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近期重要事件

2025-12-12 大宗交易：
2025-12-12 融资融券：
2025-12-03 投资互动：
2025-12-02 发布公告： 《中微公司：关于回购股份集中竞价减持股份进展公告》
2025-12-02 股东减持：
2025-12-01 发布公告： 《中微公司：大股东大宗交易减持股份计划公告》
2025-12-01 增减持计划： 公司持股5%以上一般股东上海创业投资有限公司计划自2025-12-22起至2026-03-21，拟通过大宗交易减持不超过626.1万股，占总股本比例1.00%
2025-11-21 发布公告： 《中微公司：关于回购股份集中竞价减持股份进展公告》
2025-11-21 股东减持：
2025-11-19 大宗交易：
2025-11-18 大宗交易：
2025-11-15 发布公告： 《中微公司：关于持股5%以上股东权益变动触及1%刻度暨减持股份结果公告》
2025-11-15 股东减持：
2025-11-13 大宗交易：
2025-11-07 大宗交易：
2025-10-30 发布公告：
2025-10-30 业绩披露： 详情>> 2025年三季报每股收益1.94元，净利润12.11亿元，同比去年增长32.66%
2025-10-30 增减持计划： 公司其他股东中微半导体设备(上海)股份有限公司回购专用证券账户计划自2025-11-20起至2026-02-19，拟减持不超过209.6万股，占总股本比例0.33%
2025-10-30 股东人数变化：
2025-10-15 股东减持：
2025-09-29 高管及相关人员减持：
2025-09-24 高管及相关人员减持：
2025-09-24 股东大会： 召开临时股东大会，审议相关议案 详细内容 ▼
1.审议《关于增加注册资本、取消监事会并修订<公司章程>的议案》 2.审议《关于制定及修订公司部分治理制度的议案》 3.审议《关于更换公司董事并相应调整董事会专门委员会成员的议案》 4.审议《关于增加预计2025年度日常关联交易的议案》
2025-09-23 高管及相关人员减持：
2025-09-18 高管及相关人员减持：
2025-09-17 高管及相关人员减持：
2025-08-29 分配预案： 详情>> 2025年中报分配方案：不分配不转增，方案进度：董事会通过
2025-08-29 业绩披露： 详情>> 2025年中报每股收益1.13元，净利润7.06亿元，同比去年增长36.62%
2025-08-29 股东人数变化：
2025-08-29 参控公司： 参控Advanced Micro-Fabrication Equipment International Pte. Ltd.，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司 其它参控公司 ▼
参控Advanced Micro-Fabrication Equipment Korea Ltd.，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控AMEC Japan Co.,Inc.，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控AMEC North America,Inc.，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控SOLAYER GmbH，参控关系为联营企业

参控上海智微攀峰创业投资合伙企业(有限合伙)，参控关系为联营企业

参控上海洪朴信息科技有限公司，参控关系为联营企业

参控上海芯元基半导体科技有限公司，参控关系为联营企业

参控中微半导体(上海)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控中微半导体设备(厦门)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控中微半导体设备(四川)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控中微半导体设备(广州)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控中微惠创科技(上海)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控中微汇链科技(上海)有限公司，参控比例为80.0000%，参控关系为子公司

参控中微科技投资管理(上海)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控南昌中微半导体设备有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控南昌城微置业有限公司，参控关系为联营企业

参控无锡正海缘宇创业投资合伙企业(有限合伙)，参控比例为98.0000%，参控关系为子公司

参控芯汇康生命科学(上海)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控超微半导体设备(上海)有限公司，参控比例为51.0000%，参控关系为子公司

2025-08-27 增减持计划： 公司持股5%以上一般股东巽鑫(上海)投资有限公司计划自2025-09-17起至2025-12-16，拟通过大宗交易减持不超过1252万股，占总股本比例2.00%
2025-08-22 高管及相关人员减持：
2025-07-31 高管及相关人员减持：
2025-07-29 高管减持：
2025-07-28 高管减持：
2025-07-25 高管减持：
2025-07-23 高管及相关人员减持： 陳煌琳(核心技术人员)、何伟业(核心技术人员)等累计减持1.1万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为199.4元，股份变动原因：二级市场买卖 详细内容 ▼
陳煌琳2025-07-23减持0.3万股，占流通股本比例0.0005%，成交价199.24元，股份变动原因：二级市场买卖

