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近期重要事件

2026-03-31 披露时间： 更多>> 将于2026-03-31披露《2025年年报》
2026-02-06 融资融券：
2026-02-05 高管减持：
2026-02-05 高管及相关人员减持：
2026-02-04 高管减持：
2026-02-03 高管减持：
2026-02-02 高管减持：
2026-01-31 发布公告：
2026-01-31 股东减持：
2026-01-30 高管减持：
2026-01-24 发布公告： 《中微公司：2025年年度业绩预告的自愿性披露公告》
2026-01-24 业绩预告： 预计年报业绩：净利润20.80亿元至21.80亿元，增长幅度为28.74%至34.93% 变动原因 ▼
原因：
公司2025年度业绩预计较上年同期增长的主要原因如下： 　　1.公司主营产品等离子体刻蚀设备作为半导体前道核心设备之一，市场空间广阔，技术壁垒较高。公司的等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。 　　公司在新产品开发方面取得了显著成效，近两年新开发出十多种导体和介质薄膜设备，目前已有多款新型设备产品进入市场，其中部分设备已获得重复性订单，LPCVD设备累计出货量突破三百个反应台，其他多个关键薄膜沉积设备研发项目正在顺利推进；公司EPI设备已顺利进入客户端量产验证阶段。 　　公司持续保持国际氮化镓基MOCVD设备市场领先地位，积极布局用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的市场，并在Micro-LED和其他显示领域的专用MOCVD设备开发上取得了良好进展，几款MOCVD新产品进入客户端验证阶段。公司新型八寸碳化硅外延设备、新型红黄光LED应用的设备已付运至国内领先客户开展验证，目前进展顺利。 　　公司在南昌约14万平方米的生产和研发基地、上海临港的约18万平方米的生产和研发基地已经投入使用，保障了公司销售快速增长。公司持续开发关键零部件供应商，推动供应链稳定、安全，设备交付率保持在较高水准，设备的及时交付也为公司销售增长提供有力支撑。公司特别重视核心技术的创新，始终强调创新和差异化并保持高强度的研发投入，同时公司运营管理水平持续提升，对产品成本及运营费用的控制能力有效增强。 　　2.归母净利润同比增加4.64亿元至5.64亿元（增加约28.74%至34.93%）的主要原因：（1）2025年营业收入增长36.62%下，毛利较去年增长约11.45亿元。（2）由于市场对中微开发多种新设备的需求急剧增长，2025年公司显著加大研发力度，以尽快弥补国产半导体设备短板，积极赶超，为长期持续增长打好基础。2025年公司研发投入约37.36亿元，较去年增长12.83亿元（增长约52.32%），2025年研发投入占公司营业收入比例约为30.16%，远高于科创板上市公司均值。2025年研发费用约24.72亿元，较去年增长约10.54亿元（增长约74.36%）。（3）由于二级市场股价波动以及公司出售了部分持有的上市公司股票，经评估师初步评估，公司2025年计入非经常性损益的股权投资收益为6.11亿元，较上年同期的股权投资收益的1.98亿元增加约4.13亿元。 　　3.扣非后归母净利润同比增加1.12亿元至2.12亿元（增加约8.06%至15.26%）的主要原因：主要由于2025年营业收入增长36.62%，毛利较去年增长约11.45亿元，以及2025年研发费用较去年增长约10.54亿元。
2026-01-23 发布公告： 《中微公司：关于持股5%以上股东权益变动触及1%刻度暨减持股份结果公告》
2026-01-23 股东减持：
2026-01-23 投资互动：
2026-01-21 大宗交易：
2026-01-19 大宗交易：
2026-01-16 大宗交易：
2026-01-15 大宗交易：
2026-01-14 大宗交易：
2026-01-09 发布公告：
2026-01-09 增减持计划： 公司持股5%以上一般股东巽鑫(上海)投资有限公司及高管尹志尧计划自2026-01-30起至2026-04-29，拟减持不超过1281万股，占总股本比例2.05%
2026-01-08 发布公告： 《中微公司：关于出售股票资产的公告》
