| 机构或基金名称 | 持有数量(股) | 持股变化(股) | 占总股本比例 | 实际增减持 | 股份类型 | 持股详情 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 | 2512.18万 | 26.48% | 新进 | 境内法人股 | 点击查看 | |
| 国投(上海)科技成果转化创业投资基金企业(有限合伙) | 1729.73万 | 18.23% | 新进 | 境内法人股 | 点击查看 | |
| 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1062.25万 | 11.20% | 新进 | 境内法人股 | 点击查看 | |
| 嘉兴君励投资合伙企业(有限合伙) | 701.21万 | 7.39% | 新进 | 境内法人股 | 点击查看 | |
| 青岛润扬嘉禾投资合伙企业(有限合伙) | 623.32万 | 6.57% | 新进 | 境内法人股 | 点击查看 | |
| 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 300.00万 | 3.16% | 新进 | 境内法人股 | 点击查看 | |
| 沈阳信息产业创业投资有限公司 | 297.03万 | 3.13% | 新进 | 国有法人股 | 点击查看 | |
| 苏州聚源东方投资基金中心(有限合伙) | 180.02万 | 1.90% | 新进 | 境内法人股 | 点击查看 | |
| 中车国华(青岛)股权投资合伙企业(有限合伙) | 162.16万 | 1.71% | 新进 | 境内法人股 | 点击查看 | |
| 宿迁浑璞浑金二号投资中心(有限合伙) | 150.00万 | 1.58% | 新进 | 境内法人股 | 点击查看 | |
| 盐城经济技术开发区燕舞半导体产业基金(有限合伙) | 150.00万 | 1.58% | 新进 | 境内法人股 | 点击查看 |
| 控制股东:(持有比例:--) |
| 实际控制人:-- |
| 最终控制人:-- |
| 2 | 国家集成电路产业投资基金股份有限公司 |
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| 1 | 拓荆科技股份有限公司 |
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