何伟业2025-07-23减持0.6万股，占流通股本比例0.001%，成交价199.25元，股份变动原因：二级市场买卖

张凯2025-07-23减持0.2万股，占流通股本比例0.0003%，成交价200.07元，股份变动原因：二级市场买卖
2025-07-22 高管及相关人员减持：
2025-07-18 业绩预告： 预计中报业绩：净利润6.800亿元至7.300亿元，增长幅度为31.61%至41.28% 变动原因 ▼
原因：
公司2025年上半年业绩预计较上年同期变化的主要原因如下： 　　1、2025年上半年，公司营业收入约49.61亿元，同比增长约43.88%。其中刻蚀设备收入增长约40.12%，达37.81亿元；LPCVD薄膜设备收入增长约608.19%，达1.99亿元。公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺实现大规模量产。 　　公司站在先进制程工艺发展的最前沿，坚持技术的创新、产品的差异化和知识产权保护的基本原则。坚持原创的设计，和国际领先的半导体客户公司同步前行。公司目前在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发。公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场，公司有望在未来几年更大规模地推出新产品。 　　2、2025年上半年，公司归母净利润为68,000万元到73,000万元，同比增加16,330.60万元至21,330.60万元（增长约31.61%至41.28%）的主要原因：（1）2025年上半年营业收入增长43.88%下，毛利较去年增长约5.52亿元；（2）2025年上半年公司研发投入约14.92亿元，同比增加5.21亿元（增长约53.70%），2025年上半年研发投入占公司营业收入比例约为30.07%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平（10%~15%）。2025年上半年研发费用11.16亿元，较去年增长约5.49亿元（增长约96.65%）；（3）经评估师评估初步结果，公司以公允价值计量且其变动计入当期损益的对外股权投资于2025年上半年产生公允价值变动收益和投资收益合计约1.72亿元，较2024年上半年亏损的0.08亿元增加约1.80亿元。 　　3、2025年上半年，公司扣非后归母净利润为51,000万元到56,000万元，同比增加2,676.98万元至7,676.98万元（增长约5.54%到15.89%）的主要原因：2025年上半年营业收入增长43.88%，毛利较去年增长约5.52亿元，以及2025年上半年研发费用较去年增长约5.49亿元。
2025-07-09 实施分红： 详情>> 10派3元(含税)，股权登记日为2025-07-09，除权除息日为2025-07-10，派息日为2025-07-10
2025-07-08 高管及相关人员减持：
2025-06-30 高管及相关人员减持：
2025-06-26 股东大会： 召开临时股东大会，审议相关议案 详细内容 ▼
1.审议《关于参与设立私募投资基金暨关联交易的议案》
2025-06-18 高管及相关人员增持： 陳煌琳(核心技术人员)、何伟业(核心技术人员)等累计增持2.3万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为0.00元，股份变动原因：股权激励实施 详细内容 ▼
陳煌琳2025-06-18增持0.58万股，占流通股本比例0.0009%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

何伟业2025-06-18增持0.31万股，占流通股本比例0.0005%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

姜勇2025-06-18增持0.42万股，占流通股本比例0.0007%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

刘志强2025-06-18增持0.57万股，占流通股本比例0.0009%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

张凯2025-06-18增持0.42万股，占流通股本比例0.0007%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施
2025-06-11 股权激励： 激励计划拟授予的股票为1200万股，占当时总股本比例1.93%，每股转让价100.00元，激励方案有效期6年，当前进度为实施
2025-06-05 高管减持：
2025-06-04 高管减持：
2025-06-03 高管减持：
2025-05-29 高管及相关人员减持：
2025-05-28 高管减持： 陈伟文(高级管理人员)、尹志尧(董事、高级管理人员、核心技术人员)累计减持15.45万股，占流通股本比例0.03%，成交均价为171.5元，股份变动原因：二级市场买卖 详细内容 ▼
陈伟文2025-05-28减持9.95万股，占流通股本比例0.02%，成交价171.49元，股份变动原因：二级市场买卖