2026-01-08 资产出售： 拟出让拓荆科技股份有限公司部分股权，进度：进行中 详细内容▼
为促进股东价值最大化，合理配置公司资产结构，公司于2026年1月7日召开第三届董事会第九次会议，审议并一致通过了《关于出售公司所持拓荆科技股份有限公司部分股票的议案》，授权管理层及其授权人士根据证券市场情况，通过集中竞价及大宗交易的方式，出售公司所持有的拓荆科技股票，合计不超过3,655,131股（占其总股本的比例不超过1.3%），授权范围包括但不限于出售时机、交易方式、交易数量、交易价格等，授权期限为自董事会审议通过之日至预披露届满之日起的三个月内。在此期间内，若拓荆科技发生送股、资本公积金转增股本等股份变动事项，公司拟出售股票的数量将相应调整。本次交易不构成关联交易，不构成重大资产重组，无需提交公司股东会审议通过。
2026-01-07 高管及相关人员减持：
2026-01-05 复牌提示： 2025-12-19因“中微公司筹划发行股份购买资产并募集配套资金事项”停牌，停牌期限：自2025-12-19起连续停牌，复牌日期：2026-01-05 09:30:00
2026-01-01 股东减持：
2026-01-01 资产收购： 拟受让杭州众硅电子科技有限公司64.69%股权，进度：进行中 详细内容▼
上市公司拟以发行股份及支付现金的方式购买杭州众芯硅、宁容海川、临安众芯硅、临安众硅、杭州芯匠、杭州众诚芯等41名交易对方合计持有的杭州众硅64.69%股权。同时，上市公司拟向不超过35名特定投资者发行股份募集配套资金。
2025-12-02 股东减持：
2025-12-01 增减持计划： 公司持股5%以上一般股东上海创业投资有限公司计划自2025-12-22起至2026-03-21，拟通过大宗交易减持不超过626.1万股，占总股本比例1.00%
2025-11-21 股东减持：
2025-11-15 股东减持：
2025-10-30 业绩披露： 详情>> 2025年三季报每股收益1.94元，净利润12.11亿元，同比去年增长32.66%
2025-10-30 增减持计划： 公司其他股东中微半导体设备(上海)股份有限公司回购专用证券账户计划自2025-11-20起至2026-02-19，拟减持不超过209.6万股，占总股本比例0.33%
2025-10-30 股东人数变化：
2025-10-15 股东减持：
2025-09-29 高管及相关人员减持：
2025-09-24 高管及相关人员减持：
2025-09-24 股东大会： 召开临时股东大会，审议相关议案 详细内容 ▼
1.审议《关于增加注册资本、取消监事会并修订<公司章程>的议案》 2.审议《关于制定及修订公司部分治理制度的议案》 3.审议《关于更换公司董事并相应调整董事会专门委员会成员的议案》 4.审议《关于增加预计2025年度日常关联交易的议案》
2025-09-23 高管及相关人员减持：
2025-09-18 高管及相关人员减持：
2025-09-17 高管及相关人员减持：
2025-08-29 分配预案： 详情>> 2025年中报分配方案：不分配不转增，方案进度：董事会通过
2025-08-29 业绩披露： 详情>> 2025年中报每股收益1.13元，净利润7.06亿元，同比去年增长36.62%
2025-08-29 股东人数变化：
2025-08-29 参控公司： 参控Advanced Micro-Fabrication Equipment International Pte. Ltd.，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司 其它参控公司 ▼
参控Advanced Micro-Fabrication Equipment Korea Ltd.，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控AMEC Japan Co.,Inc.，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控AMEC North America,Inc.，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控SOLAYER GmbH，参控关系为联营企业

