，目前估值未完全反应业绩成长性，给予买进评级。
　　规模效应提升，4Q23业绩继续高速增长：得益于国产替代的推进，2023年公司实现营收27亿元，YOY增59%，实现净利润6.6亿元,YOY增长80%,扣非后净利润3.1亿元,YOY增长76%。相应的，第4季度单季公司实现营收10亿元,YOY增长40%，QOQ增长43%，实现净利润3.9亿元，YOY增长200%,扣非后净利润1.4亿元，YOY增长107%，QOQ增长25%。单季度公司业绩创历史新高，公司全年业绩处于业绩预告范围的中值。
　　回购彰显公司长期增长信心：公司董事长提议，拟以不低于1.2亿元、不超过1.97亿元回购公司股份，大约占目前总市值的0.6%~1%。长期来看，公司回购股份有利于增强投资者信心，促进公司稳健、高质量发展，影响偏正面。
　　盈利预测：从在手订单来看，2023年年末在手销售订单金额超过64亿元，相当于2023年营收的2.4倍业绩确定性高。预计公司2024、2025年净利润8.2亿元和11.8亿元，同比增长23%和44%，EPS分别为4.32元和6.24元，目前股价对应2024、25年PE44倍和30倍，考虑到薄膜刻蚀设备巨大的国产替代空间，公司目前估值尚未完全反应业绩成长性，给予买进评级。
　　风险提示：中美科技争端影响半导体设备短期需求