尹志尧2025-05-28减持5.5万股，占流通股本比例0.0088%，成交价171.62元，股份变动原因：二级市场买卖
2025-05-28 股东大会： 召开年度股东大会，审议相关议案 详细内容 ▼
1.审议《关于公司2024年年度报告及摘要的议案》 2.审议《关于公司2024年度财务决算报告的议案》 3.审议《关于公司2024年度利润分配的议案》 4.审议《关于预计2025年度日常关联交易的议案》 5.审议《关于续聘公司2025年度审计机构的议案》 6.审议《关于董事会2024年度工作报告的议案》 7.审议《关于监事会2024年度工作报告的议案》 8.审议《关于公司2025年度董事薪酬方案的议案》 9.审议《关于公司2025年度监事薪酬方案的议案》 10.审议《关于公司为董监高购买责任险的议案》 11.审议《关于<2025年限制性股票激励计划(草案)>及其摘要的议案》 12.审议《关于<2025年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》 13.审议《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》
2025-05-27 高管减持： 陈伟文(高级管理人员)、尹志尧(董事、高级管理人员)累计减持3万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为173.6元，股份变动原因：二级市场买卖 详细内容 ▼
陈伟文2025-05-27减持2.5万股，占流通股本比例0.004%，成交价173.43元，股份变动原因：二级市场买卖

尹志尧2025-05-27减持0.5万股，占流通股本比例0.0008%，成交价174.21元，股份变动原因：二级市场买卖
2025-05-14 高管及相关人员减持：
2025-05-07 高管及相关人员增持： 陳煌琳(核心技术人员)、何伟业(核心技术人员)等累计增持3.55万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为0.00元，股份变动原因：股权激励实施 详细内容 ▼
陳煌琳2025-05-07增持0.72万股，占流通股本比例0.0011%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

何伟业2025-05-07增持0.72万股，占流通股本比例0.0011%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

姜勇2025-05-07增持0.72万股，占流通股本比例0.0011%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

刘志强2025-05-07增持0.72万股，占流通股本比例0.0011%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

张凯2025-05-07增持0.67万股，占流通股本比例0.0011%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施
2025-05-07 高管增持： 丛海(董事、高级管理人员)、何奕(高级管理人员)累计增持4.84万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为0.00元，股份变动原因：股权激励实施 详细内容 ▼
丛海2025-05-07增持1.84万股，占流通股本比例0.0029%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

何奕2025-05-07增持3万股，占流通股本比例0.0048%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施
2025-05-06 增减持计划： 公司高管尹志尧、陈伟文计划自2025-05-27起至2025-08-26，拟减持不超过40.5万股，占总股本比例0.07%
2025-04-25 业绩披露： 详情>> 2025年一季报每股收益0.50元，净利润3.13亿元，同比去年增长25.67%
2025-04-25 股东人数变化：
2025-04-23 高管及相关人员增持： 陳煌琳(核心技术人员)、何伟业(核心技术人员)等累计增持1.81万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为0.00元，股份变动原因：股权激励实施 详细内容 ▼
陳煌琳2025-04-23增持0.38万股，占流通股本比例0.0006%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

何伟业2025-04-23增持0.29万股，占流通股本比例0.0005%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

姜勇2025-04-23增持0.38万股，占流通股本比例0.0006%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

刘志强2025-04-23增持0.39万股，占流通股本比例0.0006%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

张凯2025-04-23增持0.37万股，占流通股本比例0.0006%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施
2025-04-23 高管增持：
2025-04-18 业绩披露： 详情>> 2024年年报每股收益2.61元，净利润16.16亿元，同比去年增长-9.53%
2025-04-18 股东人数变化：
2025-04-18 参控公司： 参控Advanced Micro-Fabrication Equipment International Pte. Ltd.，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司 其它参控公司 ▼
参控Advanced Micro-Fabrication Equipment Korea Ltd.，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控AMEC Japan Co.,Inc.，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控AMEC North America,Inc.，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控上海洪朴信息科技有限公司，参控关系为联营企业