参控上海智微攀峰创业投资合伙企业(有限合伙)，参控关系为联营企业

参控上海洪朴信息科技有限公司，参控关系为联营企业

参控上海芯元基半导体科技有限公司，参控关系为联营企业

参控中微半导体(上海)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控中微半导体设备(厦门)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控中微半导体设备(四川)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控中微半导体设备(广州)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控中微惠创科技(上海)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控中微汇链科技(上海)有限公司，参控比例为80.0000%，参控关系为子公司

参控中微科技投资管理(上海)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控南昌中微半导体设备有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控南昌城微置业有限公司，参控关系为联营企业

参控无锡正海缘宇创业投资合伙企业(有限合伙)，参控比例为98.0000%，参控关系为子公司

参控芯汇康生命科学(上海)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控超微半导体设备(上海)有限公司，参控比例为51.0000%，参控关系为子公司

2025-08-27 增减持计划： 公司持股5%以上一般股东巽鑫(上海)投资有限公司计划自2025-09-17起至2025-12-16，拟通过大宗交易减持不超过1252万股，占总股本比例2.00%
2025-08-22 高管及相关人员减持：
2025-07-31 高管及相关人员减持：
2025-07-29 高管减持：
2025-07-28 高管减持：
2025-07-25 高管减持：
2025-07-23 高管及相关人员减持： 陳煌琳(核心技术人员)、何伟业(核心技术人员)等累计减持1.1万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为199.4元，股份变动原因：二级市场买卖 详细内容 ▼
陳煌琳2025-07-23减持0.3万股，占流通股本比例0.0005%，成交价199.24元，股份变动原因：二级市场买卖

何伟业2025-07-23减持0.6万股，占流通股本比例0.001%，成交价199.25元，股份变动原因：二级市场买卖

张凯2025-07-23减持0.2万股，占流通股本比例0.0003%，成交价200.07元，股份变动原因：二级市场买卖
2025-07-22 高管及相关人员减持：
2025-07-18 业绩预告： 预计中报业绩：净利润6.800亿元至7.300亿元，增长幅度为31.61%至41.28% 变动原因 ▼
原因：
公司2025年上半年业绩预计较上年同期变化的主要原因如下： 　　1、2025年上半年，公司营业收入约49.61亿元，同比增长约43.88%。其中刻蚀设备收入增长约40.12%，达37.81亿元；LPCVD薄膜设备收入增长约608.19%，达1.99亿元。公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺实现大规模量产。 　　公司站在先进制程工艺发展的最前沿，坚持技术的创新、产品的差异化和知识产权保护的基本原则。坚持原创的设计，和国际领先的半导体客户公司同步前行。公司目前在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发。公司研发新产品的速度显著加快，过去通常需要三到五年开发一款新设备，现在只需两年或更短时间就能开发出有竞争力的新设备，并顺利进入市场，公司有望在未来几年更大规模地推出新产品。 　　2、2025年上半年，公司归母净利润为68,000万元到73,000万元，同比增加16,330.60万元至21,330.60万元（增长约31.61%至41.28%）的主要原因：（1）2025年上半年营业收入增长43.88%下，毛利较去年增长约5.52亿元；（2）2025年上半年公司研发投入约14.92亿元，同比增加5.21亿元（增长约53.70%），2025年上半年研发投入占公司营业收入比例约为30.07%，远高于科创板上市公司的平均研发投入水平（10%~15%）。2025年上半年研发费用11.16亿元，较去年增长约5.49亿元（增长约96.65%）；（3）经评估师评估初步结果，公司以公允价值计量且其变动计入当期损益的对外股权投资于2025年上半年产生公允价值变动收益和投资收益合计约1.72亿元，较2024年上半年亏损的0.08亿元增加约1.80亿元。 　　3、2025年上半年，公司扣非后归母净利润为51,000万元到56,000万元，同比增加2,676.98万元至7,676.98万元（增长约5.54%到15.89%）的主要原因：2025年上半年营业收入增长43.88%，毛利较去年增长约5.52亿元，以及2025年上半年研发费用较去年增长约5.49亿元。
2025-07-09 实施分红： 详情>> 10派3元(含税)，股权登记日为2025-07-09，除权除息日为2025-07-10，派息日为2025-07-10
2025-07-08 高管及相关人员减持：
2025-06-30 高管及相关人员减持：
2025-06-26 股东大会： 召开临时股东大会，审议相关议案 详细内容 ▼
1.审议《关于参与设立私募投资基金暨关联交易的议案》
2025-06-18 高管及相关人员增持： 陳煌琳(核心技术人员)、何伟业(核心技术人员)等累计增持2.3万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为0.00元，股份变动原因：股权激励实施 详细内容 ▼
陳煌琳2025-06-18增持0.58万股，占流通股本比例0.0009%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