参控上海芯元基半导体科技有限公司，参控关系为联营企业

参控中微半导体(上海)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控中微半导体设备(厦门)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控中微半导体设备(广州)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控中微惠创科技(上海)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控中微汇链科技(上海)有限公司，参控比例为80.0000%，参控关系为子公司

参控中微科技投资管理(上海)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控南昌中微半导体设备有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控南昌城微置业有限公司，参控关系为联营企业

参控无锡正海缘宇创业投资合伙企业(有限合伙)，参控比例为98.0000%，参控关系为子公司

参控芯汇康生命科学(上海)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控超微半导体设备(上海)有限公司，参控比例为51.0000%，参控关系为子公司

参控SOLAYER GmbH，参控关系为联营企业

2025-01-15 业绩预告： 预计年报业绩：净利润15.00亿元至17.00亿元，下降幅度为-16.01%至-4.81% 变动原因 ▼
原因：
公司2024年度业绩预计较上年同期变化的主要原因如下： 1.公司主营产品的刻蚀设备、薄膜设备是半导体前道关键核心设备，市场空间广阔，技术壁垒较高。公司的刻蚀设备及薄膜设备持续获得众多客户的认可，针对芯片制造中关键工艺的高端产品新增付运量及销售额显著提升。 公司始终强调技术创新并保持高强度的研发投入。目前在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发。公司在新产品开发方面取得了显著成效，近两年新开发的LPCVD薄膜设备和ALD薄膜设备，目前已有多款新型设备产品进入市场并获得重复性订单。其中，LPCVD薄膜设备累计出货量已突破100个反应台，其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进；公司EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段。 公司在Micro-LED和高端显示领域的MOCVD设备开发上取得了良好进展，并积极布局用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的市 公司在南昌约14万平方米的生产和研发基地、上海临港的约18万平方米的生产和研发基地已经投入使用，支持了公司产品付运及销售快速增长的达成。同时公司生产运营管理水平不断提升，产品成本、运营费用控制能力有效增强。 公司持续开发关键零部件供应商，推动供应链稳定、安全，设备交付率保持在较高水准，设备的及时交付也为公司销售增长提供有力支撑。 2.归母净利润同比减少2.86亿元至0.86亿元（减少约16.01%至4.81%）的主要原因：（1）2024年营业收入增长44.73%下，毛利较去年增长约9.78亿元；（2）由于市场及客户对中微开发多种新设备的需求急剧增长，2024年公司显著加大研发力度，为未来业务增长打基 2024年公司研发投入约24.50亿元，较去年增长11.88亿元（增长约94.13%），2024年研发投入占公司营业收入比例约为27.03%。2024年研发费用14.15亿元，较去年增长约5.99亿元（增长约73.32%）；（3）2023年公司出售了持有的部分拓荆科技股份有限公司股票，产生税后净收益约4.06亿元，而2024年公司并无该项股权处置收益。 3.扣非后归母净利润同比增加0.89亿元至2.39亿元（增加约7.43%至20.02%）的主要原因：主要由于2024年营业收入增长44.73%下，毛利较去年增长约9.78亿元，以及2024年研发费用较去年增长约5.99亿元。 公司为客户和市场提供高科技产品和服务的同时，对标国际领先ESG水准，持续提升在环境保护、社会责任和公司治理等方面水平。 2024年公司不断升华具有中微特色的公司体制和文化，持续践行和倡导四个“十大”的企业文化。2024年公司人均年化营业收入超过350万元，在国内处于行业领先水平。
2025-01-14 股东大会： 召开临时股东大会，审议相关议案 详细内容 ▼
1.审议《关于修订<公司章程>的议案》 2.审议《关于修订<董事会议事规则>的议案》 3.审议《关于公司董事会换届暨选举第三届董事会非独立董事的议案》 4.审议《关于公司董事会换届暨选举第三届董事会独立董事的议案》 5.审议《关于公司监事会换届暨选举第三届监事会非职工代表监事的议案》
2024-11-12 高管及相关人员减持：
2024-11-11 高管及相关人员减持：
2024-10-31 高管及相关人员减持：
2024-10-23 高管及相关人员增持： 姜勇(核心技术人员)、刘志强(核心技术人员)累计增持1.16万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为0.00元，股份变动原因：股权激励实施 详细内容 ▼
姜勇2024-10-23增持0.58万股，占流通股本比例0.0009%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