何伟业2025-06-18增持0.31万股，占流通股本比例0.0005%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

姜勇2025-06-18增持0.42万股，占流通股本比例0.0007%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

刘志强2025-06-18增持0.57万股，占流通股本比例0.0009%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

张凯2025-06-18增持0.42万股，占流通股本比例0.0007%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施
2025-06-11 股权激励： 激励计划拟授予的股票为1200万股，占当时总股本比例1.93%，每股转让价100.00元，激励方案有效期6年，当前进度为实施
2025-06-05 高管减持：
2025-06-04 高管减持：
2025-06-03 高管减持：
2025-05-29 高管及相关人员减持：
2025-05-28 高管减持： 陈伟文(高级管理人员)、尹志尧(董事、高级管理人员、核心技术人员)累计减持15.45万股，占流通股本比例0.03%，成交均价为171.5元，股份变动原因：二级市场买卖 详细内容 ▼
陈伟文2025-05-28减持9.95万股，占流通股本比例0.02%，成交价171.49元，股份变动原因：二级市场买卖

尹志尧2025-05-28减持5.5万股，占流通股本比例0.0088%，成交价171.62元，股份变动原因：二级市场买卖
2025-05-28 股东大会： 召开年度股东大会，审议相关议案 详细内容 ▼
1.审议《关于公司2024年年度报告及摘要的议案》 2.审议《关于公司2024年度财务决算报告的议案》 3.审议《关于公司2024年度利润分配的议案》 4.审议《关于预计2025年度日常关联交易的议案》 5.审议《关于续聘公司2025年度审计机构的议案》 6.审议《关于董事会2024年度工作报告的议案》 7.审议《关于监事会2024年度工作报告的议案》 8.审议《关于公司2025年度董事薪酬方案的议案》 9.审议《关于公司2025年度监事薪酬方案的议案》 10.审议《关于公司为董监高购买责任险的议案》 11.审议《关于<2025年限制性股票激励计划(草案)>及其摘要的议案》 12.审议《关于<2025年限制性股票激励计划实施考核管理办法>的议案》 13.审议《关于提请股东大会授权董事会办理股权激励相关事宜的议案》
2025-05-27 高管减持： 陈伟文(高级管理人员)、尹志尧(董事、高级管理人员)累计减持3万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为173.6元，股份变动原因：二级市场买卖 详细内容 ▼
陈伟文2025-05-27减持2.5万股，占流通股本比例0.004%，成交价173.43元，股份变动原因：二级市场买卖

尹志尧2025-05-27减持0.5万股，占流通股本比例0.0008%，成交价174.21元，股份变动原因：二级市场买卖
2025-05-14 高管及相关人员减持：
2025-05-07 高管及相关人员增持： 陳煌琳(核心技术人员)、何伟业(核心技术人员)等累计增持3.55万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为0.00元，股份变动原因：股权激励实施 详细内容 ▼
陳煌琳2025-05-07增持0.72万股，占流通股本比例0.0011%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

何伟业2025-05-07增持0.72万股，占流通股本比例0.0011%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

姜勇2025-05-07增持0.72万股，占流通股本比例0.0011%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

刘志强2025-05-07增持0.72万股，占流通股本比例0.0011%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

张凯2025-05-07增持0.67万股，占流通股本比例0.0011%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施
2025-05-07 高管增持： 丛海(董事、高级管理人员)、何奕(高级管理人员)累计增持4.84万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为0.00元，股份变动原因：股权激励实施 详细内容 ▼
丛海2025-05-07增持1.84万股，占流通股本比例0.0029%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

何奕2025-05-07增持3万股，占流通股本比例0.0048%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施
2025-05-06 增减持计划： 公司高管尹志尧、陈伟文计划自2025-05-27起至2025-08-26，拟减持不超过40.5万股，占总股本比例0.07%
2025-04-25 业绩披露： 详情>> 2025年一季报每股收益0.50元，净利润3.13亿元，同比去年增长25.67%
2025-04-25 股东人数变化：
2025-04-23 高管及相关人员增持： 陳煌琳(核心技术人员)、何伟业(核心技术人员)等累计增持1.81万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为0.00元，股份变动原因：股权激励实施 详细内容 ▼
陳煌琳2025-04-23增持0.38万股，占流通股本比例0.0006%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

何伟业2025-04-23增持0.29万股，占流通股本比例0.0005%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

姜勇2025-04-23增持0.38万股，占流通股本比例0.0006%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

刘志强2025-04-23增持0.39万股，占流通股本比例0.0006%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

张凯2025-04-23增持0.37万股，占流通股本比例0.0006%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施
2025-04-23 高管增持：
2025-04-18 业绩披露： 详情>> 2024年年报每股收益2.61元，净利润16.16亿元，同比去年增长-9.53%
2025-04-18 股东人数变化：
2025-04-18 参控公司： 参控Advanced Micro-Fabrication Equipment International Pte. Ltd.，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司 其它参控公司 ▼
参控Advanced Micro-Fabrication Equipment Korea Ltd.，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控AMEC Japan Co.,Inc.，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控AMEC North America,Inc.，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控上海洪朴信息科技有限公司，参控关系为联营企业

参控上海芯元基半导体科技有限公司，参控关系为联营企业

参控中微半导体(上海)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控中微半导体设备(厦门)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控中微半导体设备(广州)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控中微惠创科技(上海)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控中微汇链科技(上海)有限公司，参控比例为80.0000%，参控关系为子公司

参控中微科技投资管理(上海)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控南昌中微半导体设备有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控南昌城微置业有限公司，参控关系为联营企业

参控无锡正海缘宇创业投资合伙企业(有限合伙)，参控比例为98.0000%，参控关系为子公司

参控芯汇康生命科学(上海)有限公司，参控比例为100.0000%，参控关系为子公司

参控超微半导体设备(上海)有限公司，参控比例为51.0000%，参控关系为子公司

参控SOLAYER GmbH，参控关系为联营企业

2024-11-12 高管及相关人员减持：
2024-11-11 高管及相关人员减持：
2024-10-31 高管及相关人员减持：
2024-10-23 高管及相关人员增持： 姜勇(核心技术人员)、刘志强(核心技术人员)累计增持1.16万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为0.00元，股份变动原因：股权激励实施 详细内容 ▼
姜勇2024-10-23增持0.58万股，占流通股本比例0.0009%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

刘志强2024-10-23增持0.58万股，占流通股本比例0.0009%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施
2024-10-09 高管及相关人员减持： 陳煌琳(核心技术人员)、何伟业(核心技术人员)累计减持9900股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为205.2元，股份变动原因：二级市场买卖 详细内容 ▼
陳煌琳2024-10-09减持0.5万股，占流通股本比例0.0008%，成交价210.04元，股份变动原因：二级市场买卖