刘志强2024-10-23增持0.58万股，占流通股本比例0.0009%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施
2024-10-09 高管及相关人员减持： 陳煌琳(核心技术人员)、何伟业(核心技术人员)累计减持9900股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为205.2元，股份变动原因：二级市场买卖 详细内容 ▼
陳煌琳2024-10-09减持0.5万股，占流通股本比例0.0008%，成交价210.04元，股份变动原因：二级市场买卖

何伟业2024-10-09减持0.49万股，占流通股本比例0.0008%，成交价200.26元，股份变动原因：二级市场买卖
2024-10-08 异动提醒： 更多>> 中微公司09:30分触及涨停，分析或为：半导体设备+存储芯片 涨停分析 ▼
半导体设备+存储芯片
1、中微公司是一家在半导体设备领域具有竞争力的企业。公司主营产品包括刻蚀设备、MOCVD设备和薄膜沉积设备等。公司在刻蚀设备领域已取得较大突破，产品已广泛应用于国内外一线客户的生产线。在MOCVD设备领域，公司已成为氮化镓基LED市场份额最大的供应商。 2、2023年4月24日互动易：公司已有的ICP刻蚀设备可以满足55nm，40nm和28纳米逻辑芯片制造中的ICP刻蚀工艺，以及在更先进的逻辑芯片、DRAM、3DNAND存储芯片和特色器件等芯片制造中不断拓展可刻蚀应用范围。
2024-10-08 高管及相关人员减持：
2024-09-30 高管及相关人员减持：
2024-09-03 股权转让： 上海科技创业投资(集团)有限公司拟转让上海浦东科创集团有限公司46.00%股权给上海市浦东新区国有资产监督管理委员会，进度：进行中 详细内容▼
中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）近日收到上海创投通知，国资监管机构决定将上海科创集团持有的上海浦东科创集团有限公司46%股权无偿划转给上海市浦东新区国有资产监督管理委员会。后续上海创投与浦东新产投不再是一致行动关系。本次转让完成后，受让人最终持有标的90%股权
2024-08-06 高管减持：
2024-08-02 高管减持：
2024-08-02 高管及相关人员减持：
2024-07-31 高管及相关人员减持： 刘志强(核心技术人员)、YANG JAMES WEI(核心技术人员)累计减持4.2万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为153.6元，股份变动原因：二级市场买卖 详细内容 ▼
刘志强2024-07-31减持0.2万股，占流通股本比例0.0003%，成交价156.00元，股份变动原因：二级市场买卖

YANG JAMES WEI2024-07-31减持4万股，占流通股本比例0.0064%，成交价153.50元，股份变动原因：二级市场买卖
2024-07-31 高管减持：
2024-07-18 高管及相关人员减持： 陳煌琳(核心技术人员)、刘志强(核心技术人员)等累计减持1.19万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为152.6元，股份变动原因：二级市场买卖 详细内容 ▼
陳煌琳2024-07-18减持0.35万股，占流通股本比例0.0006%，成交价152.93元，股份变动原因：二级市场买卖

刘志强2024-07-18减持0.1万股，占流通股本比例0.0002%，成交价152.00元，股份变动原因：二级市场买卖

YANG JAMES WEI2024-07-18减持0.74万股，占流通股本比例0.0012%，成交价152.50元，股份变动原因：二级市场买卖
2024-07-18 高管减持：
2024-07-17 高管减持：
2024-07-16 高管减持：
2024-07-01 高管减持：
2024-06-21 高管及相关人员减持：
2024-06-20 高管减持：
2024-06-20 高管及相关人员减持：
2024-06-19 高管及相关人员增持： 陳煌琳(核心技术人员)、何伟业(核心技术人员)等累计增持2.62万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为0.00元，股份变动原因：股权激励实施 详细内容 ▼
陳煌琳2024-06-19增持0.58万股，占流通股本比例0.0009%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

何伟业2024-06-19增持0.31万股，占流通股本比例0.0005%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

姜勇2024-06-19增持0.42万股，占流通股本比例0.0007%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

刘志强2024-06-19增持0.57万股，占流通股本比例0.0009%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

YANG JAMES WEI2024-06-19增持0.74万股，占流通股本比例0.0012%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施
2024-06-19 高管减持：
2024-06-18 高管减持： 陈伟文(高级管理人员)、GERALD ZHEYAO YIN(董事、高级管理人员、核心技术人员)累计减持11.52万股，占流通股本比例0.02%，成交均价为143.8元，股份变动原因：二级市场买卖 详细内容 ▼
陈伟文2024-06-18减持5.42万股，占流通股本比例0.0087%，成交价143.68元，股份变动原因：二级市场买卖

GERALD ZHEYAO YIN2024-06-18减持6.1万股，占流通股本比例0.0097%，成交价143.85元，股份变动原因：二级市场买卖
2024-06-11 高管及相关人员减持：
2024-06-03 高管及相关人员减持：
2024-05-31 高管及相关人员减持：
2024-05-25 增减持计划： 公司高管尹志尧、倪图强、刘晓宇、王志军、陈伟文计划自2024-06-18起至2024-09-17，拟减持不超过101.7万股，占总股本比例0.17%
2024-05-07 股票回购： 拟回购不超过250万股，进度：回购完成；已累计回购209.6万股，均价为143.5元
2024-04-30 股权激励： 激励计划拟授予的股票为1080万股，占当时总股本比例1.74%，每股转让价76.10元，激励方案有效期6年，当前进度为实施
2024-04-02 高管及相关人员增持： YANG JAMES WEI(核心技术人员)、陳煌琳(核心技术人员)等累计增持2.09万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为0.00元，股份变动原因：股权激励实施 详细内容 ▼
YANG JAMES WEI2024-04-02增持0.65万股，占流通股本比例0.001%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

陳煌琳2024-04-02增持0.38万股，占流通股本比例0.0006%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

何伟业2024-04-02增持0.29万股，占流通股本比例0.0005%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

姜勇2024-04-02增持0.38万股，占流通股本比例0.0006%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

刘志强2024-04-02增持0.39万股，占流通股本比例0.0006%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施
2024-03-21 高管及相关人员减持：
2024-03-12 高管及相关人员减持：
2024-03-05 高管及相关人员减持：
2023-12-13 高管减持：
2023-11-21 高管及相关人员减持：
2023-11-15 高管及相关人员增持： YANG JAMES WEI(核心技术人员)、刘志强(核心技术人员)等累计增持2.31万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为0.00元，股份变动原因：股权激励实施 详细内容 ▼
YANG JAMES WEI2023-11-15增持1.15万股，占流通股本比例0.0018%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

刘志强2023-11-15增持0.58万股，占流通股本比例0.0009%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