何伟业2024-10-09减持0.49万股，占流通股本比例0.0008%，成交价200.26元，股份变动原因：二级市场买卖
2024-10-08 异动提醒： 更多>> 中微公司09:30分触及涨停，分析或为：半导体设备+存储芯片 涨停分析 ▼
半导体设备+存储芯片
1、中微公司是一家在半导体设备领域具有竞争力的企业。公司主营产品包括刻蚀设备、MOCVD设备和薄膜沉积设备等。公司在刻蚀设备领域已取得较大突破，产品已广泛应用于国内外一线客户的生产线。在MOCVD设备领域，公司已成为氮化镓基LED市场份额最大的供应商。 2、2023年4月24日互动易：公司已有的ICP刻蚀设备可以满足55nm，40nm和28纳米逻辑芯片制造中的ICP刻蚀工艺，以及在更先进的逻辑芯片、DRAM、3DNAND存储芯片和特色器件等芯片制造中不断拓展可刻蚀应用范围。
2024-10-08 高管及相关人员减持：
2024-09-30 高管及相关人员减持：
2024-09-03 股权转让： 上海科技创业投资(集团)有限公司拟转让上海浦东科创集团有限公司46.00%股权给上海市浦东新区国有资产监督管理委员会，进度：进行中 详细内容▼
中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）近日收到上海创投通知，国资监管机构决定将上海科创集团持有的上海浦东科创集团有限公司46%股权无偿划转给上海市浦东新区国有资产监督管理委员会。后续上海创投与浦东新产投不再是一致行动关系。本次转让完成后，受让人最终持有标的90%股权
2024-08-06 高管减持：
2024-08-02 高管减持：
2024-08-02 高管及相关人员减持：
2024-07-31 高管及相关人员减持： 刘志强(核心技术人员)、YANG JAMES WEI(核心技术人员)累计减持4.2万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为153.6元，股份变动原因：二级市场买卖 详细内容 ▼
刘志强2024-07-31减持0.2万股，占流通股本比例0.0003%，成交价156.00元，股份变动原因：二级市场买卖

YANG JAMES WEI2024-07-31减持4万股，占流通股本比例0.0064%，成交价153.50元，股份变动原因：二级市场买卖
2024-07-31 高管减持：
2024-07-18 高管及相关人员减持： 陳煌琳(核心技术人员)、刘志强(核心技术人员)等累计减持1.19万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为152.6元，股份变动原因：二级市场买卖 详细内容 ▼
陳煌琳2024-07-18减持0.35万股，占流通股本比例0.0006%，成交价152.93元，股份变动原因：二级市场买卖

刘志强2024-07-18减持0.1万股，占流通股本比例0.0002%，成交价152.00元，股份变动原因：二级市场买卖

YANG JAMES WEI2024-07-18减持0.74万股，占流通股本比例0.0012%，成交价152.50元，股份变动原因：二级市场买卖
2024-07-18 高管减持：
2024-07-17 高管减持：
2024-07-16 高管减持：
2024-07-01 高管减持：
2024-06-21 高管及相关人员减持：
2024-06-20 高管减持：
2024-06-20 高管及相关人员减持：
2024-06-19 高管及相关人员增持： 陳煌琳(核心技术人员)、何伟业(核心技术人员)等累计增持2.62万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为0.00元，股份变动原因：股权激励实施 详细内容 ▼
陳煌琳2024-06-19增持0.58万股，占流通股本比例0.0009%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

何伟业2024-06-19增持0.31万股，占流通股本比例0.0005%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

姜勇2024-06-19增持0.42万股，占流通股本比例0.0007%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

刘志强2024-06-19增持0.57万股，占流通股本比例0.0009%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

YANG JAMES WEI2024-06-19增持0.74万股，占流通股本比例0.0012%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施
2024-06-19 高管减持：
2024-06-18 高管减持： 陈伟文(高级管理人员)、GERALD ZHEYAO YIN(董事、高级管理人员、核心技术人员)累计减持11.52万股，占流通股本比例0.02%，成交均价为143.8元，股份变动原因：二级市场买卖 详细内容 ▼
陈伟文2024-06-18减持5.42万股，占流通股本比例0.0087%，成交价143.68元，股份变动原因：二级市场买卖