陳煌琳2023-11-15增持0.58万股，占流通股本比例0.0009%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施
2023-11-14 高管减持：
2023-08-03 资产收购： 拟受让睿励科学仪器(上海)有限公司6.7575%股权，进度：完成 详细内容▼
上海睿励成立于2005年6月27日,注册资本55615.8051万人民币,公司基于经营战略发展考虑,拟以自筹资金通过竞价摘牌的方式受让国家集成电路产业投资基金股份有限公司持有的睿励科学仪器(上海)有限公司6.7575%股权。本次交易采用在上海联合产权交易所公开挂牌的方式,国家集成电路产业投资基金股份有限公司将标的股权挂牌出售,标的股权挂牌价为人民币5,790.21万元。国家集成电路产业投资基金股份有限公司具备国有产权转让的主体资格,在申请公开挂牌之前,国家集成电路产业投资基金股份有限公司已就标的股权转让履行了必要的资产评估、国有资产转让批准等程序。 因巽鑫(上海)投资有限公司持有本公司15.13%的股份,国家集成电路产业投资基金股份有限公司持有巽鑫(上海)投资有限公司100%的股权,根据《上海证券交易所科创板股票上市规则》,国家集成电路产业投资基金股份有限公司系本公司关联方,本次交易构成关联交易,但未构成重大资产重组。
2023-06-14 股权激励： 激励计划拟授予的股票为550万股，占当时总股本比例0.89%，每股转让价50.00元，激励方案有效期5年，当前进度为实施
2023-06-08 增减持计划： 公司高管尹志尧、倪图强计划自2023-07-03起至2023-12-30，拟减持不超过41.9万股，占总股本比例0.07%
2023-06-06 增减持计划： 公司持股5%以上一般股东上海创业投资有限公司及其他股东上海浦东新兴产业投资有限公司计划自2023-06-30起至2023-09-30，拟减持不超过618.2万股，占总股本比例1.00%
2023-04-29 资产出售： 拟出让拓荆科技股份有限公司部分股权，进度：进行中 详细内容▼
　　为促进股东价值最大化，合理配置公司资产结构，公司拟通过集中竞价交易及大宗交易的方式减持公司目前持有的拓荆科技股票。拓荆科技于2022年4月20日在上交所科创板上市，股票代码：688072。根据《上市公司股东、董监高减持股份的若干规定》及拓荆科技《招股说明书》中锁定期的要求，公司可以自2023年4月20日起对所持有的拓荆科技股票进行减持。 　　公司于2023年4月28日召开第二届董事会第十四次会议，审议并一致通过了《关于出售公司所持拓荆科技股份有限公司部分股票的议案》，授权管理层及其授权人士根据证券市场情况，通过集中竞价或大宗交易的方式，出售公司所持有的拓荆科技股票，合计不超过1,264,787股（占其总股本的比例不超过1%），授权范围包括但不限于出售时机、交易方式、交易价格、签署相关协议等，授权期限为自董事会审议通过之日至2023年8月16日。在此期间内，若拓荆科技发生送股、资本公积金转增股本等股份变动事项，公司拟出售股票的数量将相应调整。本次交易不构成关联交易，不构成重大资产重组，无需提交公司股东大会审议通过。
2023-04-18 增减持计划： 公司持股5%以上一般股东巽鑫(上海)投资有限公司计划自2023-05-11起至2023-11-10，拟减持不超过1234万股，占总股本比例2.00%
2019-03-29 申报进度： 上交所注册生效中微半导体设备(上海)股份有限公司在科创板的首发申请。中微半导体设备(上海)股份有限公司总股本为6.26亿股，本次融资金额10.0000亿元

高管持股变动

股东持股变动

此内容通常为前十大股东发生持股变动的数据。

机构调研

参与调研机构共有217家，其中: 海外17家、 其他62家、 券商52家、 公募30家、 私募44家、 保险10家、
机构类别 调研机构名称
公募
                                                           
私募
                                                                                       
券商
                                                                                                       
保险
                   
海外
                                 
其他
                                                                                                                           
参与调研机构共有212家，其中: 海外13家、 其他57家、 券商61家、 公募34家、 私募37家、 保险7家、
机构类别 调研机构名称
公募
                                                                   
私募
                                                                         
券商
                                                                                                                         
保险
             
海外
                         
其他
                                                                                                                 
参与调研机构共有212家，其中: 海外11家、 其他60家、 私募44家、 公募41家、 券商49家、 保险4家、
机构类别 调研机构名称
公募
                                                                                 
私募
                                                                                       
券商
                                                                                                 
保险
       
海外
                     
其他
                                                                                                                       
参与调研机构共有103家，其中: 其他12家、 海外26家、 券商29家、 公募25家、 保险3家、 私募6家、
机构类别 调研机构名称
公募
                                                 
私募
           
券商
                                                         
保险
     
海外
                                                   
其他
                       
参与调研机构共有434家，其中: 海外15家、 其他144家、 券商65家、 私募96家、 公募87家、 保险20家、
机构类别 调研机构名称
公募
                                                                                                                                                                             
私募
                                                                                                                                                                                               
券商
                                                                                                                                 
保险
                                       
海外
                             
其他
                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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