GERALD ZHEYAO YIN2024-06-18减持6.1万股，占流通股本比例0.0097%，成交价143.85元，股份变动原因：二级市场买卖
2024-06-11 高管及相关人员减持：
2024-06-03 高管及相关人员减持：
2024-05-31 高管及相关人员减持：
2024-05-25 增减持计划： 公司高管尹志尧、倪图强、刘晓宇、王志军、陈伟文计划自2024-06-18起至2024-09-17，拟减持不超过101.7万股，占总股本比例0.17%
2024-05-07 股票回购： 拟回购不超过250万股，进度：回购完成；已累计回购209.6万股，均价为143.5元
2024-04-30 股权激励： 激励计划拟授予的股票为1080万股，占当时总股本比例1.74%，每股转让价76.10元，激励方案有效期6年，当前进度为实施
2024-04-02 高管及相关人员增持： YANG JAMES WEI(核心技术人员)、陳煌琳(核心技术人员)等累计增持2.09万股，占流通股本比例小于0.01%，成交均价为0.00元，股份变动原因：股权激励实施 详细内容 ▼
YANG JAMES WEI2024-04-02增持0.65万股，占流通股本比例0.001%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

陳煌琳2024-04-02增持0.38万股，占流通股本比例0.0006%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

何伟业2024-04-02增持0.29万股，占流通股本比例0.0005%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

姜勇2024-04-02增持0.38万股，占流通股本比例0.0006%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施

刘志强2024-04-02增持0.39万股，占流通股本比例0.0006%，成交价0.00元，股份变动原因：股权激励实施
2024-03-21 高管及相关人员减持：
2024-03-12 高管及相关人员减持：
2024-03-05 高管及相关人员减持：
2023-06-14 股权激励： 激励计划拟授予的股票为550万股，占当时总股本比例0.89%，每股转让价50.00元，激励方案有效期5年，当前进度为实施
2023-06-08 增减持计划： 公司高管尹志尧、倪图强计划自2023-07-03起至2023-12-30，拟减持不超过41.9万股，占总股本比例0.07%
2023-06-06 增减持计划： 公司持股5%以上一般股东上海创业投资有限公司及其他股东上海浦东新兴产业投资有限公司计划自2023-06-30起至2023-09-30，拟减持不超过618.2万股，占总股本比例1.00%
2023-04-18 增减持计划： 公司持股5%以上一般股东巽鑫(上海)投资有限公司计划自2023-05-11起至2023-11-10，拟减持不超过1234万股，占总股本比例2.00%
2019-03-29 申报进度： 上交所注册生效中微半导体设备(上海)股份有限公司在科创板的首发申请。中微半导体设备(上海)股份有限公司总股本为6.26亿股，本次融资金额10.0000亿元

高管持股变动

股东持股变动

此内容通常为前十大股东发生持股变动的数据。

机构调研

参与调研机构共有217家，其中: 海外17家、 其他62家、 券商52家、 公募30家、 私募44家、 保险10家、
机构类别 调研机构名称
公募
                                                           
私募
                                                                                       
券商
                                                                                                       
保险
                   
海外
                                 
其他
                                                                                                                           
参与调研机构共有212家，其中: 海外13家、 其他57家、 券商61家、 公募34家、 私募37家、 保险7家、
机构类别 调研机构名称
公募
                                                                   
私募
                                                                         
券商
                                                                                                                         
保险
             
海外
                         
其他
                                                                                                                 
参与调研机构共有212家，其中: 海外11家、 其他60家、 私募44家、 公募41家、 券商49家、 保险4家、
机构类别 调研机构名称
公募
                                                                                 
私募
                                                                                       
券商
                                                                                                 
保险
       
海外
                     
其他
                                                                                                                       
参与调研机构共有103家，其中: 其他12家、 海外26家、 券商29家、 公募25家、 保险3家、 私募6家、
机构类别 调研机构名称
公募
                                                 
私募
           
券商
                                                         
保险
     
海外
                                                   
其他
                       
参与调研机构共有434家，其中: 海外15家、 其他144家、 券商65家、 私募96家、 公募87家、 保险20家、
机构类别 调研机构名称
公募
                                                                                                                                                                             
私募
                                                                                                                                                                                               
券商
                                                                                                                                 
保险
                                       
海外
                             
其他
                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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